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    • 1. 发明申请
    • KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE MIT MINDESTENS EINEM TEMPERATURMESSWANDLER UND DRUCKMESSAUFNEHMER MIT EINER SOLCHEN DRUCKMESSZELLE
    • 至少一个温度和压力MESSWANDLER这样的压力测量单元测量陶瓷压力测量单元
    • WO2017102217A1
    • 2017-06-22
    • PCT/EP2016/077745
    • 2016-11-15
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
    • ROSSBERG, AndreasPONATH, NilsSCHLEIFERBÖCK, JanUEHLIN, Thomas
    • G01L9/00G01L19/02G01L19/04G01K7/04
    • G01L9/0075G01K7/04G01L19/02G01L19/04
    • Eine Druckmesszelle umfasst:einen keramischen Gegenkörper (3); eine keramische Messmembran (2), die mit dem Gegenkörper (3) unter Bildung einer Messkammer zwischen dem Gegenkörper (3) und der Messmembran (2) mittels einer umlaufenden Fügestelle (4) druckdicht gefügt ist,wobei die Messmembran durch einen zu messenden Druck verformbare ist; einen elektrischen Wandler zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Signal; und einen Temperaturmesswandler zum Bereitstellen mindestens eines von einer Temperatur oder einem Temperaturgradienten der Druckmesszelle abhängigen elektrischen Signals, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperaturmesswandler mindestens ein erstes Thermoelement umfasst,das einen galvanischen Kontakt zwischen einem ersten Leiter, der ein erstes elektrischleitendes Material (14) umfasst,und einem zweiten Leiter der mindestens ein zweites elektrisch leitendes Material umfasst, aufweist.
    • 压力测量单元包括:陶瓷对立体(3);以及压力测量单元 陶瓷测量膜片(2),与所述GegenkÖ压力密封的机架(4)实测值导航用途;主体(3),以形成Gegenk&OUML之间的测量室;主体(3)和测量膜片(2)由周向˚F导航用途的装置是GT其中 测量膜片能够通过待测量的压力变形; 电换能器,用于将测量膜片的压力相关变形转换为电信号; 和一个温度传感器,用于提供温度中的至少一个或所述压力测量细胞依赖性BEAR依赖性电信号的温度梯度,其特征在于,所述温度传感器包括至少一个第一热电偶的第一导体之间的电接触,一个第一导电材料(14) 包括至少包括第二导电材料的第二导体,所述第二导体包括
    • 2. 发明申请
    • DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZUM ÜBERWACHEN EINES DRUCKSENSORS
    • 压力传感器和用于监控压力传感器
    • WO2017016757A1
    • 2017-02-02
    • PCT/EP2016/064378
    • 2016-06-22
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
    • JEHLE, MaxPARROTTO, DavideUEHLIN, Thomas
    • G01L9/00
    • G01L9/0076G01L9/002G01L9/0054
    • Drucksensor (1) zum Bestimmen einer Druckmessgröße, umfassend zumindest ein Gehäuse (2), ein in dem Gehäuse (2) angeordnetes Drucksensorelement (3), ein ebenfalls in dem Gehäuse (2) angeordnetes Leuchtmittel (4), sowie eine Regel-/Auswerteeinheit (8), wobei das Drucksensorelement (3) ein Halbleitermaterial und eine Messmembran aufweist, wobei an einer ersten Seite der Messmembran (5) ein erster Druck (P 1 ) und an einer zweiten Seite der Messmembran (5) ein zweiter Druck (p 2 ) angelegt ist, sodass die Messmembran (5) eine druckabhängige Auslenkung erfährt, wobei die Messmembran (5) zumindest ein integriertes Widerstandselement (6) aufweist und die Regel-/Auswerteeinheit (8) mit Hilfe des integrierten Widerstandselements (6) ein elektrisches Signal (10) zur Druckmessgrößen Bestimmung ermittelt, wobei durch das Leuchtmittel (4) eine optische Anregung des Drucksensorelementes (3), insbesondere des zumindest einen integrierten Widerstandselements (6), erfolgt und die Regel- /Auswerteeinheit (8) anhand einer aufgrund der optischen Anregung hervorgerufenen Änderung des elektrischen Signals (10) ermittelt, ob eine Fehlfunktion des Drucksensors (1) vorliegt.
