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1. 发明专利

TWI691010B 結合兩基材之裝置與方法有权
简体标题：结合两基材之设备与方法
公开(公告)号：TWI691010B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW108108465
申请日：2017-09-15
申请人：奧地利商EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 克茲伏洛里恩 , KURZ, FLORIAN , 達戈維爾 , DRAGOI, VIOREL
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687

2. 发明专利

TWI682476B 結合基板之裝置及方法有权
简体标题：结合基板之设备及方法
公开(公告)号：TWI682476B
公开(公告)日：2020-01-11
申请号：TW103124297
申请日：2014-07-15
申请人：奧地利商EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 達戈維爾 , DRAGOI, VIOREL , 伏洛傑恩克里斯多夫
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/3065

3. 发明专利

TW201613000A 使兩種金屬表面持久性連接之方法审中-公开
简体标题：使两种金属表面持久性连接之方法
公开(公告)号：TW201613000A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104144077
申请日：2011-03-25
申请人： EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 達戈維爾 , DRAGOI, VIOREL
IPC分类号： H01L21/60 , H01L23/52
CPC分类号： H01L24/03 , H01L24/29 , H01L24/83 , H01L24/94 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2224/03015 , H01L2224/0311 , H01L2224/0355 , H01L2224/03848 , H01L2224/29 , H01L2224/29111 , H01L2224/29124 , H01L2224/29144 , H01L2224/29147 , H01L2224/29298 , H01L2224/83801 , H01L2224/8383 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/0102 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/0105 , H01L2924/01058 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/0133 , H01L2924/14 , H01L2924/01014 , H01L2924/00014 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299 , H01L2224/2929 , H01L2924/00
摘要：本發明係關於一種在第一基板之第一金屬表面與第二基板之第二金屬表面之間產生持久性導電連接之方法，其具有以下方法步驟，特定言之係該方法之過程：- 以如下方式處理該第一及第二金屬表面：使得在該等金屬表面之連接中，尤其係在處理後數分鐘之時間內，可產生持久性導電連接，其至少主要係藉由該兩種金屬表面之特定言之類似(較佳係相同)的金屬離子及/或金屬原子之間的替位擴散產生；- 使該第一及第二金屬表面定向及連接，進行的方式為：於該處理、定向及連接期間，不超過至多300℃，特定言之至多260℃，較佳230℃，甚至更佳200℃，特別佳至多180℃，且理想至多160℃之製程溫度。
简体摘要：本发明系关于一种在第一基板之第一金属表面与第二基板之第二金属表面之间产生持久性导电连接之方法，其具有以下方法步骤，特定言之系该方法之过程：- 以如下方式处理该第一及第二金属表面：使得在该等金属表面之连接中，尤其系在处理后数分钟之时间内，可产生持久性导电连接，其至少主要系借由该两种金属表面之特定言之类似(较佳系相同)的金属离子及/或金属原子之间的替位扩散产生；- 使该第一及第二金属表面定向及连接，进行的方式为：于该处理、定向及连接期间，不超过至多300℃，特定言之至多260℃，较佳230℃，甚至更佳200℃，特别佳至多180℃，且理想至多160℃之制程温度。

6. 发明专利

TW201705349A 接合前對準基板之方法审中-公开
简体标题：接合前对准基板之方法
公开(公告)号：TW201705349A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW105116009
申请日：2016-05-23
申请人： EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：達戈維爾 , DRAGOI, VIOREL
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67092 , H01L23/544 , H01L2223/5442 , H01L2223/54426
摘要：本發明係關於一種用於對準包括至少兩個第一對準標記(8)之一第一基板(7)與包括至少兩個第二對準標記(8’)之一第二基板(7’)之方法，其中，- 憑藉一第一指派，在一X方向及一Y方向上將該等第一對準標記(8)指派給該第一基板(7)之至少兩個第一特性對準特徵(9)，- 憑藉一第二指派，在一X方向及一Y方向上將該等第二對準標記(8’)指派給該第二基板(7’)之至少兩個第二特性對準特徵(9’)及- 憑藉一對準，借助於該等第一及第二特性對準特徵(9、9’)使該等第一(8)及第二對準標記(8’)在一X及Y方向上相對於彼此對準。此外，本發明係關於一種對應裝置。
简体摘要：本发明系关于一种用于对准包括至少两个第一对准标记(8)之一第一基板(7)与包括至少两个第二对准标记(8’)之一第二基板(7’)之方法，其中，- 凭借一第一指派，在一X方向及一Y方向上将该等第一对准标记(8)指派给该第一基板(7)之至少两个第一特性对准特征(9)，- 凭借一第二指派，在一X方向及一Y方向上将该等第二对准标记(8’)指派给该第二基板(7’)之至少两个第二特性对准特征(9’)及- 凭借一对准，借助于该等第一及第二特性对准特征(9、9’)使该等第一(8)及第二对准标记(8’)在一X及Y方向上相对于彼此对准。此外，本发明系关于一种对应设备。

