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1. 发明申请

WO2016156162A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器
公开(公告)号：WO2016156162A1
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：PCT/EP2016/056436
申请日：2016-03-23
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： KRAUS, Stefan , HAUPTVOGEL, Karl-Peter , KOCH, Sascha , ROSSBERG, Andreas , UEHLIN, Thomas , BURGARD, Martin , PONATH, Nils , DREWES, Ulfert
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L19/04
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L9/125 , G01L19/04
摘要： Es ist ein kapazitiver Drucksensor mit einer unter Einschluss einer Druckkammer (5) auf einem Grundkörper (3) angeordneten, miteinem Druck (p) beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren Messmembran (1), einer einen äußeren Rand der Messmembran (1) unter Einschluss der Druckkammer (5) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (1)zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) verbindenden Aktivhartlötung (7), und einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer vom zu messenden Druck (p) abhängigen Auslenkung der Messmembran (1), der mindestens einen durch eine auf einer dem Grundkörper (3) zugewandten Seite der Messmembran (1) angeordnete Membran-Elektrode (11) undeine auf einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) angeordnete Grundkörper-Elektrode (13) gebildeten Kondensatorumfasst,beschrieben,der kostengünstiger, insb. mit geringer Varianz in hoher Qualität, herstellbar ist,undsich dadurchauszeichnet,dass die Membran-Elektrode (11) aus halbleitendem,dotiertem Tantaloxid, insb. halbleitendem,dotiertem Ditantalpentoxid (Ta 2 O 5 ), besteht.
摘要翻译：它与电容式压力传感器中的，包括一个压力室（5）上的基体（3）被布置，以压力（P）依赖于压力可弹性变形的测量膜片采取行动（1），测量膜的外边缘（1）包括压力室（5）与所述测量膜片中的一个的外边缘（1）的面向基体的端侧（3）连接Aktivhartlötung（7），以及用于依赖于压力的计量检测电容型机电变换器要测量的测量膜片（1）的（p）偏转， Kondensatorumfasst组成，配置在至少设置一个通过的一侧面向所述基体（3）的测量膜片的侧面（1）膜电极（11）和（1）的朝向所述基体（3）的基电极的端侧的测量膜片中的一个（13）描述了，尤其是具有成本效益。在高品质的变化较小，可以生产的，并且所述dadurchauszeichnet 该半导电的膜 - 电极（11），掺杂的氧化钽，尤指半导电，掺杂ditantalum五氧化二钒（Ta2O5），是。

2. 发明申请

WO2015090771A1 KAPAZITIVE DRUCKMESSZELLE MIT MINDESTENS EINEM TEMPERATURSENSOR UND DRUCKMESSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：与至少一个传感器温度和压力测量方法电容式压力测量单元
公开(公告)号：WO2015090771A1
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：PCT/EP2014/074656
申请日：2014-11-14
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： BURGARD, Martin , DREWES, Ulfert , PONATH, Nils , ROSSBERG, Andreas , UEHLIN, Thomas
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12
CPC分类号： G01L9/125 , G01L9/0072 , G01L9/12
摘要： Ein Drucksensor umfasst eine Betriebsschaltung; und eine Druckmesszelle mit einem Gegenkörper (1); einer an dem Gegenkörper (1) angeordneten, durch einen zu messenden Druck verformbaren Messmembran (2); und einem kapazitiven Wandler, welcher mindestens eine an der Messmembran angeordnete Membranelektrode (7) und mindestens eine am Gegenkörper (2) angeordnete Gegenkörperelektrode (8, 9) aufweist, wobei die Kapazität zwischen der Membranelektrode (7) und der Gegenkörperelektrode (8, 9) von einer druckabhängigen Verformung der Messmembran abhängt, wobei zumindest die Membranelektrode (7) eine temperaturabhängige Impedanz aufweist; wobei die Betriebsschaltung dazu eingerichtet ist, mindestens eine Kapazität zwischen der mindestens einen Gegenkörperelektrode und der mindestens einen Membranelektrode zu erfassen, und in Abhängigkeit von der mindestens einen Kapazität einen Druckmesswert bereitzustellen, sowie die Impedanz der Membranelektrode, insbesondere den ohmschen Anteil der Impedanz der Membranelektrode, zu bestimmen.
摘要翻译：一种压力传感器，包括操作电路; 和压力测量细胞与反体（1）; 一个对置体（1）布置，通过压力将被测量变形的测量膜片（2）; 和至少一个设置在测量薄膜的膜电极，其电容换能器（7）和至少一个布置在所述反身（2）的反体电极（8,9），其中所述膜电极（7）和反体电极之间的电容（8,9）取决于该测量膜片的压力相关的变形，其中，至少所述膜电极（7）具有与温度相关的阻抗; 其中，所述操作电路被适配为，所述至少一个反体电极之间的至少一个电容并检测最小的膜电极，并提供一种压力测量值作为所述至少一个容量的函数，以及在膜电极的阻抗，尤其是膜电极的阻抗的电阻分量，待确定。

