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    • 2. 发明申请
    • SCHICHTENFOLGE
    • 层序列
    • WO2004061990A2
    • 2004-07-22
    • PCT/DE2003/003867
    • 2003-11-21
    • FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBHFÖRSTER, ArnoldLEPSA, Mihail, IonSTOCK, Jürgen
    • FÖRSTER, ArnoldLEPSA, Mihail, IonSTOCK, Jürgen
    • H01L47/02
    • H01L47/026
    • Die Erfindung betrifft eine Schichtenfolge für eine Gunn-Diode. Die Schichtenfolge umfasst eine Abfolge aufeinander angeordneter Schichten mit einer ersten hochdotierten n d -GaAs-Schicht (3), einer auf der ersten hochdotierten Schicht (3) angeordneten gegradeten Schicht aus AlGaAs (5), wobei die Aluminium-Konzentration dieser Schicht von der Grenzfläche zur ersten n d -GaAs-Schicht (3) ausgehend in Richtung der gegenüberliegenden Grenzfläche der AlGaAs-Schicht (5) abnimmt, und einer zweiten hochdotierten n + -Schicht (7). An mindestens einer Grenzfläche der AlGaAs-Schicht (5) zu einer der hochdotierten Schichten (3, 7) ist eine undotierte Zwischenschicht (4, 6) als Diffusions- bzw. Segregationsstopschicht angeordnet, die eine ungewollte Dotierung der gegradeten Schicht unterbindet.
    • 本发明涉及用于耿氏二极管的层序列。 层序列依次包括具有第一高度掺杂的n <子> d GaAs层(3),设置在第一重掺杂层上的一个(3)的AlGaAs的gegradeten层(5),其中,所述铝布置在层的顺序 该层的浓度从界面到第一nDasGaAs层(3)朝着AlGaAs层(5)的相对边界表面减小,并且第二重掺杂的 n + 图层(7)。 AlGaAs层(5)的高掺杂层中的至少一个边界BEAR表面(3,7)是一个未掺杂的中间层(4,6)布置成其防止gegradeten层的无意掺杂<扩散或偏析阻挡层。 / p>