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1. 发明申请

WO2006111386A1 RUSSSENSOR 审中-公开
标题翻译： RUSS SENSOR
公开(公告)号：WO2006111386A1
公开(公告)日：2006-10-26
申请号：PCT/EP2006/003640
申请日：2006-04-20
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , MUZIOL, Matthias , ASMUS, Tim , ULLRICH, Karlheinz , OGRZEWALLA, Andreas , TEUSCH, Dieter
发明人： WIENAND, Karlheinz , MUZIOL, Matthias , ASMUS, Tim , ULLRICH, Karlheinz , OGRZEWALLA, Andreas , TEUSCH, Dieter
IPC分类号： G01N27/16 , G01N25/22 , G01N15/06
CPC分类号： G01N15/0656
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft Rußsensoren auf Basis einstückig ausgebildeter Leiterbahnstrukturen, Verfahren zur Rußmessung und die Verwendung von Heizleiterchips zur Rußmessung. Hierzu wird auf die Empfindlichkeit intensiver Größen, insbesondere stoffspezifischer Größen abgestellt. Erfindungsgemäß wird ein elektrischer Rußsensor bereitgestellt, bei dem mindestens ein Chip mit mindestens einer einstückig ausgebildeten, insbesondere zwei Anschlussfelder aufweisenden Leiterbahn ausgestattet ist und der Rußsensor eine Rußbestimmungseinrichtung aufweist, die auf die Bestimmung einer intensiven oder spezifischen Veränderung einer Oberfläche abgestellt ist. Verfahrensseitig wird mit Rußablagerungen eine Änderung einer intensiven Größe verursacht, insbesondere einer thermospezifischen oder elektrischen Kenngröße eines Chips und diese Größe bestimmt.
摘要翻译：本发明涉及一体形成的导体轨道结构，烟尘测量方法和使用Heizleiterchips到煤烟测量的基础上烟尘传感器。为此，面向密集量的灵敏度，特别是针对特定物质的尺寸。根据本发明的电烟尘传感器与至少形成在所述至少一个芯片的开口一体地设置，在具有印制导线被提供并且具有Rußbestimmungseinrichtung，它被引导到一个表面的强烈或特定改装的确定烟灰传感器特别是两个连接面板。的方法，特别是芯片的热塑性或特定的电参数和这个尺寸是由烟灰沉积物在确定的激烈尺寸的变化引起的。

2. 发明申请

WO2008131890A3 SCHICHTWIDERSTAND IM ABGASROHR 审中-公开
公开(公告)号：WO2008131890A3
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：PCT/EP2008/003236
申请日：2008-04-23
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , MUZIOL, Matthias , ULLRICH, Karlheinz
发明人： WIENAND, Karlheinz , MUZIOL, Matthias , ULLRICH, Karlheinz
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/698 , F02M25/07
摘要： Die Erfindung betrifft die Anordnung eines Schichtwiderstands (Chip) in einem Abgasrohr oder Abgasrückführrohr, wobei der Schichtwiderstand in einem Träger befestigt ist, der gegen eine Abschirmung oder ein Gehäuse abgedichtet ist, die oder das dicht mit dem Abgasrohr oder Abgasrückführrohr verbunden ist, wobei der Träger und die Abschirmung oder das Gehäuse radial außerhalb des Abgasrohrs oder Abgasrückführrohrs von diesem beabstandet gegeneinander abgedichtet sind.