3. 发明申请

WO2011006741A1 KAPAZITIVE KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE UND DRUCKSENSOR MIT EINER SOLCHEN DRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：有了这样的压力测量单元的电容式陶瓷压力测量单元与气压传感器
公开(公告)号：WO2011006741A1
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：PCT/EP2010/058784
申请日：2010-06-22
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , UEHLIN, Thomas
发明人： DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , UEHLIN, Thomas
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075
摘要： Eine kapazitive Druckmesszelle (1), umfasst: einen keramischen Grundkörper (3) und eine keramische Messmembran (2), die entlang einer Fügestelle (4) unter Bildung einer Referenzdruckkammer (5) zwischen ihnen druckdicht miteinander verbunden sind, wobei die Messmembran (2) eine erste dem Grundkörper (3) zugewandte Elektrode (7) aufweist, wobei der Grundkörper (3) mindestens eine zweite der Messmembran (2) zugewandte Elektrode (8a, 8b) aufweist, wobei die Kapazität zwischen den ersten und zweiten Elektroden von der Differenz eines auf die Messmembran von außen einwirkenden Drucks und einem in der Referenzdruckkammer (5) herrschenden Drucks abhängt, wobei die Fügestelle (4) eine Stärke d aufweist, welche einen Gleichgewichtsabstand zwischen der Messmembran (2) und der Stirnseite des Grundkörpers (3) definiert, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Stirnseite des Grundkörpers eine Trägerschicht (9) angeordnet ist, die einen anorganischen Isolator aufweist, wobei die Trägerschicht eine Stärke von mindestens 0,2 d aufweist, und wobei die zweite Elektrode (8a, 8b) auf der Trägerschicht angeordnet ist.
摘要翻译：一种电容压力测量单元（1），包括：一个陶瓷基体（3）和陶瓷测量膜片（2），其是沿一个接头（4），以形成基准压力腔室（5）之间的压力密封它们连接到彼此，其中所述测量膜片（2）第一至（3）面向所述电极的基体（7），其中，所述基体（3）（2）面向所述电极的测量膜片中的至少一个第二（8A，8B），其中一个之间的差的第一和第二电极之间的电容到测量膜片外部施加的压力和参考压力室中存在一个（5）压力是相关的，与所述安装点（4）具有厚度d，它定义了测量膜片（2）和所述基体（3）的端面之间的平衡距离，其特征在于在该背层（9）被布置在基体上，其具有无机绝缘体的前侧，其中所述载体别致 HT具有至少0.2的厚度d，以及其中，所述第二电极（8A，8B）被布置在载体层上。

4. 发明申请

WO2002088655A1 KAPAZITIVER DIFFERENZ-DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式差压传感器
公开(公告)号：WO2002088655A1
公开(公告)日：2002-11-07
申请号：PCT/EP2002/003720
申请日：2002-04-04
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH+CO. KG , HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
发明人： HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L9/0075 , G01L13/025
摘要： Bei einem Differnzdrucksensor wird der Meßwert mit Hilfe des Nenndrucks NP korrigiert. Dadurch werden Einflüsse auf den Meßwert aufgrund von Verformungen des Körpers des Differenzdrucksensors und der Änderung der Materialsteifigkeit der Membran verringert.
摘要翻译：在一个Differnzdrucksensor测量值与标称压力NP的辅助校正。其特征在于影响被减小到测量值由于差动压力传感器的主体，并在膜的材料的刚性的变化的变形。

