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1. 发明申请

WO2009003839A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES VERBUNDKÖRPERS AUS EINEM BASISKÖRPER AUS OPAKEM QUARZGLAS UND EINER DICHTEN VERSIEGELUNGSSCHICHT 审中-公开
标题翻译：制造方法复合体，从不透明石英玻璃制成的基体和致密密封层
公开(公告)号：WO2009003839A1
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/EP2008/057654
申请日：2008-06-18
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , WERDECKER, Waltraud , LEIST, Johann
发明人： WERDECKER, Waltraud , LEIST, Johann
IPC分类号： C03B19/06 , C03B20/00 , C03C1/00 , C03C3/06 , C03C17/02 , C03C17/25
CPC分类号： C03C1/006 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C1/008 , C03C3/06 , C03C17/02 , C03C2203/22 , C03C2218/11
摘要： Um ein bekanntes Verfahren zur Herstellung eines Verbundkörpers aus einem Basiskörper aus opakem Quarzglas und einer dichten Versiegelungsschicht dahingehend zu optimieren, dass der Basiskörper mit der dichten Versiegelungsschicht versehen werden kann, ohne dass es zu nennenswerten Veränderungen und Verformungen des opaken Materials kommt, wird erfindungsgemäß ein Verfahren vorgeschlagen, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Herstellen des Basiskörpers unter Einsatz eines ersten Schlickers, der größere amorphe SiO2-Teilchen enthält, (b) Bereitstellen eines zweiten Schlickers, der kleinere amorphe SiO2 Teilchen enthält und dessen Zusammensetzung sich von derjenigen des ersten Schlickers mindestens darin unterscheidet, dass er Si02-Nanoteilchen im Bereich zwischen 0,2 Gew.-% bis 15 Gew.-% enthält und der durch eine relativ niedrige Verglasungstemperatur charakterisiert ist (c) Erzeugen einer Schlickerschicht aus dem zweiten Schlicker auf einer Oberfläche des Basiskörpers, Trocknen der Schlickerschicht und (d) anschliessendes Verglasen der Schlickerschicht unter Bildung der dichten Versiegelungsschicht.
摘要翻译：为了优化的公知方法用于制造不透明石英玻璃制成的基体构成的复合体，和在该基体可在不引起明显的改变和不透明材料的变形而设置有紧密的密封层的致密密封层，本发明提供了一种方法含有（a）通过使用第一浆料的制造基体时，较大的无定形SiO 2个颗粒，（b）提供含有较小的无定形SiO 2颗粒，并从所述第一浆料的其组合物的第二浆料：提出了一种包括以下步骤至少的区别在于其重量％至15个重量％的SiO 2含有纳米颗粒的范围为0.2并且其特征在于通过Basiskö的表面上产生从第二浆料的浆料的相对低的玻璃化转变温度（℃）之间 rpers，干燥浆料和（d）之后的浆料的玻璃化，以形成紧密的密封层。

