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1. 发明公开

KR20200131730A 가스 전계 전리 이온원 审中-公开
公开(公告)号：KR20200131730A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：KR20200028782
申请日：2020-03-09
申请人： HITACHI LTD
发明人： MATSUBARA SHINICHI
IPC分类号： H01J37/08 , H01J27/26
摘要： (과제) 에미터팁을냉각할필요가없거나, 또는종래보다약한냉각으로운용가능하게하는가스전계전리이온원을제공한다. (해결수단) 가스를이온화하는전계를형성하는가스전계전리이온원(1, 2)은, 선단(先端)을가지는에미터팁(11)과, 에미터팁(11)에대향하고, 이격된위치에개구를가지는인출전극(13)과, 에미터팁(11)의근방에가스를공급하는가스공급수단(31, 45)과, 구멍(125)을갖는금속제의진공격벽(12)과, 에미터팁(11)과인출전극(13) 사이에전압을인가하는고전압전원(111, 112)을구비한다. 구멍(125)은, 에미터팁(11)의선단이통과가능해지도록구성되고, 진공격벽(12)은, 구멍(125)의주변에있어서인출전극(13)측을향하여돌출하는미소(微小) 돌기(121)를갖는다.

2. 发明专利

DE102020109610A1 GASFELDIONISIERUNGSQUELLE 未知
公开(公告)号：DE102020109610A1
公开(公告)日：2020-11-19
申请号：DE102020109610
申请日：2020-04-07
申请人： HITACHI LTD
发明人： MATSUBARA SHINICHI
IPC分类号： H01J37/08 , H01J7/20 , H01J37/28
摘要： Eine Gasfeldionisierungsquelle zum Erzeugen eines elektrischen Feldes Ionisieren von Gas weist auf: eine Emitterspitze mit einem Spitzenende; eine Extraktionselektrode, die der Emitterspitze zugewandt ist und an einer davon beabstandeten Position eine Apertur aufweist; ein Gasversorgungsmittel zum Zuführen des Gases in die Nähe der Emitterspitze; eine Vakuumtrennwand aus einem Metall mit einem Loch; und eine Hochspannungsleistungsquelle zum Anlegen von Spannung zwischen der Emitterspitze und der Extraktionselektrode. Das Loch ist so konstruiert, dass das Spitzenende der Emitterspitze hindurchgehen kann und die Vakuumtrennwand um das Loch herum einen Mikrovorsprung, der zu einer Seite der Extraktionselektrode hin vorsteht, aufweist.

3. 发明专利

DE102020109610B4 GASFELDIONISIERUNGSQUELLE 未知
公开(公告)号：DE102020109610B4
公开(公告)日：2022-08-04
申请号：DE102020109610
申请日：2020-04-07
申请人： HITACHI LTD
发明人： MATSUBARA SHINICHI
IPC分类号： H01J37/08 , H01J7/20 , H01J37/28
摘要： Gasfeldionisierungsquelle zum Erzeugen eines elektrischen Feldes zum Ionisieren von Gas, die aufweist:eine Emitterspitze (11) mit einem Spitzenende;eine Extraktionselektrode (13), die der Emitterspitze (11) zugewandt ist und an einer davon beabstandeten Position eine Apertur aufweist;einen Gaslieferanten (31, 45) zum Zuführen des Gases in die Nähe der Emitterspitze (11);eine Vakuumtrennwand (12) aus einem Metall mit einem Loch (125), wobei das Loch so konstruiert ist, dass das Spitzenende der Emitterspitze (11) hindurchtreten kann; undeinen Spannungsanleger (111, 112) zum Anlegen von Spannung zwischen der Emitterspitze (11) und der Extraktionselektrode (13),wobei die Vakuumtrennwand (12) um das Loch (125) herum eine konvexe Struktur (121), die zur Seite der Extraktionselektrode (13) hin vorsteht, aufweist, dadurch gekennzeichnet, dasseine äußere Form der konvexen Struktur (121) eine zylindrische Form ist; undein Verhältnis des Außendurchmessers (123) der konvexen Struktur (121) zu ihrer axialen Länge (122) gleich oder kleiner als 1,22 ist.

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