5. 发明申请

WO2016005120A1 DIFFERENZDRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：压力差测量CELL
公开(公告)号：WO2016005120A1
公开(公告)日：2016-01-14
申请号：PCT/EP2015/062699
申请日：2015-06-08
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： DREWES, Ulfert , HÜGEL, Michael , PONATH, Nils , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , UEHLIN, Thomas
IPC分类号： G01L13/02 , G01L19/06 , G01L15/00
CPC分类号： G01L19/0618 , G01L13/025 , G01L15/00
摘要： Eine Differenzdruckmesszelle (100) umfasst eine Messmembran (110); zwei Gegenkörper (140, 170); und einen Wandler (120), wobei die Messmembran (110) zwischen den Gegenkörpern (140, 170) angeordnet und mit beiden Gegenkörpern druckdicht unter Bildung jeweils einer Messkammer (160, 190) verbunden ist, wobei die Gegenkörper (140, 170) jeweils einen Druckkanal (164, 194) aufweisen, durch welchen die jeweilige Messkammer (160, 190) mit einem Druck (p 1 , p 2 ) beaufschlagbar ist, wobei der Wandler (120) zum Wandeln einer von einer Differenz zwischen den Drücken (p 1 , p 2 ) abhängigen Verformung der Messmembran (110) in ein elektrisches Signal vorgesehen ist; wobei die Gegenkörper (140, 170) jeweils einen der Messmembran (110) zugewandten Kammerabschnitt (142, 172) und einen der Messmembran (110) abgewandten Rückwandabschnitt (144, 174) mit einer Entkopplungskammer (162, 192) dazwischen aufweisen, wobei die Kammerabschnitte (142, 172) jeweils einen Ausgleichskanal (163, 193) zwischen der Messkammer (160, 190) und der Entkopplungskammer (162, 192) aufweisen, wobei die Entkopplungskammer (162, 192) einen Durchmesser aufweist, der mindestens so groß ist wie der Durchmesser der Messkammer (160, 190).
摘要翻译：一种差动压力测量单元（100）包括测量膜（110）; 两个反向体（140，170）; 和转换器（120），其中，所述测量膜片（110）对置体之间（140，170）和设置有两个计数器机构压力密闭的方式在每种情况下，以形成一个测量室（160，190）连接，其中，所述计数器体（140，170）均具有通过该在压力相应的测量室（160，190）（P1，P2）的作用时压力通道（164，194），所述换能器（120），用于将所述压力之间的差中的一个（P1，P2）相关测量膜片（110）的变形在一个电信号提供; 其中与去耦室（162，192）的朝向从后壁部（144，174），腔室部分（142，172）和所述测量膜片（110）的一个远程反体（140，170）的测量膜片中的每一个（110）在其间具有，腔室部（142，172）各具有所述测量室（160，190）和所述去耦室（162，192），其中，所述去耦室（162，192）具有的直径至少是一样大之间的补偿信道（163，193）测量室（160，190）的直径。