    • 压力传感器(1),用于确定压力测量变量,其包括至少一个外壳(2),在所述壳体(2)压力传感器元件(3)设置在一个同样在壳体(2)的发光装置(4),和一个控制/分析单元被布置在 (8),其中,所述压力传感器元件(3)包括半导体材料和一个测量膜片,其特征在于,在测量膜片(5)的第一压力(P1)的第一侧,并在测量膜片的第二侧(5)施加的第二压力(P2) 使得测量膜片(5)经历取决于压力的偏转,其中,所述测量膜片具有至少一个集成的电阻元件(6)和所述控制/分析单元(8)由集成电阻元件(6)的电信号的装置(10)(5) 确定压力测量值的确定,其中,由所述发光装置的装置(4)是压力传感器元件(3)的光激发,特别是至少一个集成电阻器元件(6),并且所述控制/分析 通过由于电信号(10)中的压力传感器(1)的故障是否是本发明的光学激发变化引起的手段确定的单元(8)。
    • 3. 发明申请
    • DRUCKMESSAUFNEHMER
    • 压力传感器
    • WO2016096300A1
    • 2016-06-23
    • PCT/EP2015/076909
    • 2015-11-18
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
    • UEHLIN, ThomasKLÖFER, PeterLOPATIN, Sergej
    • G01L19/06G01L27/00G01L9/00G01M3/16
    • G01L19/0672G01L9/0072G01L27/007
    • Es ist ein Druckmessaufnehmer mit einer einen Innenraum (3) des Druckmessaufnehmers nach außen abschließenden elektrisch leitfahigenTrennmembran (5), deren Außenseite mit dem unter dem aufzunehmenden Druck (p) stehenden flüssigen Medium beaufschlagbar ist, beschrieben, der eine Vorrichtung zur Erkennung eines Membranbruchs der Trennmembran (5) aufweist, die sich dadurch auszeichnet, dass auf einer in den Innenraum (3) weisenden Innenseite der Trennmembran (5) mindestens eine Elektrode (15, 43) angeordnet ist, die über eine zwischen der Elektrode (15, 43) und der Trennmembran (5) angeordnete Isolationsschicht (17) elektrisch gegenüber der Trennmembran (5) isoliert und mechanisch mit der Trennmembran (5) verbunden ist, und eine an einen durch die Trennmembran (5) und die Elektrode (15) gebildeten Kondensator angeschlossene Messschaltung (19, 39) vorgesehen ist, die eine von einer elektrischen Eigenschaft des Kondensators abhängige Messgröße messtechnisch erfasst und überwacht, die sich durch bei einem Membranbruch der Trennmembran (5) in den Bereich des Kondensators eindringendes Medium verändert.
    • 存在具有压力测量换能器的内部空间(3)中的压力测量转换器向外最终的电leitfahigenTrennmembran(5),其外侧的雄性压力(p)可被作用液体介质中,在被连接到描述了一种装置,用于检测所述分离膜的膜片破裂 (5),其特征在于,指的是进入内部(3)分离膜的内部(5)的至少一个电极(15,43)被布置,其经由中间电极(15,43)和 布置分离膜(5)绝缘层(17)从分离薄膜由分离膜片电绝缘(5)和机械地连接到分离膜(5),和一个在一方面(5)和电极(15)形成的电容器连接的测量电路(19 ,39)被提供用于检测从属测量和监测的电容器测量变量的电特性的, 通过在电容器穿透介质的区域中的分离膜(5)一个膜片破损的改变。
    • 4. 发明申请
    • DIFFERENZDRUCKMESSZELLE
    • 压力差测量CELL
    • WO2017182213A1
    • 2017-10-26
    • PCT/EP2017/056568
    • 2017-03-20
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
    • SIXTENSSON, DanielTEIPEN, RafaelLEMKE, BenjaminKOBER, TimoUEHLIN, ThomasPONATH, Nils
    • G01L13/02G01L19/06
    • G01L19/0618G01L13/025
    • Die Erfindung betrifft eine Differenzdruckmesszelle, wobei mindestens einer von zwei Gegenkörpern (41;42), zwischen denen eine Messmembran (2) druckdicht eingefasst ist, mit einem angrenzenden Stützkörper (51;52) unter Bildung einer hydraulischen Stützkammer (8) verbunden ist, wobei die hydraulische Stützkammer (8) eine Abstützung (81) mit Kontaktflächen (Fk) zwischen Gegenkörper (41;42) und Stützkörper (51;52) und einen zwischen der Abstützung (81) verlaufenden und mit der Messkammer (61;62) kommunizierenden Ausgleichskanal (82) aufweist, und wobei die hydraulische Stützkammer (8) so strukturiert ist, dass die Kontaktflächen (Fk) der Abstützung (81) und der Ausgleichskanal (82) gleichmäßig in der hydraulischen Stützkammer (8) verteilt angeordnet sind. Durch den Ausgleichskanal (82) der hydraulischen Stützkammer (8) wird der Druck (p1;p2) gleichmäßig verteilt. Durch die Abstützung (81) der hydraulischen Stützkammer (8) wird der Gegenkörper (41;42) am Stützkörper (51;52) abgestützt.