2. 发明申请

WO2011067275A1 VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG EINES TIEGELS AUS QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃坩埚
公开(公告)号：WO2011067275A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/EP2010/068613
申请日：2010-12-01
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , WERDECKER, Waltraud , OBERLE, Burkhard , LEIST, Johann , GOEBEL, Rolf , GUENTHER, Paul
发明人： WERDECKER, Waltraud , OBERLE, Burkhard , LEIST, Johann , GOEBEL, Rolf , GUENTHER, Paul
IPC分类号： C03B19/09
CPC分类号： C03B19/095
摘要： Es ist ein Verfahren für die Herstellung eines Tiegels aus Quarzglas mit einem in einem Polygon angeordneten und mit einem ebenen Boden (18) verbundenen Seitenwänden (19) bekannt, wobei die Seitenwände erzeugt werden, indem aus SiO2 -Körnung in einer rotierenden Schmelzform (1) eine Körnungsschicht (15) um ein Formwerkzeug (13) gebildet und diese nach Entnahme des Formwerkzeugs (13) mittels einer Heizquelle (5, 6, 12) bereichsweise erschmolzen wird. Um hiervon ausgehend die Herstellung preiswerter Tiegel, insbesondere Solartiegel aus Quarzglas, mit hoher Masshaltigkeit zu ermöglichen, wird erf indungsgemäss vorgeschlagen, dass der Boden (18) erzeugt wird, indem aus SiO2 -Körnung eine Körnungsschicht (11, 22) gebildet, diese thermisch oder mechanisch zu einer Bodenplatte (17, 27) verfestigt, und die verfestigte Bodenplatte (17, 27) in der Schmelzform (1) mit den Seitenwänden (19) versehen wird.
摘要翻译：它是一种用于在多边形布置有连接具有平坦底部（18）的侧壁（19）的石英玻璃坩埚的制备方法是已知的，其特征在于，所述侧壁由二氧化硅颗粒创建在一个旋转模具（1）通过热源（5,6，12）的装置砂砾层（15）的模具（13）形成，并且，去除所述模具（13）的后部分熔化。为了制造更便宜的坩埚中，在由石英玻璃制成的特定太阳能坩埚，以使高尺寸精度此基础上，提出ERFindungsgemäss，所述底部（18）的SiO 2形成的颗粒的颗粒层（11，22）形成的，这些热或机械到一个底部板（17，27）被固化，并在熔体形式的固化底板（17，27）（1）与所述侧壁（19）设置。

3. 发明申请

WO2002092525A1 BAUTEIL AUS QUARZGLAS SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN 审中-公开
标题翻译： COMPONENT QUARZGLAS和方法生产同样
公开(公告)号：WO2002092525A1
公开(公告)日：2002-11-21
申请号：PCT/EP2002/003118
申请日：2002-03-20
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD , WERDECKER, Waltraud , GERHARDT, Rolf , LEIST, Johann
发明人： WERDECKER, Waltraud , GERHARDT, Rolf , LEIST, Johann
IPC分类号： C03C17/22
CPC分类号： C03C17/005 , C03C17/22 , C03C17/3411 , C23C4/00 , C23C4/10 , C23C4/11 , C30B15/10 , C30B35/002
摘要： Es ist ein Bauteil aus Quarzglas, insbesondere ein Tiegel, bekannt, bei dem eine Rohform mit einer Stabilisierungsschicht versehen ist, die eine h6here Erweichungstemperatur als Quarzglas aufweist. Um hiervon ausgehend ein Bauteil aus Quarzglas anzugeben, das sich durch hohe mechanische und thermische Festigkeit auszeichnet sowie ein einfaches und kostengOnstiges Verfahren fOr die Herstellung eines solchen Bauteils anzugeben, wird hinsichtlich des Bauteils erfindungsgemaB vorgeschlagen, dass die Stabiljsierungsschicht (3; 6; 7; 38) sich in ihrer chemischen Zusammensetzung von Quarzglas unterscheidet, und dass sie 15 durch thermisches Spritzen erzeugt ist. Das erfindungsgemaBe Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass eine sich in ihrer chemischen Zusammensetzung von Quarzglas unterscheidende Stabilisierungsschicht (3; 6; 7; 38) durch thermisches Spritzen aufgebracht wird.
摘要翻译：它是由石英玻璃制成，特别是坩埚中，在其中一个原始形式被提供有具有软化温度比石英玻璃h6here一个稳定层的组分。要指定此基础上，这是由高的机械和热强度，以及简单且kostengOnstiges方法用于区分石英玻璃的成分表示制造这种组件的，它在组件erfindungsgemaB方面提出，Stabiljsierungsschicht（3; 6; 7; 38 ）的不同之处由石英玻璃的化学成分，并且它通过热喷涂产生15。该方法erfindungsgemaBe的特征在于，在由石英玻璃的稳定层其化学组成的不同（3; 6; 7; 38）通过热喷涂施加。