6. 发明申请

WO2015161904A1 DRUCKSENSOR MIT EINEM KERAMISCHEN GRUNDKÖRPER 审中-公开
标题翻译：用陶瓷基体压力传感器
公开(公告)号：WO2015161904A1
公开(公告)日：2015-10-29
申请号：PCT/EP2014/078599
申请日：2014-12-18
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： DREWES, Ulfert , SCHMIDT, Elke , UEHLIN, Thomas , BERLINGER, Andrea
IPC分类号： C04B37/02 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , C04B37/025 , C04B37/026 , C04B2235/665 , C04B2237/04 , C04B2237/10 , C04B2237/12 , C04B2237/122 , C04B2237/127 , C04B2237/32 , C04B2237/343 , C04B2237/365 , C04B2237/40 , C04B2237/406 , C04B2237/58 , C04B2237/708 , C04B2237/72 , G01L9/0072 , G01L13/025 , G01L19/0007 , G01L19/0046 , G01L19/04 , G01L19/0681 , G01L19/14
摘要： Es ist ein Drucksensor, mit einem Grundkörper (1) aus Keramik, einer auf dem Grundkörper (1) angeordneten Messmembran (3, 41), einer im Grundkörper (1) unter der Messmembran (3, 41) eingeschlossenen Druckmesskammer (5), und mindestens einem mit dem Grundkörper (1) über eine druckdichte, vorzugsweise elastomerfreie, mechanische Verbindung (7, 37, 49) verbundenen Metallkörper, beschrieben, bei dem durch die Verbindung (7, 37, 49) bedingte thermomechanische Spannungen dadurch reduziert sind, dass die druckdichte mechanische Verbindung (7, 37, 49) über einen zwischen dem Grundkörper (1) und dem Metallkörper angeordneten Anpassungskörper (9, 19, 39, 51) erfolgt, der einen thermischen Ausdehnungskoeffizient (a(z)) aufweist, der in vom Grundkörper (1) zum Metallkörper verlaufender Richtung (z) von einem einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α k ) der Keramik des Grundkörpers (1) entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten auf einen dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α M ) des Metallkörpers entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten ansteigt, und der Anpassungskörper (9, 19, 39, 51) durch eine erste Fügung (11) mit dem Grundkörper (1) und durch eine zweite Fügung (13) mit dem Metallkörper verbunden ist.
摘要翻译：它与由陶瓷制成的基体（1）的压力传感器，在所述基体设置在基体一（1）测量膜片（3，41），一（1）的测量膜片的（3，41）封闭的压力测量室（5），和通过压力密封的，优选的弹性体 - 自由，机械连接到金属主体连接（7，37，49），其中，由连接所述基体（1）中的至少一个所述（7，37，49）相关的热机械应力减小，所述通过所述基体（1）和金属体之间的压力密封的机械连接（7，37，49），其设置匹配元件（9，19，39，51）由热膨胀系数（（Z））的，其在基体（1）以对应于膨胀系数金属体延伸方向（z）由所述基体（1）的陶瓷的热膨胀系数（αk）的（热膨胀系数α M）上升对应膨胀系数被连接到金属体的金属体，和调整体（9，19，39，51）由第一加法（11）到所述基体（1）和（第二次加入的13）的。

7. 发明申请

WO2013160019A2 DRUCKMESSAUFNEHMER 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2013160019A2
公开(公告)日：2013-10-31
申请号：PCT/EP2013/055630
申请日：2013-03-19
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： DREWES, Ulfert , PONATH, Nils , HÜGEL, Michael , UEHLIN, Thomas
CPC分类号： G01L9/0072
摘要： Ein Druckmessaufnehmer (1) umfasst: eine Druckmesszelle (10) mit einer kreisscheibenförmige Messmembran (11) und mindestens einem Gegenkörper (12) und einer Druckkammer dazwischen, welche über einen Druckkanal (14a), durch den Gegenkörper, mit einem Druck beaufschlagbar ist, wobei die Druckmesszelle einen elektrischen Wandler zum Wandeln einer Auslenkung der Messmembran in ein druckabhängiges Primärsignal aufweist; ein zylindrisches Gehäuse (40) mit einer Messzellenkammer in welcher die Druckmesszelle (10) in der Messzellenkammer angeordnet ist, und einer stirnflächenseitigen Druckempfangsöffnung (24), in Kommunikation mit dem Druckkanal (14a); und eine elektronische Schaltung (31) in dem Gehäuse zum Betreiben des elektrischen Wandlers, und zum Verarbeiten des Primärsignals, und zum Ausgeben eines Messsignals, wobei erfindungsgemäß die Zylinderachse der Druckmesszelle (10) mit der Zylinderachse des Gehäuses (40) einen Winkel einschließt, der nicht weniger als 80° beträgt, und der besonders bevorzugt ein rechter Winkel ist.
摘要翻译：压力测量换能器（1），包括：压力测量单元（10），其具有圆盘状的测量膜片（11）和至少一个反主体（12）和压力室之间，其中通过压力通道（14A）的在由计数器体与压力作用，其中所述压力测量单元包括用于在压力相关的主信号转换的测量膜片的偏转的电换能器; 与测量池腔室，其中所述压力测量单元（10）被布置在所述测量池腔室，并在连通的面侧的压力接收口（24）与所述压力通道（14a）的筒状的外壳（40）; 和电子电路（31）在所述壳体中用于操作所述电动换能器，以及用于主信号的处理，以及用于输出测量信号，其中，根据本发明，与所述壳体的圆柱轴线的压力测量单元（10）的汽缸轴线（40）包括角度不小于80°，并且特别优选为直角。