3. 发明申请

WO2007048573A1 STRÖMUNGSSENSORELEMENT UND DESSEN SELBSTREINIGUNG 审中-公开
标题翻译：流量传感器元件和其自我清洁
公开(公告)号：WO2007048573A1
公开(公告)日：2007-05-03
申请号：PCT/EP2006/010232
申请日：2006-10-24
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , MUZIOL, Matthias
发明人： WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , MUZIOL, Matthias
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01F1/6983 , G01F1/6845 , G01F1/692
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Selbstreinigung eines Strömungssensorelements bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet sind, wobei das Temperaturmesselement einen Platindünnfilmwiderstand auf keramischem Untergrund zur Temperaturmessung aufweist und mit einem zusätzlichen Platindünnfilmwiderstand geheizt wird, sowie ein Strömungssensorelement bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet wird und die Verwendung eines solchen Strömungssensorelements. Ein erfindungsgemäßes Strömungssensorelement kann auch ein mehrteiliges Keramikbauteil aufweisen, das ein Trägerelement, ein Temperaturmesselement und ein Heizelement umfasst. Eine Messeinrichtung, insbesondere anemometrische Messeinrichtung eines Strömungssensors, enthält Schichtwiderstände in einer oder mehrerer Öffnung(en) eines Deckels oder eines Hohlkörpers. Die Schichtwiderstände sind erfindungsgemäß in der oder den Öffnung(en) befestigt. Zwei Schichtwiderstände unterscheiden sich bezüglich ihres Widerstandes um ein bis drei Größenordnungen. Bei einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors sind erfindungsgemäß ein Temperatursensor und ein Heizleistungssensor in ein Trägerelement gesteckt. Der Temperatursensor weist einen Temperaturmesswiderstand und einen Heizleiter als Platin-Dünn- oder Dickfilm-Widerstände auf keramischen Untergrund auf.
摘要翻译：本发明涉及一种用于流量传感器元件，其中，温度传感元件和加热元件被布置在承载元件上，其中所述温度传感元件包括陶瓷衬底的温度测量上的铂薄膜电阻，并且与附加的铂薄膜电阻加热的自清洁的方法，和一个流量传感器元件，其中，温度测量元件和一个加热元件被布置在承载元件和使用这样的流量传感器元件的上。根据本发明的流量传感器元件也可以包括一个多片式陶瓷元件，它包括一个支撑元件，温度传感元件和一个加热元件。的测量装置，在流量传感器的特定风力测定测量装置，包括一个盖的一个或多个开口（一个或多个）或空心体层的电阻。根据本发明的薄膜电阻器被紧固在一个或多个开口（一个或多个）。两个膜电阻由一至三个数量级的电阻不同。在流量传感器的一个风力测定测量装置，温度传感器和根据本发明的加热传感器被插入到一个载体元件。该温度传感器包括温度测量电阻器和一个热导体作为陶瓷基板上的铂薄膜或厚膜电阻器。

4. 发明申请

WO2008000494A2 SCHICHTWIDERSTAND IM ABGASROHR 审中-公开
标题翻译：层电阻在排气管
公开(公告)号：WO2008000494A2
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/EP2007/005769
申请日：2007-06-29
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , MUZIOL, Matthias
发明人： WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , MUZIOL, Matthias
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/6983 , G01P5/12 , Y10T29/49082
摘要： Eine Messeinrichtung, insbesondere anemometrische Messeinrichtung eines Strömungssensors, enthält Schichtwiderstände in einer oder mehrerer Öffnung(en) eines Deckels oder eines Hohlkörpers. Die Schichtwiderstände sind erfindungsgemäß in der oder den Öffnung(en) befestigt. Zwei Schichtwiderstände unterscheiden sich bezüglich ihres Widerstandes um ein bis drei Größenordnungen. Bei einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors sind erfindungsgemäß ein Temperatursensor und ein Heizleistungssensor in ein Trägerelement gesteckt. Der Temperatursensor weist einen Temperaturmesswiderstand und einen Heizleiter als Platindünn oder Dickfilm-Widerstände auf keramischen Untergrund auf. Zur Selbstreinigung einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors, bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement in ein Trägerelement gesteckt sind, weist das Temperaturmesselement einen Platindünnfilm-Widerstand auf keramischem Untergrund zur Temperaturmessung auf und wird mit einem zusätzlichen Platindünnfilm-Widerstand geheizt. Zur Herstellung einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors aus Schichtwiderständen und einem Deckel oder einem Hohlkörper werden zwei um ein bis zwei Größenordnungen unterschiedliche Schichtwiderstände in Öffnungen des Deckels oder Hohlkörpers gesteckt und in den Öffnungen befestigt.
摘要翻译：的测量装置，在流量传感器的特定风力测定测量装置，包括一个盖的一个或多个开口（一个或多个）或空心体层的电阻。根据本发明的薄膜电阻器被紧固在一个或多个开口（一个或多个）。两个膜电阻由一至三个数量级的电阻不同。在流量传感器的一个风力测定测量装置，温度传感器和根据本发明的加热传感器被插入到一个载体元件。所述温度传感器具有温度测量电阻器和热导体为铂薄膜或厚膜电阻在陶瓷基板上。对于其中一个温度感测元件和加热元件被插入到一个载体元件的流量传感器的风力测定测量装置的自清洁，温度感测元件包括陶瓷衬底的温度测量上的铂薄膜电阻，并且与附加的铂薄膜电阻加热。用于制造薄膜电阻和一个盖或两个空心体的一个流量传感器的测量风力测定装置是由一到两个数量级不同层电阻在盖或空心体的开口插入并固定在开口中。