4. 发明公开

EP1240114A1 VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG VON OPAKEM QUARZGLAS, FÜR DIE DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETES SiO2-GRANULAT UND BAUTEIL AUS OPAKEM QUARZGLAS 有权
标题翻译：用于生产不透明石英玻璃，具体实施不透明石英玻璃的方法中的SiO 2 SUITABLE颗粒状COMPONENT
公开(公告)号：EP1240114A1
公开(公告)日：2002-09-18
申请号：EP00993506.5
申请日：2000-12-14
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： WERDECKER, Waltraud , FABIAN, Heinz , GERTIG, Udo , LEIST, Johann , GÖBEL, Rolf
IPC分类号： C03C3/06 , C03C1/02 , C03B19/10
CPC分类号： C03C1/026 , C03B19/1065 , C03C3/06 , C03C2201/02 , C03C2201/24 , C03C2201/26 , C03C2201/32 , C03C2201/80 , C03C2203/10 , C03C2203/54
摘要： The invention relates to a method for the production of opaque quartz glass wherein a blank is made from synthetic SiO2 crystals and heated to form a blank body made of opaque quartz glass at a given vitrification temperature. A method for the production of pure, opaque quartz glass is disclosed wherein said quartz glass has a homogeneous pore distribution and a high density, a high viscosity and a lower tendency to devitrify. According to the invention, the SiO2 crystals are formed from an at least partially porous agglomerate of SiO2 primary particles (21; 31) having a specific surface (according to BET) between 1.5 m2/g and 40 m2/g with a stamping density of at least 0.8 g/cm3. SiO2 granulate (21; 31) suitable for use in performing the procedure is characterized in that it is composed of an at least partially porous agglomerate of SiO2 primary particles and has a specific surface (according to BET) between 1.5 m2/g and 40 m2/g in addition to a stamping density of at least 0.6 g/cm3.

5. 发明公开

EP1299316A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG ROTATIONSSYMMETRISCHER QUARZGLASTIEGEL 有权
公开(公告)号：EP1299316A1
公开(公告)日：2003-04-09
申请号：EP01965091.0
申请日：2001-07-09
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： LEIST, Johann , GÖBEL, Rolf , FRITZ, Helmut
IPC分类号： C03B19/09
CPC分类号： C03B19/095
摘要： The invention relates to a device (5) for producing a quartz glass crucible (2). At least two electrode arrangements (7, 8) which are evenly distributed on the periphery of the quartz glass crucible (2) and which produce a first arc and an additional arc each heat a section (14, 15) of a wall (13) of the quartz glass crucible (2), which rotates during this process. The use of multiple electrode arrangements (7, 8) enables the period in which the sections (14, 15) cool off before reaching the next heating area (11, 12) to be shortened, which in turn prevents an undesirable considerable temperature difference in the wall (13). At the same time, the necessary heat output for each individual electrode arrangement (7, 8) can be reduced, which reduces evaporation phenomena and the bubble formation that is associated with this. This not only improves quality but also shortens the production process.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产石英玻璃坩埚（2）的装置（5）。至少两个均匀分布在石英玻璃坩埚（2）的周边上并且产生第一电弧和附加电弧的电极装置（7,8），每个加热壁（13）的区段（14,15）在此过程中旋转的石英玻璃坩埚（2）。多个电极装置（7,8）的使用使得在到达下一个加热区域（11,12）之前冷却部分（14,15）的时间段缩短，这反过来又防止了不希望的相当大的温度差墙（13）。同时，可以减少每个单独的电极装置（7,8）所需的热量输出，这减少了与此相关的蒸发现象和气泡形成。这不仅提高了质量，而且缩短了生产流程。

