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1. 发明专利

TW201448101A 用於搬動基板堆疊之保持系統、裝置及方法审中-公开
简体标题：用于搬动基板堆栈之保持系统、设备及方法
公开(公告)号：TW201448101A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103104983
申请日：2014-02-14
申请人： EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：泰那艾瑞 , THALLNER, ERICH , 林德那保羅 , LINDNER, PAUL
IPC分类号： H01L21/68 , B65G57/04
CPC分类号： H01L21/68785 , B25J15/0608 , H01L21/67092 , H01L21/68721 , H01L21/68728
摘要：本發明係關於一種保持系統(1、20)，其用於搬動與一第二基板(13)接合之一第一基板(4)，該保持系統具有：一保持表面(1o、20o)，用於保持一第一基板(4)，及至少一個凹槽(2、21)，其相對於該保持表面(1o、20o)凹入，該凹槽用於保持磁力作用附接構件(5、5’、5”)以相對於對齊該第一基板(4)之一第二基板(13)固定該第一基板(4)。另外，本發明係關於一種用於搬動一基板堆疊(14)之裝置，其由一第一基板(4)及相對於該第一基板(4)對齊之一第二基板(13)構成，該裝置具有磁力作用附接構件(5、5’、5”)以用於在一對齊固定化位置中相對於該第二基板(13)固定該第一基板(4)。再者，本發明係關於一種對應方法。就此而言，見圖1。
简体摘要：本发明系关于一种保持系统(1、20)，其用于搬动与一第二基板(13)接合之一第一基板(4)，该保持系统具有：一保持表面(1o、20o)，用于保持一第一基板(4)，及至少一个凹槽(2、21)，其相对于该保持表面(1o、20o)凹入，该凹槽用于保持磁力作用附接构件(5、5’、5”)以相对于对齐该第一基板(4)之一第二基板(13)固定该第一基板(4)。另外，本发明系关于一种用于搬动一基板堆栈(14)之设备，其由一第一基板(4)及相对于该第一基板(4)对齐之一第二基板(13)构成，该设备具有磁力作用附接构件(5、5’、5”)以用于在一对齐固定化位置中相对于该第二基板(13)固定该第一基板(4)。再者，本发明系关于一种对应方法。就此而言，见图1。

2. 发明专利

TWI614832B 用於搬動基板堆疊之保持系統、裝置及方法有权
简体标题：用于搬动基板堆栈之保持系统、设备及方法
公开(公告)号：TWI614832B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW103104983
申请日：2014-02-14
申请人： EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：泰那艾瑞 , THALLNER, ERICH , 林德那保羅 , LINDNER, PAUL
IPC分类号： H01L21/68 , B65G57/04
CPC分类号： H01L21/68785 , B25J15/0608 , H01L21/67092 , H01L21/68721 , H01L21/68728

3. 发明专利

TW201513172A 用以接合基板之裝置及方法审中-公开
简体标题：用以接合基板之设备及方法
公开(公告)号：TW201513172A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW103113935
申请日：2014-04-16
申请人： EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：魏跟特湯瑪斯 , WAGENLEITNER, THOMAS , 威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 林德那保羅 , LINDNER, PAUL , 普拉格湯瑪斯 , PLACH, THOMAS , 克茲伏洛里恩 , KURZ, FLORIAN
IPC分类号： H01L21/18
CPC分类号： B32B38/1833 , B32B37/0076 , H01L21/187 , Y10T156/17
摘要：本發明係關於一種用以使用以下步驟、尤其按以下順序將一第一基板(3)接合至一第二基板(8)於該等基板(3、8)之接觸表面(3k、8k)上之方法：- 安置該第一基板(3)於一第一接納設備(1)之一第一接納表面(2o)上且接納該第二基板(8)於一第二接納設備(4)之一第二接納表面(2o')上，- 使該等接觸表面(3k、8k)在一接合起始位點(20)處接觸，- 沿著自該接合起始位點(20)行進至該等基板(3、8)之側邊緣(3s、8s)之一接合波將該第一基板(3)接合至該第二基板(8)，其特徵在於：該第一基板(3)及/或該第二基板(8)經變形以在該接合之前及/或在該接合期間使該等接觸表面(3k、8k)在該接合起始位點(20)外對準。此外，本發明係關於一種對應裝置。
简体摘要：本发明系关于一种用以使用以下步骤、尤其按以下顺序将一第一基板(3)接合至一第二基板(8)于该等基板(3、8)之接触表面(3k、8k)上之方法：- 安置该第一基板(3)于一第一接纳设备(1)之一第一接纳表面(2o)上且接纳该第二基板(8)于一第二接纳设备(4)之一第二接纳表面(2o')上，- 使该等接触表面(3k、8k)在一接合起始位点(20)处接触，- 沿着自该接合起始位点(20)行进至该等基板(3、8)之侧边缘(3s、8s)之一接合波将该第一基板(3)接合至该第二基板(8)，其特征在于：该第一基板(3)及/或该第二基板(8)经变形以在该接合之前及/或在该接合期间使该等接触表面(3k、8k)在该接合起始位点(20)外对准。此外，本发明系关于一种对应设备。

4. 发明专利

TWI665716B 用以接合基板之裝置及方法有权
简体标题：用以接合基板之设备及方法
公开(公告)号：TWI665716B
公开(公告)日：2019-07-11
申请号：TW103113935
申请日：2014-04-16
申请人：奧地利商EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：魏跟特湯瑪斯 , WAGENLEITNER, THOMAS , 威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 林德那保羅 , LINDNER, PAUL , 普拉格湯瑪斯 , PLACH, THOMAS , 克茲伏洛里恩 , KURZ, FLORIAN
IPC分类号： H01L21/18

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