    • 本发明涉及一种差动压力测量单元,其中,两个Gegenk&OUML的至少一个; rpern(41; 42),其之间的测量膜片(2)被封闭在压力密封,与相邻的圣导航用途TZKÖ主体(51; 52)以形成液压圣导航使用连接tzkammer(8),其中,所述液压圣导航用途tzkammer(8)分区:Abst导航使用估计(81)配有KontaktflÄ Gegenk&oUML之间陈(FK);主体(41; 42)和St导航用途 和在所述下降部(81)之间延伸且与所述测量室(61; 62)连通的补偿通道(82),并且其中所述液压蓄能室(8) 凹部81与均衡流路82的接触面Fk均匀地分布在液压蓄能室8内。 液压蓄能室(8)的均衡通道(82)均匀地分配压力(p1; p2)。 通过液压蓄能室(8)的突出部(81),配重体(41; 42)在短体(51; 52)上松弛,

    • 5. 发明申请
    • KAPAZITIVER DRUCKSENSOR
    • 电容式压力传感器
    • WO2016156162A1
    • 2016-10-06
    • PCT/EP2016/056436
    • 2016-03-23
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
    • KRAUS, StefanHAUPTVOGEL, Karl-PeterKOCH, SaschaROSSBERG, AndreasUEHLIN, ThomasBURGARD, MartinPONATH, NilsDREWES, Ulfert
    • G01L9/00G01L9/12G01L19/04
    • G01L9/0073G01L9/125G01L19/04
    • Es ist ein kapazitiver Drucksensor mit einer unter Einschluss einer Druckkammer (5) auf einem Grundkörper (3) angeordneten, miteinem Druck (p) beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren Messmembran (1), einer einen äußeren Rand der Messmembran (1) unter Einschluss der Druckkammer (5) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (1)zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) verbindenden Aktivhartlötung (7), und einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer vom zu messenden Druck (p) abhängigen Auslenkung der Messmembran (1), der mindestens einen durch eine auf einer dem Grundkörper (3) zugewandten Seite der Messmembran (1) angeordnete Membran-Elektrode (11) undeine auf einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) angeordnete Grundkörper-Elektrode (13) gebildeten Kondensatorumfasst,beschrieben,der kostengünstiger, insb. mit geringer Varianz in hoher Qualität, herstellbar ist,undsich dadurchauszeichnet,dass die Membran-Elektrode (11) aus halbleitendem,dotiertem Tantaloxid, insb. halbleitendem,dotiertem Ditantalpentoxid (Ta 2 O 5 ), besteht.