6. 发明授权

EP0920543B1 QUARZGLAS-BAUTEIL FÜR EIN REAKTORGEHÄUSE SOWIE HERSTELLUNGSVERFAHREN UND ANWENDUNG DAFÜR 失效
标题翻译：石英玻璃部件用于反应堆住房与方法及用途
公开(公告)号：EP0920543B1
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：EP98925552.6
申请日：1998-05-07
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： HELLMANN, Dietmar , LEIST, Johann
IPC分类号： C23C16/00
CPC分类号： C03C15/00 , B24C1/06 , C03B19/095 , C03C11/007 , C03C17/003 , C03C17/02 , C03C17/23 , C03C2204/04 , C03C2204/06 , C03C2217/213 , C03C2218/33 , Y10T428/24364 , Y10T428/24942 , Y10T428/249969 , Y10T428/249988 , Y10T428/24999
摘要： The invention relates to a traditional, bell-shaped quartz glass component for a reactor chamber of a plasma etching device. This traditional quartz glass component comprises a substrate body made of a first quartz glass quality, and an inner surface facing a reactor interior. This inner surface has an average surface roughness Ra of more than 1 νm in at least one wrinkle area. The invention seeks to obtain a quartz glass component for a reactor housing which produces, as far as possible, no particles in the reactor chamber; whose interior surface, which faces the reactor interior, demonstrates high adhesion for material coatings deposited thereon; and which is particularly long-lasting. To this end, the wrinkle area consists of a bubble layer deposited on the substrate body and made of a second quartz glass quality with open pores. The invention also relates to a simple method for producing a quartz glass component of this kind, which enables the reproducible setting of a given surface roughness. The method comprises the following steps: a blank is moulded from a SiO2-containing grain mix; the blank is partially or completely vitrified by heating to a temperature over 1000 °C; an additional component, which reacts during vitrification on release of a gas, is admixed to the SiO2-containing grain mix in a wrinkle area during moulding of the blank interior surface. As a result of this, a porous bubble layer is produced in the wrinkle area during vitrification.

7. 发明授权

EP1240114B1 VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG VON OPAKEM QUARZGLAS, FÜR DIE DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETES SiO2-GRANULAT UND BAUTEIL AUS OPAKEM QUARZGLAS 有权
标题翻译：用于生产不透明石英玻璃，具体实施不透明石英玻璃的方法中的SiO 2 SUITABLE颗粒状COMPONENT
公开(公告)号：EP1240114B1
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：EP00993506.5
申请日：2000-12-14
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： WERDECKER, Waltraud , FABIAN, Heinz , GERTIG, Udo , LEIST, Johann , GÖBEL, Rolf
IPC分类号： C03C3/06 , C03C1/02 , C03B19/10
CPC分类号： C03C1/026 , C03B19/1065 , C03C3/06 , C03C2201/02 , C03C2201/24 , C03C2201/26 , C03C2201/32 , C03C2201/80 , C03C2203/10 , C03C2203/54
摘要： The invention relates to a method for the production of opaque quartz glass wherein a blank is made from synthetic SiO2 crystals and heated to form a blank body made of opaque quartz glass at a given vitrification temperature. A method for the production of pure, opaque quartz glass is disclosed wherein said quartz glass has a homogeneous pore distribution and a high density, a high viscosity and a lower tendency to devitrify. According to the invention, the SiO2 crystals are formed from an at least partially porous agglomerate of SiO2 primary particles (21; 31) having a specific surface (according to BET) between 1.5 m /g and 40 m /g with a stamping density of at least 0.8 g/cm . SiO2 granulate (21; 31) suitable for use in performing the procedure is characterized in that it is composed of an at least partially porous agglomerate of SiO2 primary particles and has a specific surface (according to BET) between 1.5 m /g and 40 m /g in addition to a stamping density of at least 0.6 g/cm .

