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    • 8. 发明申请
    • CONTACT LITHOGRAPHY APPARATUS, SYSTEM AND METHOD
    • 联系人地平线设备,系统和方法
    • WO2008048491A2
    • 2008-04-24
    • PCT/US2007/021813
    • 2007-10-12
    • HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L. P.WU, WeiWANG, Shih-YuanLI, ZhiyongWALMSLEY, Robert
    • WU, WeiWANG, Shih-YuanLI, ZhiyongWALMSLEY, Robert
    • G03F7/00G03F7/20
    • G03F7/0002B82Y10/00B82Y40/00G03F7/7035
    • A contact lithography system (100, 200) includes a patterning tool (110, 228a, 510) bearing a pattern (112); a substrate chuck (214) for chucking a substrate (130, 228b) to receive the pattern (112) from the patterning tool (110, 228a, 510); where the system (100, 200) deflects a portion of either the patterning tool (110, 228a, 510) or the substrate (130, 228b) to bring the patterning tool (110, 228a, 510) and a portion of the substrate (130, 228b) into contact; and a stepper (260) for repositioning either or both of the patterning tool (110, 228a, 510) and substrate (130, 228b) to align the pattern (112) with an additional portion of the substrate (130, 228b) to also receive the pattern (112). A method of performing contact lithography comprising: deflecting a portion of either a patterning tool (110, 228a, 510) or a substrate (130, 228b) to bring the patterning tool (110, 228a, 510) and a portion of the substrate (130, 228b) into contact; and repositioning either or both of the patterning tool (110, 228a, 510) and substrate (130, 228b) to align a pattern (112) on the patterning tool (110, 228a, 510) with an additional portion of the substrate (130, 228b) to also receive the pattern (112).
    • 接触光刻系统(100,200)包括具有图案(112)的图案形成工具(110,228a,510); 用于夹持基板(130,228b)以从所述图形化工具(110,228a,510)接收所述图案(112)的基板卡盘(214); 其中所述系统(100,200)偏转所述图案形成工具(110,228a,510)或所述衬底(130,228b)的一部分以使所述图案形成工具(110,228a,510)和所述衬底的一部分 130,228b)接触; 以及用于重新定位所述图案形成工具(110,228a,510)和衬底(130,228b)中的一个或两个以使所述图案(112)与所述衬底(130,228b)的附加部分对准的步进器(260) 接收图案(112)。 一种执行接触光刻的方法,包括:使图案形成工具(110,228a,510)或衬底(130,228b)的一部分偏转以使图案形成工具(110,228a,510)和衬底的一部分 130,228b)接触; 以及重新定位图案形成工具(110,228a,510)和衬底(130,228b)中的一个或两个以使图案形成工具(110,228a,510)上的图案(112)与衬底的附加部分(130 ,228b)以也接收图案(112)。