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1. 发明专利

DE102013005173B4 Messvorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Impulsverteilung geladener Teilchen 未知
公开(公告)号：DE102013005173B4
公开(公告)日：2015-06-18
申请号：DE102013005173
申请日：2013-03-25
申请人： JOHANNES GUTENBERG UNIVERSITÄT MAINZ , MAX PLANCK GES ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E V
发明人： TUSCHE CHRISTIAN , KRASYUK ALEXANDER , KIRSCHNER JÜRGEN , SCHÖNHENSE GERD
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/29 , H01J49/44
摘要： Messvorrichtung (100), die zur Erfassung einer Impulsverteilung eines Ensembles (1) geladener Teilchen eingerichtet ist, umfassend: – eine elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) mit einer elektronenoptischen Achse (OA), wobei die elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) eine Objektivlinseneinrichtung (11) aufweist, die zur Erzeugung eines Impulsbildes (3) der x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen senkrecht zur elektronenoptischen Achse (OA) eingerichtet ist, – einen Energieanalysator, der zur energieaufgelösten Abbildung des Ensembles (1) eingerichtet ist, und – eine Detektoreinrichtung (30), die zur Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1) eingerichtet ist, wobei die x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch Koordinaten der Teilchen im Impulsbild erfassbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass – der Energieanalysator eine Drifteinrichtung (20) umfasst, die angeordnet ist, von den Teilchen des Ensembles (1) mit einer Flugzeit durchlaufen zu werden, die von der z-Komponente der Impulsvektoren der Teilchen parallel zur elektronenoptischen Achse (OA) abhängt, – die Detektoreinrichtung (30) zur zeitaufgelösten Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1) eingerichtet ist, wobei die z-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch die Flugzeit in der Drifteinrichtung (20) erfassbar sind, und – die elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) des Weiteren umfasst: – eine erste Teleskopoptik (12), die zur Erzeugung eines ersten Realraumzwischenbildes (4) des Ensembles (1) der Teilchen mit einer räumlich festen Lage eingerichtet ist, – eine variable und senkrecht zur elektronenoptischen Achse (OA) justierbare erste Blende (13), die zur Definition eines Gesichtsfeldes der Messvorrichtung (100) eingerichtet ist, und – eine Retardierungsoptik (14), die zur Anpassung der Strahlenergie der Teilchen auf das Potential der Drifteinrichtung (20) eingerichtet ist.

2. 发明专利

DE102013005173A1 Messvorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Impulsverteilung geladener Teilchen 未知
公开(公告)号：DE102013005173A1
公开(公告)日：2014-10-09
申请号：DE102013005173
申请日：2013-03-25
申请人： JOHANNES GUTENBERG UNIVERSITÄT MAINZ , MAX PLANCK GES ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E V
发明人： TUSCHE CHRISTIAN , KRASYUK ALEXANDER , KIRSCHNER JÜRGEN , SCHÖNHENSE GERD
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/29 , H01J49/44
摘要： Eine Messvorrichtung (100) zur Erfassung einer Impulsverteilung eines Ensembles (1) geladener Teilchen umfasst eine elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) mit einer optischen Achse (OA), wobei die elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) eine Objektivlinseneinrichtung (11) zur Erzeugung eines Impulsbildes (3) der x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen senkrecht zur optischen Achse (OA) aufweist, einen Energieanalysator zur energieaufgelösten Abbildung des Ensembles (1) und eine Detektoreinrichtung (30) zur Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1), wobei die x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch Koordinaten der Teilchen im Impulsbild erfassbar sind, und wobei der Energieanalysator eine Drifteinrichtung (20) umfasst, die angeordnet ist, von den Teilchen des Ensembles (1) mit einer Flugzeit durchlaufen zu werden, die von der z-Komponente der Impulsvektoren der Teilchen parallel zur optischen Achse (OA) abhängt, und die Detektoreinrichtung (30) zur zeitaufgelösten Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1) eingerichtet ist, wobei die z-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch die Flugzeit in der Drifteinrichtung (20) erfassbar sind. Es wird auch ein Verfahren zur Erfassung einer Impulsverteilung eines Ensembles geladener Teilchen aus einer untersuchten Probe beschrieben.

3. 发明专利

DE102014018555B3 Elektrodenträgereinrichtung und elektronen-optische Linse für elektrisch geladene Teilchen sowie deren Verwendung 未知
公开(公告)号：DE102014018555B3
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：DE102014018555
申请日：2014-12-15
申请人： MAX PLANCK GES ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E V
发明人： TUSCHE CHRISTIAN , HARTUNG DETLEF , KIRSCHNER JÜRGEN
IPC分类号： H01J37/15 , H01J37/063 , H01J37/26
摘要： Eine Elektrodenträgereinrichtung (100) zur Halterung von mehreren, zueinander isolierten Elektroden (1, 2, 3, ...) einer elektronen-optischen Linse (200) umfasst ein plattenförmiges Trägerelement (10) aus einem Isolatormaterial, das sich entlang einer radialen Hauptebene erstreckt und eine Vorderseite (11), eine Rückseite (12) und eine Durchgangsbohrung aufweist, wobei die Durchgangsbohrung in einer Axialrichtung senkrecht zur radialen Hauptebene verläuft und zum Durchgang der optischen Achse (OA) der elektronen-optischen Linse (200) ausgelegt ist, und mindestens zwei vordere Elektrodenhalterungen, die jeweils zur Positionierung von einer der Elektroden (1, 2, 3, ...) auf der Vorderseite (11) des Trägerelements (10) angeordnet sind und verschiedene radiale Abstände von der Durchgangsbohrung aufweisen, wobei jede vordere Elektrodenhalterung einen Axialanschlag (21, 31), der sich parallel zur radialen Hauptebene erstreckt und zur Positionierung einer Elektrode in der Axialrichtung angeordnet ist, und einen Radialanschlag (22, 32) umfasst, der sich parallel zur Axialrichtung erstreckt und zur Positionierung der Elektrode senkrecht zur Axialrichtung angeordnet ist. Es wird auch eine elektronen-optische Linse (200) beschrieben, welche die Elektrodenträgereinrichtung (100) und eine Vielzahl von Elektroden (1, 2, 3, ...) umfasst, die an den Elektrodenhalterungen fixiert sind.

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