8. 发明公开

EP1159227A1 QUARZGLASTIEGEL UND VERFAHREN FÜR SEINE HERSTELLUNG 有权
标题翻译：用于生产石英玻璃坩埚
公开(公告)号：EP1159227A1
公开(公告)日：2001-12-05
申请号：EP00990741.1
申请日：2000-12-14
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： WERDECKER, Waltraud , LEIST, Johann
IPC分类号： C03B19/09 , C30B15/10 , C30B35/00 , C03C3/06
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/09 , C03B19/095 , C03B2201/04 , C03C2201/02 , C03C2201/23 , C03C2201/80 , C30B15/10 , C30B35/002 , Y10S65/04 , Y10T428/131
摘要： The invention relates to a crucible characterized in that said crucible is of high purity and high opacity or exhibits low transmission characteristics in the IR range and is derived from a quartz glass crucible known in prior art. Said crucible known in prior art has a crucible body which is symmetrical about a rotational axis and said body is made of opaque quartz glass, whereby the crucible has an outer zone (3) made of opaque quartz glass which projects radially inwards to an inner zone (2) made of transparent quartz glass having a density of at least 2.15 g/cm3. The crucible body (1) is made of a synthetic SiO¿2? granulate with a specific surface (according to BET) in the range of 0.5 m?2¿/g to 40 m2/g and having a stamp density of at least 0.8 g/cm3 and is produced from an at least partially porous agglomerate of SiO¿2? primary particles. A method for producing said quartz glass crucible is characterized according to the invention in that during the production of said crucible, an at least partially porous agglomorate of synthetically produced SiO2 granulate made of SiO2 primary particles is produced having a specific surface (according to BET) in the range of 0.5 m?2¿/g to 40 m2/g and a stamp density of at least 0.8 g/cm3. Heating is performed in such a manner that a vitrification front progresses from the inside to the outside of an inner zone (4) made of transparent quartz glass.

9. 发明授权

EP1159227B1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES QUARZGLASTIEGELS 有权
标题翻译：用于生产石英玻璃坩埚
公开(公告)号：EP1159227B1
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：EP00990741.1
申请日：2000-12-14
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： WERDECKER, Waltraud , LEIST, Johann
IPC分类号： C03B19/09 , C30B15/10 , C30B35/00 , C03C3/06
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/09 , C03B19/095 , C03B2201/04 , C03C2201/02 , C03C2201/23 , C03C2201/80 , C30B15/10 , C30B35/002 , Y10S65/04 , Y10T428/131
摘要： The invention relates to a crucible characterized in that said crucible is of high purity and high opacity or exhibits low transmission characteristics in the IR range and is derived from a quartz glass crucible known in prior art. Said crucible known in prior art has a crucible body which is symmetrical about a rotational axis and said body is made of opaque quartz glass, whereby the crucible has an outer zone (3) made of opaque quartz glass which projects radially inwards to an inner zone (2) made of transparent quartz glass having a density of at least 2.15 g/cm . The crucible body (1) is made of a synthetic SiO2 granulate with a specific surface (according to BET) in the range of 0.5 m /g to 40 m /g and having a stamp density of at least 0.8 g/cm and is produced from an at least partially porous agglomerate of SiO2 primary particles. A method for producing said quartz glass crucible is characterized according to the invention in that during the production of said crucible, an at least partially porous agglomorate of synthetically produced SiO2 granulate made of SiO2 primary particles is produced having a specific surface (according to BET) in the range of 0.5 m /g to 40 m /g and a stamp density of at least 0.8 g/cm . Heating is performed in such a manner that a vitrification front progresses from the inside to the outside of an inner zone (4) made of transparent quartz glass.

10. 发明授权

EP1370498B1 BAUTEIL AUS QUARZGLAS SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN 有权
标题翻译： COMPONENT QUARZGLAS和方法生产同样
公开(公告)号：EP1370498B1
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：EP02753035.1
申请日：2002-03-20
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： WERDECKER, Waltraud , GERHARDT, Rolf , LEIST, Johann
IPC分类号： C03C17/22 , C03C17/245 , C03C17/34 , C30B15/10
CPC分类号： C03C17/005 , C03C17/22 , C03C17/3411 , C23C4/00 , C23C4/10 , C23C4/11 , C30B15/10 , C30B35/002
摘要： Disclosed is a component made of quartz glass, especially a crucible. A blank is provided with a stabilizing layer exhibiting a higher softening temperature than quartz glass. In order to provide a quartz glass component which is characterized by high mechanical and thermal resistance, in addition to providing a simple, cost-effective method for the production of said component, the chemical composition of the stabilizing layer (3; 6; 7; 38) is different from that of the quartz glass and said layer is applied by means of heat injection. The inventive method is characterized in that a stabilizing layer (3; 6; 7; 38) whose chemical composition is different from that of quartz glass is applied by heat injection.

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