会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 6. 发明申请
    • PATTERN CHARACTERISTIC-DETECTION APPARATUS FOR PHOTOMASK AND PATTERN CHARACTERISTIC-DETECTION METHOD FOR PHOTOMASK
    • 用于光电子的图案特征检测装置和图案特征检测方法
    • US20110058729A1
    • 2011-03-10
    • US12857906
    • 2010-08-17
    • Hiromu InoueHiroyuki IkedaEiji Sawa
    • Hiromu InoueHiroyuki IkedaEiji Sawa
    • G06K9/00
    • G01N21/956G03F1/84G03F7/70525G03F7/70625G03F7/7065
    • According to one embodiment, a pattern characteristic detection apparatus for a photomask includes a detection-data creating portion, a reference-data creating portion, an extracting portion, a first area-setting portion, a detecting portion and an collecting portion. The detection-data creating portion is configured to create detection data on the basis of an optical image of a pattern formed on a photomask. The reference-data creating portion is configured to create reference data of the pattern. The extracting portion is configured to extract a pattern for pattern characteristic detection and positional information of the extracted pattern. The first area-setting portion is configured to set an area where pattern characteristics are to be detected, and configured to extract a target pattern. The detecting portion is configured to detect pattern characteristics of the target pattern within the area. In addition, the collecting portion is configured to collect the detected pattern characteristics.
    • 根据一个实施例,用于光掩模的图案特性检测装置包括检测数据创建部分,参考数据创建部分,提取部分,第一区域设置部分,检测部分和收集部分。 检测数据创建部分被配置为基于形成在光掩模上的图案的光学图像来创建检测数据。 参考数据创建部分被配置为创建该图案的参考数据。 提取部分被提取用于图案特征检测的图案和提取的图案的位置信息。 第一区域设定部被配置为设定要检测图案特性的区域,并且被配置为提取目标图案。 检测部被配置为检测该区域内的目标图案的图案特性。 此外,收集部分被配置为收集检测到的图案特征。