5. 发明申请

WO2008104259A3 SCHUTZEINRICHTUNG FÜR EINEN TURBOLADER-TEMPERATURSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2008104259A3
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：PCT/EP2008/000717
申请日：2008-01-30
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , BACHMANN, Mario , MUZIOL, Matthias , LOOSE, Thomas
发明人： WIENAND, Karlheinz , BACHMANN, Mario , MUZIOL, Matthias , LOOSE, Thomas
IPC分类号： G01K1/12 , G01K7/16
摘要： Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor, insbesondere Hochtemperatursensor, bei dem zwischen dem Messwiderstand (Chip) und dem Zuleitungskabel eine Mineralisolierte-Leitung oder ein Wärmeentkopplungsdraht angeordnet ist und besteht darin, dass auf den Adern der Mineralisolierte-Leitung Federn aufgesteckt sind, über die die Kontaktierung zum Messwiderstand erfolgt oder der Wärmeentkopplungsdraht an dem dem Messwiderstand zugewandten Ende einseitig eingespannt ist und an dem anderen Ende federnd mit dem Zuleitungskabel verbunden ist.

6. 发明申请

WO2009021734A1 RUSSSENSOR MIT GLATTER, REINER AI2O3-OBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：带缓和RUSS传感器，REINER氧化铝-SURFACE
公开(公告)号：WO2009021734A1
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：PCT/EP2008/006688
申请日：2008-08-14
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz
发明人： WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz
IPC分类号： G01N15/06
CPC分类号： G01N15/0656
摘要： Zur Herstellung eines Rußsensorchips, bei dem eine Leiterbahnstruktur auf einem elektrisch isolierenden Untergrund aufgetragen wird, wird erfindungsgemäß der elektrisch isolierende Untergrund durch Entfernen von Bindemittel, insbesondere SiO 2 , von der Oberfläche eines Aluminiumoxid-Substrats oder durch Auftragen von Aluminiumoxid ohne Bindemittelzusatz auf die Oberfläche eines Substrats erzeugt. Ein erfindungsgemäßer Rußsensorchip weist eine Leiterbahnstruktur auf Saphir auf oder eine AI 2 O 3 -Oberfläche, die ohne SiO 2 -Zusatz aufgetragen oder gesintert ist oder in einer Reinheit von 99,99 Gew.-% aufgetragen oder gesintert ist oder eine gegenüber einer Brennhaut verringerte Oberflächenrauheit aufweist.
摘要翻译：为了制备Rußsensorchips，其中一个导体路径结构的电绝缘基板上时，根据本发明，通过去除粘合剂的电绝缘性基板，特别是二氧化硅，从氧化铝基板的表面上，或通过三氧化二铝的涂层而不添加粘合剂到基材的表面产生。根据本发明的烟尘传感器芯片具有在蓝宝石或施加或不二氧化硅添加剂烧结或施加或以99.99重量％的烧结体的纯度或具有相反的内皮肤减小的表面粗糙度的Al 2 O 3表面上的布线图案。