8. 发明申请

WO2002090916A1 GERÄT MIT EINEM EIN HYDROPHOBES ODER HYDROPHOBISIERTES NANOPORIGES MATERIAL ENTHALTENDEM FEUCHTFILTER 审中-公开
标题翻译：具有疏水性或疏水纳米多孔材料含有湿过滤装置
公开(公告)号：WO2002090916A1
公开(公告)日：2002-11-14
申请号：PCT/EP2001/012469
申请日：2001-10-27
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG
发明人： HEGNER, Frank , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , DREWES, Ulfert , WALTER, Bernhard , KIRST, Michael
IPC分类号： G01L19/06
CPC分类号： B01D39/2093 , B01D39/00 , G01L19/0038
摘要： Eine Kammer im Inneren eines Gehäuses kommuniziert über einen Gasaustauschpfad mit der Umgebung des Gehäuses, wobei im Gasaustauschpfad ein Filterelement mit einem nanoporigen, hydrophoben bzw. hydrophobierten Material angeordnet ist. Die Kammer dient beispielsweise zur Aufnahme von elektronischen Schaltungen oder sie ist als Referenzdruckkammer eines Relativdrucksensors ausgestaltet. Der erfindungsgemäße Relativdrucksensor zum Erfassen eines Meßdrucks bezogen auf einen Referenzdruck umfaßt einen Referenzdruckpfad (23), der sich zwischen einer Oberfläche, die mit dem Referenzdruck beaufschlagbar ist, und einer Öffnung in einer Referenzdruckkammer (22) erstreckt, wobei ein Filterelement (30), welches in dem Referenzdruckpfad angeordnet ist, ein hydrophobes oder hydrophobiertes nanoporiges Material umfaßt. Das Filterelement ermöglicht den Druckausgleich aufgrund seiner Durchlässigkeit für N2 und O2, während Wassermoleküle selektiv zurückgehalten werden. Das nanoporige Material umfaßt vorzugsweise ein anorganisches Material, insbesondere Al2O3,TiO2 oder SiO2. Das nanoporige Material ist vorzugsweise hydrophob und/oder kann zur Optimierung der hydrophoben Eigenschaften mit einer hydrophoben Schicht, vorzugsweise einem Silan imprägniert werden.
摘要翻译：壳体内部的腔室通过与所述壳体，具有纳米多孔的过滤器元件的周围的气体交换路径连通，疏水性或疏水材料被布置在所述气体交换路径。该腔室被用于例如用于容纳电子电路，或者它被设计为相对压力传感器的参考压力室。用于测量的压力相对于检测到的基准压力的本发明相对压力传感器包括被在由基准压力作用的表面之间延伸的基准压力路径（23），并且在基准压力室（22）中的开口，其特征在于，过滤元件（30），其被布置在基准压力路径包括疏水性或疏水性的纳米多孔材料。过滤元件允许压力补偿由于其渗透性N2和O2，而水分子被选择性地保留。纳米多孔材料优选地包括无机材料，特别是氧化铝，二氧化钛或二氧化硅。所述纳米多孔材料优选是疏水性和/或与疏水层以优化疏水性，优选浸渍硅烷。

