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    • 7. 发明申请
    • SENSOR UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SENSORS
    • 传感器和方法用于制造传感器
    • WO2013053762A1
    • 2013-04-18
    • PCT/EP2012/070066
    • 2012-10-10
    • HEINRICH-HEINE UNIVERSITÄT DÜSSELDORFSCHIERBAUM, KlausEL ACHHAB, MhamedSCHÜLE, Christiane
    • SCHIERBAUM, KlausEL ACHHAB, MhamedSCHÜLE, Christiane
    • G01N27/12
    • G01N27/127C25D7/00G01N27/125G01N27/26
    • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor (10) mit einer Schichtanordnung (12), wobei die Schichtanordnung (12) wenigstens eine Grundschicht (14), eine Mittelschicht (16) und eine Deckschicht (18) aufweist, wobei die Mittelschicht (16) zumindest teilweise auf der Grundschicht (14) angeordnet ist und mit dieser in Kontakt steht und wobei die Deckschicht (18) zumindest teilweise auf der Mittelschicht (16) angeordnet ist und mit dieser in Kontakt steht, wobei die Grundschicht (14) ein Metall aufweist, wobei die Mittelschicht (16) ein Metalloxid aufweist, und wobei die Deckschicht (18) porös ist und ein Material aufweist, das ausgewählt ist aus der Gruppe umfassend elektrisch leitfähige Kohlenstoffverbindungen wie insbesondere Graphit oder Kohlenstoff-Nanoröhren (CNTs), organische elektrische Leiter und unedle Metalle, und wobei die Grundschicht (14) und die Deckschicht (18) für eine Leitfähigkeitsmessung und/oder eine Widerstandsmessung elektrisch kontaktierbar sind. Ein derartiger Sensor (10) bietet eine hohe Sensitivität bei einer hohen Selektivität schon bei Umgebungstemperatur und ist ferner besonders kostengünstig herstellbar. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines Sensors (10). Die vorliegende Erfindung betrifft ferner eine Verwendung des erfindungsgemäßen Sensors (10) als Gassensor und/oder Flüssigkeitssensor.
    • 本发明涉及一种传感器(10)配有一个层布置(12),其中,所述层布置(12)包括至少一个基极层(14),中间层(16)和覆盖层(18),其中,所述中间层(16)至少部分地 在基层(14)被布置并与之接触,且其中所述覆盖层(18)至少部分地在中心层上(16)布置并与其接触,其中,所述基极层(14)包括金属,其中,所述 中间层(16)包括金属氧化物,并且其中所述覆盖层(18)是多孔的并且包含选自由导电性碳的化合物,例如尤其是石墨或碳纳米管(CNT),有机电导体和非贵金属组成的组中选择的材料, 且其中所述基极层(14)和用于电导率测量和/或电阻测量覆盖层(18)可以被电接触。 这样的传感器(10),甚至在环境温度下提供高选择性高灵敏度,并且还特别廉价地制造。 本发明还涉及一种制造传感器(10)的方法。 本发明还涉及一种使用本发明的传感器(10)作为气体传感器和/或液体传感器。