7. 发明申请

WO2009046927A2 VERWENDUNG EINES IONENLEITERS FÜR EINEN GASSENSOR 审中-公开
标题翻译： ION（下旬刊）用于气体传感器USE
公开(公告)号：WO2009046927A2
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：PCT/EP2008/008343
申请日：2008-10-02
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , J. DITTRICH ELEKTRONIC GMBH & CO. KG , TURWITT, Martin , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , ASMUS, Tim , DITTRICH, Jürgen , SCHÖNAUER, Ulrich , GUTH, Ulrich
发明人： TURWITT, Martin , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , ASMUS, Tim , DITTRICH, Jürgen , SCHÖNAUER, Ulrich , GUTH, Ulrich
IPC分类号： G01N27/407
CPC分类号： G01N27/4074 , G01N27/4075 , G01N27/4077 , G01N33/0037 , Y02A50/245
摘要： Ein einziger lonenleiter wird zur Messung von die Umwelt belastenden Abgaskomponenten verwendet, insbesondere als Sauerstoffpumpe. Zur Bestimmung von NO x im Abgas wird ein Sensorchip im Abgaskanal montiert wird, der einen einzigen lonenleiter zur Bestimmung von NO x aufweist. Vorzugsweise weist der Sensorchip einen Heizwiderstand auf und wird mit diesem geheizt. Ein Chip mit Heizleiter und Sauerstoffpumpe auf dessen Substrat ist mit einem Abgasschutz ausgestattet. Die äußere Elektrode einer Sauerstoffpumpe enthält neben Platin mindestens 20 Gew.-% Gold, Rhodium, Ruthenium, Palladium oder Silber. Auf einer elektrisch isolierenden Oberfläche eines Substrats ist eine Widerstandsstruktur und parallel hierzu beabstandet ein lonenleiter angeordnet, der als Deckel einen Raum zwischen dem Substrat und Seitenwänden abschließt.
摘要翻译：单个离子导体用于污染排气部件的测量，特别是作为氧泵。用于NOx的废气中的判定中，传感器芯片被安装在排气通道，包括用于NOx的判定的单一离子导体。优选地，在加热电阻器和所述传感器芯片通过该加热。与加热导体和氧泵到衬底的芯片配备有废气保护。氧气泵的外电极包含铂至少20重量金，铑，钌，钯或银的％。在衬底的电绝缘表面是一个电阻器结构和平行的，间隔排列的离子导体，其中关闭作为盖基板和侧壁之间的空间。

8. 发明申请

WO2010130370A1 FOTOLITHOGRAPHISCH STRUKTURIERTER DICKSCHICHTSENSOR 审中-公开
标题翻译：光刻技术结构化厚薄膜传感器
公开(公告)号：WO2010130370A1
公开(公告)日：2010-11-18
申请号：PCT/EP2010/002791
申请日：2010-05-06
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , ASMUS, Tim , MAIER, Angela , ULLRICH, Karlheinz
发明人： WIENAND, Karlheinz , ASMUS, Tim , MAIER, Angela , ULLRICH, Karlheinz
IPC分类号： G01N27/22 , G01N15/06
CPC分类号： G01N15/0656 , Y10T29/49002
摘要： Bei einem Sensor, insbesondere Impedanzsensor, z. B. Rußsensor, der zwei voneinander elektrisch isolierte Elektroden aufweist, wobei wenigstens eine äußere Elektrode aus einem Verbund aus Metall und anorganischem Oxid als Schichtmuster mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 μm ausgebildet ist, beträgt erfindungsgemäß die Bahnbreite des Schichtmusters und der Abstand zwischen den Bahnen 5 bis 70 μm und der Randbereich schwankt um die Leiterbahnkante weniger als 10 μm. Beide Elektroden können in einer Ebene als Schichtmuster nebeneinander angeordnet werden. Der Sensor weist vorzugsweise einen Heizer auf. Zur Massenproduktion werden Elektroden auf elektrisch isolierenden oxidischen Untergründen zu einem Schichtmuster mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 μm erzeugt und die Elektroden nach vollflächigem Aufdrucken einer Metallpulver und Oxid aufweisenden Paste aus der gedruckten Schicht zu Bahnen besonders genau strukturiert. Insbesondere wird die Schichtdicke der gedruckten Schicht reduziert.
摘要翻译：在一个传感器，特别阻抗传感器，Z。 B.烟灰传感器，包括两个相互电绝缘的电极，其特征在于，由金属和无机氧化物的复合体的至少一个外电极被形成为具有0.5至20微米的层厚度的膜图案，根据本发明，膜图案的纸幅宽度之间的距离和泳道5至70微米和边缘区域附近波动的导体轨道边缘小于10微米。两个电极可以被布置在一个平面内作为由侧的层图案侧。所述传感器优选地具有一个加热器。对于形成在由腹板特别准确地构造印刷在印刷层的金属粉末和含氧化物的糊剂电绝缘性基材氧化物层以具有0.5到20微米的层厚度和电极在整个表面上的图案大量生产的电极。特别是，在印刷层的层厚度降低。

