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1. 发明专利

JP2016208001A はんだ電極の製造方法およびその用途审中-公开
标题翻译：焊料电极的制造方法及其用途
公开(公告)号：JP2016208001A
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：JP2015235564
申请日：2015-12-02
申请人： JSR株式会社
发明人：武川純 , 高橋誠一郎 , 長谷川公一 , 楠本士朗
IPC分类号： G03F7/40 , H05K3/34 , H01L21/60
CPC分类号： H01L2224/11
摘要：【解決手段】電極パッドを有する基板上に感光性樹脂組成物の塗膜を形成する工程(1)、前記塗膜を選択的に露光し、さらに現像することにより、前記電極パッドに対応する領域に開口部を有するレジストを形成する工程(2)、前記レジストを加熱および/または露光する工程(3)、前記開口部に溶融はんだを加熱しながら充填する工程(4)を有するはんだ電極の製造方法。【効果】本発明のはんだ電極の製造方法は、IMS法などのように、はんだ充填時にレジストが高熱を受ける場合においても、レジスト表面のクラック発生を防止することができ、はんだ充填能を向上させることができるので、目的に適合したはんだ電極を的確に製造することができる。【選択図】図1
摘要翻译：步骤，以形成光敏树脂组合物的涂层膜具有（1）中，选择性地暴露该涂膜，通过进一步发展，对应于电极焊盘区域中的A电极焊盘的衬底上制造具有形成的工序的焊料电极的抗蚀剂的开口部（2），加热和/或曝光抗蚀剂（3），同时加热熔融的焊料的填充开口（4）在方法。用于产生本发明的优点的焊料电极方法是诸如IMS方法中，当焊料填充过程中抗蚀剂经受高热量还可以防止在抗蚀剂表面的裂纹，提高了焊料填充能力它是可能的，它可被制造适合于目的准确焊料电极。点域1

2. 发明专利

JP6597243B2 はんだ電極の製造方法およびその用途有权
公开(公告)号：JP6597243B2
公开(公告)日：2019-10-30
申请号：JP2015235564
申请日：2015-12-02
申请人： JSR株式会社
发明人：武川純 , 高橋誠一郎 , 長谷川公一 , 楠本士朗
IPC分类号： G03F7/40 , H05K3/34 , H01L21/60

3. 发明专利

JP2020068213A はんだ電極の製造方法、積層体の製造方法、積層体および電子部品审中-公开
公开(公告)号：JP2020068213A
公开(公告)日：2020-04-30
申请号：JP2017034394
申请日：2017-02-27
申请人： JSR株式会社
发明人：長谷川公一 , 大喜多健三 , 武川純 , 小畑知弘 , 露木亮太 , 小林敦
IPC分类号： H05K3/10 , H01L21/60 , H05K3/34
摘要：【解決手段】電極パッドを有する基板上に感光性樹脂組成物の塗膜を形成する工程(1);前記塗膜を選択的に露光し、さらに現像することにより、前記電極パッドに対応する領域に開口部を有するレジストを形成する工程(2);前記レジストをプラズマ処理する工程(3);前記開口部に溶融はんだを加熱しながら充填する工程(4);を有するはんだ電極の製造方法。【効果】本発明のはんだ電極の製造方法は、IMS法において、レジストの表面に溶融はんだが付着しない、はんだ電極の製造方法を提供することができる。【選択図】図1

4. 发明专利

JP6465111B2 はんだ電極の製造方法、積層体の製造方法、積層体および電子部品有权
公开(公告)号：JP6465111B2
公开(公告)日：2019-02-06
申请号：JP2016529306
申请日：2015-06-12
申请人： JSR株式会社
发明人：武川純 , 高橋誠一郎 , 長谷川公一 , 猪俣克巳
IPC分类号： G03F7/033 , G03F7/027 , H01L21/60

5. 发明专利

JPWO2016181859A1 はんだ電極の製造方法およびその用途审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016181859A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：JP2017517887
申请日：2016-04-28
申请人： JSR株式会社
发明人：武川純 , 高橋誠一郎 , 長谷川公一 , 楠本士朗 , 山口佳一
IPC分类号： H01L21/60 , G03F7/023 , G03F7/38 , G03F7/42 , H05K3/34
CPC分类号： G03F7/023 , G03F7/40 , H01L2224/11 , H05K3/34
摘要：本発明は、電極パッドを有する基板上に感光性樹脂組成物の塗膜を形成する工程(1)、前記塗膜を選択的に露光し、さらに現像することにより、電極パッドに対応する領域に開口部を有するレジストを形成する工程(2)、前記開口部に溶融はんだを充填する工程(3)を有するはんだ電極の製造方法であって、前記感光性樹脂組成物は、少なくともベンゾオキサゾール前駆体を含有するはんだ電極の製造方法である。本発明のはんだ電極の製造方法は、IMS法などのように、はんだ充填時にレジストが高熱を受ける場合においても、レジスト表面のクラック発生を防止することができ、はんだ充填能を向上させることができるので、目的に適合したはんだ電極を的確に製造することができる。

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