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1. 发明专利

SG11201509861PA VACUUM VALVE 未知
公开(公告)号：SG11201509861PA
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：SG11201509861P
申请日：2014-08-08
申请人： FUJIKIN KK
发明人： TANIKAWA TSUYOSHI , YAMAJI MICHIO , YAKUSHIJIN TADAYUKI , ISHIBASHI KEISUKE , YANAGIDA YASUMASA
IPC分类号： F16K17/06 , F16K51/02 , G05D16/06
摘要： A vacuum valve is provided with opening pressure setting means that sets a set value of a fluid pressure in a primary side passage beyond which communication is opened and forcible opening means that forcibly opens communication regardless of the fluid pressure in the primary side passage. The opening pressure setting means includes a spring receiver fixed to a stem, a compression coil spring having a lower end supported by the spring receiver, and an adjustment screw, movable in the axial direction, that presses the upper end of the compression coil spring. The forcible opening means includes a piston inserted onto the stem 5 under the spring receiver so as to be movable upward and downward and piston driving means that moves the piston and the spring receiver upward integrally by moving the piston upward using compressed air.

2. 发明专利

DE112018003910T5 Ventil 未知
公开(公告)号：DE112018003910T5
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：DE112018003910
申请日：2018-07-27
申请人： FUJIKIN KK
发明人： YANAGIDA YASUMASA , HIRAMATSU KOJI , YAKUSHIJIN TADAYUKI
IPC分类号： F16K27/00 , F16K27/02 , F16K39/02
摘要： Es wird ein Ventil für Hochdruckgas vorgestellt, wobei ein Plattenelement innerhalb eines Durchlochs, das in einem Ventilkörper des Ventils ausgebildet ist, vorgesehen ist, wobei das Plattenelement einen Kanal für Hochdruckgas innerhalb des Durchlochs bildet, wobei das Plattenelement innerhalb des Durchlochs durch ein Druckelement befestigt ist, wobei eine Endöffnung des Durchlochs durch ein Deckelelement verschlossen ist, wobei eine Dichtung an einem Umfangsteil der Endöffnung des Durchlochs vorgesehen ist, wobei die Dichtung zwischen dem Deckelelement und dem Ventilkörper sandwichartig angeordnet ist, wobei das Deckelelement durch einen Stopfen in Richtung des Ventilkörpers gedrückt wird, und wobei ein Lager zwischen dem Stopfen und dem Deckelelement vorgesehen ist.

3. 发明专利

DE112017005493T5 Dichtungsanordnung, Dichtungsverfahren und Kupplung mit der Dichtungsanordnung 未知
公开(公告)号：DE112017005493T5
公开(公告)日：2019-08-08
申请号：DE112017005493
申请日：2017-10-26
申请人： FUJIKIN KK
发明人： HIRAMATSU KOJI , YAMAJI MICHIO , DAIDO KUNIHIKO , YAKUSHIJIN TADAYUKI , YANAGIDA YASUMASA , FUNAKOSHI TAKASHI
IPC分类号： F16J15/06 , F16L19/03
摘要： Es wird eine Dichtungsanordnung, in der die Dichtwirkung auch bei Verwendung für Niedertemperaturfluide über einen langen Zeitraum gewährleistet ist, ein Dichtungsverfahren und eine Kupplung, die die Dichtungsanordnung umfasst, bereitgestellt. Die Dichtungsanordnung umfasst eine ringförmige Dichtung 6, die zwischen einem ersten Element 2 und einem zweiten Element 3 angeordnet ist. Das erste Element 2 ist auf seiner Oberfläche, die der Dichtung 6 zugewandt ist, vorgesehen mit: einer ersten Oberfläche 41, die auf der Innendurchmesserseite angeordnet ist; einem ersten ringförmigen Vorsprung 42, der auf der Außendurchmesserseite der ersten Oberfläche 41 angeordnet ist; einer zweiten Oberfläche 43, die auf der Außendurchmesserseite des ersten Vorsprungs 42 angeordnet ist; einem zweiten ringförmigen Vorsprung 44, der auf der Außendurchmesserseite der zweiten Oberfläche 43 angeordnet ist und einen größeren vorstehenden Anteil in Bezug auf die zweite Oberfläche 43 als der erste Vorsprung 42 aufweist. Der erste Vorsprung 42 und der zweite Vorsprung 44 graben sich in die Dichtung 6 ein, und die zweite Oberfläche 43 drückt gegen die Dichtung 6.