7. 发明专利

TW201612999A 使兩種金屬表面持久性連接之方法审中-公开
简体标题：使两种金属表面持久性连接之方法
公开(公告)号：TW201612999A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104144076
申请日：2011-03-25
申请人： EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 達戈維爾 , DRAGOI, VIOREL
IPC分类号： H01L21/60 , H01L23/52
CPC分类号： H01L24/03 , H01L24/29 , H01L24/83 , H01L24/94 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2224/03015 , H01L2224/0311 , H01L2224/0355 , H01L2224/03848 , H01L2224/29 , H01L2224/29111 , H01L2224/29124 , H01L2224/29144 , H01L2224/29147 , H01L2224/29298 , H01L2224/83801 , H01L2224/8383 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/0102 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/0105 , H01L2924/01058 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/0133 , H01L2924/14 , H01L2924/01014 , H01L2924/00014 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299 , H01L2224/2929 , H01L2924/00
摘要：本發明係關於一種在第一基板之第一金屬表面與第二基板之第二金屬表面之間產生持久性導電連接之方法，其具有以下方法步驟，特定言之係該方法之過程：- 以如下方式處理該第一及第二金屬表面：使得在該等金屬表面之連接中，尤其係在處理後數分鐘之時間內，可產生持久性導電連接，其至少主要係藉由該兩種金屬表面之特定言之類似(較佳係相同)的金屬離子及/或金屬原子之間的替位擴散產生；- 使該第一及第二金屬表面定向及連接，進行的方式為：於該處理、定向及連接期間，不超過至多300℃，特定言之至多260℃，較佳230℃，甚至更佳200℃，特別佳至多180℃，且理想至多160℃之製程溫度。
简体摘要：本发明系关于一种在第一基板之第一金属表面与第二基板之第二金属表面之间产生持久性导电连接之方法，其具有以下方法步骤，特定言之系该方法之过程：- 以如下方式处理该第一及第二金属表面：使得在该等金属表面之连接中，尤其系在处理后数分钟之时间内，可产生持久性导电连接，其至少主要系借由该两种金属表面之特定言之类似(较佳系相同)的金属离子及/或金属原子之间的替位扩散产生；- 使该第一及第二金属表面定向及连接，进行的方式为：于该处理、定向及连接期间，不超过至多300℃，特定言之至多260℃，较佳230℃，甚至更佳200℃，特别佳至多180℃，且理想至多160℃之制程温度。

8. 发明专利

TW201515136A 結合基板之裝置及方法审中-公开
简体标题：结合基板之设备及方法
公开(公告)号：TW201515136A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103124297
申请日：2014-07-15
申请人： EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 達戈維爾 , DRAGOI, VIOREL , 伏洛傑恩克里斯多夫
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/187 , H01L21/263 , H01L21/67092
摘要：本發明係關於一種用於在一第一基板(1)之一結合側與一第二基板(14)之一結合側之間產生一導電直接結合之裝置及一種對應方法，該裝置具有下列特徵：- 一工作空間(22)，其可經閉合、氣密而隔絕環境且可被供應一真空，- 該工作空間(22)包括：a)至少一電漿腔室(4)，其用於改質該等結合側之至少一者；及至少一結合腔室(5)，其用於結合該等結合側及/或b)至少一經組合的結合/電漿腔室(20)，其用於改質該等結合側之至少一者及結合該等結合側。
简体摘要：本发明系关于一种用于在一第一基板(1)之一结合侧与一第二基板(14)之一结合侧之间产生一导电直接结合之设备及一种对应方法，该设备具有下列特征：- 一工作空间(22)，其可经闭合、气密而隔绝环境且可被供应一真空，- 该工作空间(22)包括：a)至少一等离子腔室(4)，其用于改质该等结合侧之至少一者；及至少一结合腔室(5)，其用于结合该等结合侧及/或b)至少一经组合的结合/等离子腔室(20)，其用于改质该等结合侧之至少一者及结合该等结合侧。

9. 发明专利

TW201830549A 結合兩基材之裝置與方法审中-公开
简体标题：结合两基材之设备与方法
公开(公告)号：TW201830549A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW106131766
申请日：2017-09-15
申请人：奧地利商EV集團E塔那有限公司 , EV GROUP E. THALLNER GMBH
发明人：威普林格馬克斯 , WIMPLINGER, MARKUS , 克茲伏洛里恩 , KURZ, FLORIAN , 達戈維爾 , DRAGOI, VIOREL
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
摘要：本發明提出一種用於結合兩個基材之裝置、系統及方法。第一基材固持器具有凹部及隆起。
简体摘要：本发明提出一种用于结合两个基材之设备、系统及方法。第一基材固持器具有凹部及隆起。

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