会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 5. 发明专利
    • СПОСОБ ДОВОДКИ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ЭПИТАКСИИ АЛМАЗА
    • RU2539903C2
    • 2015-01-27
    • RU2012147539
    • 2012-11-09
    • FEDERAL NOE G BJUDZHETNOE UCHREZHDENIE NAUKI INST OBSHCHEJ FIZ IM A M PROKHOROVA ROSSIJSKOJ AKADEMII
    • RAL CHENKO VIKTOR GRIGOR EVICHBOL SHAKOV ANDREJ PETROVICHASHKINAZI EVGENIJ EVSEEVICHRYZHKOV STANISLAV GENNADIEVICHPOL SKIJ ALEKSEJ VIKTOROVICHKONOV VITALIJ IVANOVICH
    • H01L21/302
    • Изобретениеотноситсяк способамдоводкиориентацииподложекизмонокристаллическихалмазов, предназначенныхдляэпитаксиальногоростаизгазовойфазымонокристаллическихалмазныхпластинвысокогоструктурногосовершенства, используемыхв производстверентгеновскихмонохроматоров, приборовэлектроники, оптики. Сущностьизобретения: вспособедоводкиориентацииалмазноймонокристаллическойподложкив процессешлифовкии полировки, закрепляемойс помощьюпланшайбынашпинделеустройства, выполненногосборным, свозможностьюплавногоповоротапонониусувокругосив двухвзаимноперпендикулярныхнаправленияхс фиксацией, корректировкаугларазориентацииростовойповерхностис дифракционнойплоскостьювыполняетсябезсъемакристалланаузкомучастке, площадькоторогонаходитсяв пределах 1-5% отобщейплощадиподлежащейдоводкеграниподложки, сиспользованиемметодовпромежуточныхизмеренийнетребующихрентгеновскойдифрактометриии переполировкивсейростовойповерхности, чтопозволяетобеспечитьлучшеекачество, экономиювремении проводитьдоводкус точностью, определяемойценойделенийнониуса. Способпредназначендляповышениякачества, экономиивременидоводкиориентацииростовыхповерхностейподложекдляэпитаксииалмазас точностьюугларазориентациис дифракционнойплоскостью 12 угловыхминут (0,2 градуса), путемполированиянакромкеподложкикорректирующейплощадки, долякоторойв общейплощадиподлежащейдоводкегранинаходитсяв пределах 1-5%. 1 табл., 2 ил., 1 пр.