9. 发明申请

WO2016037817A1 DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2016037817A1
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：PCT/EP2015/069052
申请日：2015-08-19
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , THAM, Anh Tuan
IPC分类号： G01L19/14 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0048 , G01L19/145 , G01L19/146 , G01L19/147
摘要： Es ist ein Drucksensor, mit einem Gehäuse (17, 51), insb. einem metallischen Gehäuse (17, 51), einer in dem Gehäuse (17, 51) zwischen einem eine Öffnung (19) des Gehäuses (17) außenseitlich allseitig umschließenden Absatz (21) und einem Gegenlager (23) eingespannten Druckmesszelle (1), insb. einer keramischen Druckmesszelle (1), die eine auf einem Grundkörper (3) unter Einschluss einer Druckmesskammer (5) angeordnete Messmembran (7) aufweist, und deren Messmembran (7) über die Öffnung (21) mit einem Druck (p) beaufschlagbar ist, beschrieben, dessen Druckmesszelle (1), insb. dessen Messmembran (7), vor in radialer Richtung wirkenden thermomechanischen Spannungen geschützt ist, indem zwischen einem äußeren Rand der Messmembran (7) und dem Absatz (21) ein Anpassungskörper (27, 31, 33) angeordnet ist, der einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der entlang des Anpassungskörper (27, 31, 33) in vom Absatz (21) zur Messmembran (7) verlaufender Richtung von einem einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α M ) des Absatzes (21) entsprechenden thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf einen einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α k ) der Messmembran (7) entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten absinkt.
摘要翻译：有压力传感器，包括：壳体（17，51），尤指außenseitlich侧壳体（17）段的开口（19）之间包围的金属壳（17，51），一个在所述壳体（17，51）（21）和支座（23）夹紧压力测量单元（1），尤指一种陶瓷压力测量单元（1），布置在基体（3），其包括一个压力测量腔室中的一个（5）测量膜片（7），并且测量膜片（ 7）（通过开口21）由一压力（p作用时），如所描述，所述压力测量单元（1），尤指测量膜片（7）被保护免受由所述测量膜片的外边缘之间在径向方向上的热机械应力作用（7）和所述肩部（21）具有匹配元件（27，31，33）被布置，其具有沿从所述肩部（21）中延伸的调整体（27，31，33）的热膨胀系数的测量膜片（7）从蛋方向肩部（21）的热膨胀系数（αM）的NEM系数减小对应于相应的膨胀系数的测量膜片（7）的热膨胀系数的热膨胀系数（αk）的。

10. 发明申请

WO2014082807A1 DRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：测压单元
公开(公告)号：WO2014082807A1
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：PCT/EP2013/072573
申请日：2013-10-29
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： DREWES, Ulfert , PONATH, Nils , ROßBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/06 , G01L9/0044 , G01L19/0618
摘要： Eine Druckmesszelle (20) weist eine elastische Messmembran (21) auf, wobei die Messmembran (21) auf einer ersten Seite mit einem ersten Druck und auf einer der ersten Seite abgewandten, zweiten Seite mit einem zweiten Druck beaufschlagbar ist, wobei die Messmembran in Abhängigkeit einer Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck auslenkbar ist, wobei die Messmembran ein erstes Volumen, welchem die erste Seite der Messmembran zugewandt ist, von einem zweiten Volumen, welchem die zweite Seite der Messmembran zugewandt ist, druckdicht trennt, wobei die Druckmesszelle weiterhin einen Wandler aufweist, zum Wandeln der druckabhängigen Auslenkung der Messmembran in ein elektrisches oder optisches Signal, dadurch gekennzeichnet, dass die Messmembran zumindest in einem radialen Randbereich (24), in welchem im ausgelenkten Zustand der Messmembran unter Druckbeaufschlagung Zugspannungsmaxima auftreten, im Gleichgewichtszustand der Messmembran zumindest an der Oberfläche der Messmembran Druckspannungen vorliegen.
摘要翻译：压力测量单元（20）包括弹性测量膜片（21），其特征在于从第一侧背对与第一压力和在第一侧上的测量膜片（21），具有第二压力的第二侧可以被应用，其中，在依赖的测量膜片所述第一压力和所述第二压力之间的差异可被偏转，其中所述测量膜，其中所述测量膜片的第一侧朝向从第二体积，其中，面向所述测量膜片的第二侧，压力密闭的方式的第一体积，其中，所述压力测量单元进一步具有用于测量膜片的压力相关的偏转转换成电信号或光信号的转换器，其特征在于所述测量膜片至少在径向轮缘部（24），其中在测量膜片的偏转状态下加压Zugspannungsmaxima发生，在测量膜片的平衡状态时，至少测量的表面上的本发明的膜的压缩应力。

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