    • 它与电容式压力传感器中的,包括一个压力室(5)上的基体(3)被布置,以压力(P)依赖于压力可弹性变形的测量膜片采取行动(1),测量膜的外边缘(1)包括压力室 (5)与所述测量膜片中的一个的外边缘(1)的面向基体的端侧(3)连接Aktivhartlötung(7),以及用于依赖于压力的计量检测电容型机电变换器要测量的测量膜片(1)的(p)偏转, Kondensatorumfasst组成,配置在至少设置一个通过的一侧面向所述基体(3)的测量膜片的侧面(1)膜电极(11)和(1)的朝向所述基体(3)的基电极的端侧的测量膜片中的一个(13) 描述了,尤其是具有成本效益。在高品质的变化较小,可以生产的,并且所述dadurchauszeichnet 该半导电的膜 - 电极(11),掺杂的氧化钽,尤指半导电,掺杂ditantalum五氧化二钒(Ta2O5),是。
    • 6. 发明申请
    • KAPAZITIVE DRUCKMESSZELLE MIT MINDESTENS EINEM TEMPERATURSENSOR UND DRUCKMESSVERFAHREN
    • 与至少一个传感器温度和压力测量方法电容式压力测量单元
    • WO2015090771A1
    • 2015-06-25
    • PCT/EP2014/074656
    • 2014-11-14
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
    • BURGARD, MartinDREWES, UlfertPONATH, NilsROSSBERG, AndreasUEHLIN, Thomas
    • G01L9/00G01L9/12
    • G01L9/125G01L9/0072G01L9/12
    • Ein Drucksensor umfasst eine Betriebsschaltung; und eine Druckmesszelle mit einem Gegenkörper (1); einer an dem Gegenkörper (1) angeordneten, durch einen zu messenden Druck verformbaren Messmembran (2); und einem kapazitiven Wandler, welcher mindestens eine an der Messmembran angeordnete Membranelektrode (7) und mindestens eine am Gegenkörper (2) angeordnete Gegenkörperelektrode (8, 9) aufweist, wobei die Kapazität zwischen der Membranelektrode (7) und der Gegenkörperelektrode (8, 9) von einer druckabhängigen Verformung der Messmembran abhängt, wobei zumindest die Membranelektrode (7) eine temperaturabhängige Impedanz aufweist; wobei die Betriebsschaltung dazu eingerichtet ist, mindestens eine Kapazität zwischen der mindestens einen Gegenkörperelektrode und der mindestens einen Membranelektrode zu erfassen, und in Abhängigkeit von der mindestens einen Kapazität einen Druckmesswert bereitzustellen, sowie die Impedanz der Membranelektrode, insbesondere den ohmschen Anteil der Impedanz der Membranelektrode, zu bestimmen.
    • 一种压力传感器,包括操作电路; 和压力测量细胞与反体(1); 一个对置体(1)布置,通过压力将被测量变形的测量膜片(2); 和至少一个设置在测量薄膜的膜电极,其电容换能器(7)和至少一个布置在所述反身(2)的反体电极(8,9),其中所述膜电极(7)和反体电极之间的电容(8,9) 取决于该测量膜片的压力相关的变形,其中,至少所述膜电极(7)具有与温度相关的阻抗; 其中,所述操作电路被适配为,所述至少一个反体电极之间的至少一个电容并检测最小的膜电极,并提供一种压力测量值作为所述至少一个容量的函数,以及在膜电极的阻抗,尤其是膜电极的阻抗的电阻分量, 待确定。
    • 7. 发明申请
    • KAPAZITIVE KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE UND DRUCKSENSOR MIT EINER SOLCHEN DRUCKMESSZELLE
    • 有了这样的压力测量单元的电容式陶瓷压力测量单元与气压传感器
    • WO2011006741A1
    • 2011-01-20
    • PCT/EP2010/058784
    • 2010-06-22
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KGDREWES, UlfertROSSBERG, AndreasSCHMIDT, ElkeUEHLIN, Thomas
    • DREWES, UlfertROSSBERG, AndreasSCHMIDT, ElkeUEHLIN, Thomas
    • G01L9/00
    • G01L9/0075
    • Eine kapazitive Druckmesszelle (1), umfasst: einen keramischen Grundkörper (3) und eine keramische Messmembran (2), die entlang einer Fügestelle (4) unter Bildung einer Referenzdruckkammer (5) zwischen ihnen druckdicht miteinander verbunden sind, wobei die Messmembran (2) eine erste dem Grundkörper (3) zugewandte Elektrode (7) aufweist, wobei der Grundkörper (3) mindestens eine zweite der Messmembran (2) zugewandte Elektrode (8a, 8b) aufweist, wobei die Kapazität zwischen den ersten und zweiten Elektroden von der Differenz eines auf die Messmembran von außen einwirkenden Drucks und einem in der Referenzdruckkammer (5) herrschenden Drucks abhängt, wobei die Fügestelle (4) eine Stärke d aufweist, welche einen Gleichgewichtsabstand zwischen der Messmembran (2) und der Stirnseite des Grundkörpers (3) definiert, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Stirnseite des Grundkörpers eine Trägerschicht (9) angeordnet ist, die einen anorganischen Isolator aufweist, wobei die Trägerschicht eine Stärke von mindestens 0,2 d aufweist, und wobei die zweite Elektrode (8a, 8b) auf der Trägerschicht angeordnet ist.