9. 发明申请

WO2009046927A3 VERWENDUNG EINES EINZELNEN IONENLEITERS FÜR EINEN GASSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2009046927A3
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：PCT/EP2008/008343
申请日：2008-10-02
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , J. DITTRICH ELEKTRONIC GMBH & CO. KG , TURWITT, Martin , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , ASMUS, Tim , DITTRICH, Jürgen , SCHÖNAUER, Ulrich , GUTH, Ulrich
发明人： TURWITT, Martin , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , ASMUS, Tim , DITTRICH, Jürgen , SCHÖNAUER, Ulrich , GUTH, Ulrich
IPC分类号： G01N27/407
摘要： Ein einziger lonenleiter wird zur Messung von die Umwelt belastenden Abgaskomponenten verwendet, insbesondere als Sauerstoffpumpe. Zur Bestimmung von NO x im Abgas wird ein Sensorchip im Abgaskanal montiert wird, der einen einzigen lonenleiter zur Bestimmung von NO x aufweist. Vorzugsweise weist der Sensorchip einen Heizwiderstand auf und wird mit diesem geheizt. Ein Chip mit Heizleiter und Sauerstoffpumpe auf dessen Substrat ist mit einem Abgasschutz ausgestattet. Die äußere Elektrode einer Sauerstoffpumpe enthält neben Platin mindestens 20 Gew.-% Gold, Rhodium, Ruthenium, Palladium oder Silber. Auf einer elektrisch isolierenden Oberfläche eines Substrats ist eine Widerstandsstruktur und parallel hierzu beabstandet ein lonenleiter angeordnet, der als Deckel einen Raum zwischen dem Substrat und Seitenwänden abschließt.

10. 发明申请

WO2013007343A2 MESSWIDERSTAND MIT SCHUTZRAHMEN 审中-公开
标题翻译：用保护FRAME测量电阻
公开(公告)号：WO2013007343A2
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：PCT/EP2012/002706
申请日：2012-06-27
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , SANDER, Margit
发明人： WIENAND, Karlheinz , SANDER, Margit
IPC分类号： G01K7/18
CPC分类号： G01K7/18 , C23C14/18 , C23C16/06
摘要： Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor, insbesondere Hochtemperatursensor, umfassend ein Substrat, zumindest zwei Anschlusskontakte und zumindest eine Widerstandsstruktur, wobei die Anschlusskontakte und die zumindest eine Widerstandsstruktur auf einer ersten Seite des Substrats angeordnet sind und wobei zumindest eine der Widerstandsstrukturen durch die Anschlusskontakte elektrisch kontaktiert ist, wobei an beiden Anschlusskontakten jeweils zumindest eine Elektrode neben der Widerstandsstruktur auf der ersten Seite des Substrats angeordnet ist, die elektrisch mit dem jeweiligen Anschlusskontakt verbunden sind oder zumindest an einem Anschlusskontakt zumindest eine Elektrode neben der Widerstandsstruktur auf der ersten Seite des Substrats angeordnet ist, wobei die Elektrode oder die Elektroden einteilig mit der Widerstandsstruktur ausgebildet ist oder sind. Die Erfindung betrifft auch einen Hochtemperatursensor umfassend einen solchen Temperatursensor. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Temperatursensors, bei dem zumindest eine Widerstandsstruktur auf einer ersten Seite eines Substrats aufgebracht wird, wobei eine vorzugsweise metallische Beschichtung auf dem Substrat derart aufgebracht wird, dass die Beschichtung die zumindest eine Widerstandsstruktur, zumindest zwei Anschlusskontakte und zumindest eine Elektrode bildet, so dass die Anschlusskontakte die zumindest eine Widerstandsstruktur elektrisch kontaktieren und zumindest eine Elektrode mit zumindest einem Anschlusskontakt elektrisch kontaktieren.
摘要翻译：本发明涉及一种温度传感器，特别是高的温度传感器，其包括一个基板，至少两个连接触点和至少一个电阻器结构，其中所述连接器接触，并且被布置在衬底的第一侧上的至少一个电阻结构，并且其中所述至少一个电阻结构由所述终端触点电接触，其中，至少一个电极是在两个端子触点分别被电连接到相应的端子接触，或者除了电阻结构的至少一个电极布置成邻近所述电阻结构在所述衬底的所述第一侧被设置在所述衬底的所述第一侧到端子接触，至少所述电极或电极与所述电阻结构一体地形成或正在。本发明还涉及一种包括温度传感器，例如一个高的温度传感器。本发明还涉及一种用于制造这样的温度传感器的方法，其特征在于，至少一个电阻器图案被施加到基材上，其中，优选金属涂层在基材上施加，使得所述涂层至少一个电阻器图案，至少两个连接触点和的第一侧形成至少一个电极，以使连接触点接触所述至少一个电阻器结构和电接触具有至少一个端子电接触的至少一个电极。

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