4. 发明专利

SG11201907322SA VALVE AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE 未知
公开(公告)号：SG11201907322SA
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：SG11201907322S
申请日：2017-11-02
申请人： FUJIKIN KK
发明人： TANNO RYUTARO , YANAGIDA YASUMASA , SHINOHARA TSUTOMU
IPC分类号： F16K31/44 , F16K1/32 , H01L21/3065
摘要： VALVE DEVICE AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE Provided are a valve device and a semiconductor production device that can be used long-term without seizing even during high-temperature use, and which do not have contaminants in the chambers thereof. The valve device includes: a boosting mechanism 30 that amplifies drive force; a first stem 25 and a second stem 26 that receive force amplified by the boosting mechanism 30 and move; and a diaphragm 11 capable of opening and closing fluid passages 2b, 2c. The boosting mechanism 30 includes: a retainer 31 and bearings 32; shafts 33 having both ends thereof supported by the bearings 32; and arms 34 pivotably supported by the shafts 33 and having an outer end portion 34C that receives drive force and an inner end portion 34B that amplifies and transmits drive force to the first stem 25. In the retainer 31, the bearings 32, the shafts 33, and the arms 34, the bearings 32 and both ends of the shaft 33 constitute a swinging portion in conjunction with the swinging by the arms 34, and thereamong, the bearings 32 include a carbon fiber composite material. [FIG. 2] 22

5. 发明专利

DE112017005502T5 Dichtungsanordnung, Dichtungsverfahren und Kupplung mit der Dichtungsanordnung 未知
公开(公告)号：DE112017005502T5
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：DE112017005502
申请日：2017-10-26
申请人： FUJIKIN KK
发明人： HIRAMATSU KOJI , YAMAJI MICHIO , DAIDO KUNIHIKO , YAKUSHIJIN TADAYUKI , YANAGIDA YASUMASA , FUNAKOSHI TAKASHI
IPC分类号： F16J15/06 , F16J15/08 , F16J15/10 , F16K27/00 , F16L19/03 , F16L23/02 , F16L23/032 , F16L23/16
摘要： Es wird eine Dichtungsanordnung, in der die Dichtwirkung auch bei Verwendung für Niedertemperaturfluide über einen langen Zeitraum gewährleistet ist, ein Dichtungsverfahren und eine Kupplung, die die Dichtungsanordnung umfasst, bereitgestellt. Die Dichtungsanordnung umfasst eine ringförmige Dichtung 6, die zwischen einem ersten Element 2 und einem zweiten Element 3 angeordnet ist. Das erste Element 2 ist auf seiner der Dichtung zugewandten Oberfläche vorgesehen mit: einem ringförmigen Vorsprung 42; einer geneigten Oberfläche 43, die auf einer Innendurchmesserseite in Bezug auf den ringförmigen Vorsprung 42 angeordnet und in einer Richtung weg von der Dichtung 6 geneigt ist; und einer außendurchmesserseitigen Oberfläche 41, die auf einer Außendurchmesserseite in Bezug auf den Vorsprung 42 angeordnet ist.

6. 发明专利

JP2016003752A 流体制御器审中-公开
公开(公告)号：JP2016003752A
公开(公告)日：2016-01-12
申请号：JP2014126433
申请日：2014-06-19
申请人： FUJIKIN KK
发明人： TANIGAWA TAKESHI , YAKUSHIJIN TADAYUKI , ISHIBASHI KEISUKE , YANAGIDA YASUMASA
IPC分类号： F16K31/50 , F16K7/17 , F16K31/122
摘要：【課題】自動開閉および手動開閉の両方が可能であり、かつ、その構成が簡素化された流体制御器を提供する。【解決手段】流体制御器1は、圧縮流体によって弁棒9を上下移動させる自動開閉手段10と、手動操作によって弁棒9を上下移動させる手動開閉手段11とを備えている。手動開閉手段11は、ケーシング8に回転可能かつ上下移動不可能に支持された筒状のハンドル41と、ハンドル41内周に設けられためねじにねじ合わされ、ハンドル41の回転操作に伴って上下移動する筒状の作動部材42とを備えている。作動部材42は、自動開閉時には、自動開閉手段10のピストン32から上下方向に離間した位置にあり、手動開閉時には、ハンドル41の回転操作に伴って上方に移動する作動部材42によって、ピストン32が自動開閉手段による通常時の開閉状態である開状態とは逆方向に移動させられる。【選択図】図1

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