    • 一种电容压力测量单元(1),包括:一个陶瓷基体(3)和陶瓷测量膜片(2),其是沿一个接头(4),以形成基准压力腔室(5)之间的压力密封它们连接到彼此,其中所述测量膜片(2) 第一至(3)面向所述电极的基体(7),其中,所述基体(3)(2)面向所述电极的测量膜片中的至少一个第二(8A,8B),其中一个之间的差的第一和第二电极之间的电容 到测量膜片外部施加的压力和参考压力室中存在一个(5)压力是相关的,与所述安装点(4)具有厚度d,它定义了测量膜片(2)和所述基体(3)的端面之间的平衡距离,其特征在于 在该背层(9)被布置在基体上,其具有无机绝缘体的前侧,其中所述载体别致 HT具有至少0.2的厚度d,以及其中,所述第二电极(8A,8B)被布置在载体层上。
    • 10. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES ABSOLUT- ODER RELATIVDRUCKSENSORS MIT EINEM KAPAZITIVEN WANDLER
    • 一种用于操作绝对或相对压力传感器具有电容TRANSFORMERS
    • WO2013004438A1
    • 2013-01-10
    • PCT/EP2012/060335
    • 2012-06-01
    • ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KGUEHLIN, ThomasWOSNITZA, ElmarGETMAN, Igor
    • UEHLIN, ThomasWOSNITZA, ElmarGETMAN, Igor
    • G01L9/00G01L27/00
    • G01R35/00G01L9/0072G01L27/007
    • Verfahren zum Betreiben eines Drucksensors, welcher eine Messmembran, mindestens einen Gegenkörper und einen kapazitiven Wandler mit zwei druckabhängigen Kapazitäten jeweils zwischen Elektroden an der Messmembran und ortsfesten Gegenelektroden aufweist, wobei die Messmembran ein Volumen druckdicht in zwei Teilvolumina teilt, wobei das zweite Teilvolumen in einer Messkammer zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper eingeschlossen ist, wobei eine Auslenkung der Messmembran von einer Druckmessgröße p als Differenz zwischen einem ersten Druck p 1 und zweiten Druck p 2 in den Teilvolumina abhängt, wobei die Druckmessgröße p aus beiden Kapazitäten folgt, wobei für einen intakten Drucksensor die zweite Kapazität eine vorgegebene Funktion der ersten Kapazität und ggf. der Temperatur ist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Erfassen von Wertepaaren beider Kapazitäten; Prüfen, ob die Wertepaare innerhalb eines Toleranzbereichs der vorgegebenen Funktion entsprechen; und Feststellen einer Veränderung bzw. Beschädigung des Sensors, wenn dies zu lange nicht der Fall ist.
    • 操作具有测量膜片,至少一个计数器的身体,并与在测量膜片和固定反电极,其中,所述测量膜把一个体积压力密封地分成两个子体积的电极之间的每一个情况下,两个压力相关的电容的电容换能器的压力传感器的方法,所述测量室的第二部分体积 被包括在测量膜和反式体,其特征在于,压力测量量p作为第一压力P1和第二压力p2之间的差的测量膜片的偏转部分取决于卷,其特征在于,所述压力测量尺寸如下两个电容的p,则第二对一个完整的压力传感器之间 容量是所述第一电容和可能的温度的预定函数,所述方法包括以下步骤:对两个容量值的检测; 检查是否对相应于所述预定功能的一个容限范围内的值; 和检测的改变或损坏传感器,如果这是太长并非如此。