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1. 发明申请

WO2023012067A1 LADUNGSÜBERTRAGUNGSVORRICHTUNG MIT EINEM AUSBUCHTUNGSBEREICH FÜR TAKTFREQUENZEN AB 100 MHZ 审中-公开
公开(公告)号：WO2023012067A1
公开(公告)日：2023-02-09
申请号：PCT/EP2022/071382
申请日：2022-07-29
申请人： ESPROS PHOTONICS AG
发明人： DE COI, Beat , CHONGQI, Yu
IPC分类号： H01L27/148
摘要： Vorgeschlagen wird eine Ladungsübertragungsvorrichtung für Taktfrequenzen ab 100 MHz mit einem Ladungsübertragungskanal in einem Halbleitersubstrat mit einer dotierten Leitungsschicht, wobei zur Verringerung der Verluste der Ladungsübertragungskanal und insbesondere ein Gatter oder die Abfolge von zwei angrenzender Gatter einen Bereich einer Ausbuchtung aufweist, in welchem der Querschnitt in Flussrichtung zuerst zunimmt und dann wieder abnimmt und welcher über den Bereich von ein oder zwei aneinandergrenzenden Gattern erstreckend angeordnet ist und einen Bereich einer Verengung aufweist, in welchem der Querschnitt in Flussrichtung abnimmt, und insbesondere kontinuierlich, insbesondere konstant abnimmt und mindestens im Bereich des Gates vor dem Bereich der Ausbuchung oder in den Bereichen des Gates vor der Ausbuchtung und des angrenzenden Gates der Ausbuchtung angeordnet ist.

2. 发明公开

EP4131383A1 LADUNGSÜBERTRAGUNGSVORRICHTUNG MIT EINEM AUSBUCHTUNGSBEREICH FÜR TAKTFREQUENZEN AB 100 MHZ 审中-实审
公开(公告)号：EP4131383A1
公开(公告)日：2023-02-08
申请号：EP21189013.2
申请日：2021-08-02
申请人： Espros Photonics AG
发明人： BEAT DE, Coi , CHONGQI, Yu
IPC分类号： H01L27/148
摘要： Vorgeschlagen wird eine Ladungsübertragungsvorrichtung für Taktfrequenzen ab 100 MHz mit einem Ladungsübertragungskanal (10) in einem Halbleitersubstrat (20) mit einer dotierten Leitungsschicht(30), wobei zur Verringerung der Verluste, der Ladungsübertragungskanal und insbesondere ein Gatter (60) oder die Abfolge von zwei angrenzender Gatter (60) einen Bereich einer Ausbuchtung (61) aufweist, in welchem der Querschnitt in Flussrichtung zuerst zunimmt und dann wieder abnimmt und welcher über den Bereich von ein oder zwei aneinandergrenzenden Gattern erstreckend angeordnet ist und einen Bereich einer Verengung (52) aufweist, in welchem der Querschnitt in Flussrichtung abnimmt, und insbesondere kontinuierlich, insbesondere konstant abnimmt und mindestens im Bereich des Gatters vor dem Bereich der Ausbuchtung oder in den Bereichen des Gatters vor der Ausbuchtung und des angrenzenden Gatters der Ausbuchtung angeordnet ist.

3. 发明公开

EP4131382A1 LADUNGSÜBERTRAGUNGSVORRICHTUNG MIT EINEM MÜNDUNGSBEREICH FÜR TAKTFREQUENZEN AB 100 MHZ 审中-实审
公开(公告)号：EP4131382A1
公开(公告)日：2023-02-08
申请号：EP21189012.4
申请日：2021-08-02
申请人： Espros Photonics AG
发明人： BEAT DE, Coi , CHONGQI, Yu
IPC分类号： H01L27/148
摘要： Vorgeschlagen wird eine Ladungsübertragungsvorrichtung mit einem Ladungsübertragungskanal in einem Halbleitersubstrat mit einer dotierten Leitungsschicht zur beweglichen Aufnahme der Ladungsträger mit einer Abfolge von mindestens zwei elektrisch getrennten Gattern welche benachbart aufeinander folgen zur Verschiebung der Ladungsträger in der Leitungsschicht in eine Flussrichtung wobei der Ladungsübertragungskanal durch Überlappung der möglichen elektrostatischen Wirkung der Gatter mit der Leitungsschicht ausgebildet ist und mit einem Taktgeber mit einer Taktfrequenz von über 100 MHz, insbesondere von über 150 MHz, über 200 MHz oder ungefähr oder über 250 MHz oder bis 300 MHz oder 400 MHz welcher die Gatter mit Potentialänderungen in Taktfrequenz beaufschlagt zum Transport von Ladungsträgern in der Taktfrequenz von benachbarten Bereichen der Überlappung von benachbarten Gattern mit der Leitungsschicht zu benachbarten Bereichen der Überlappung von benachbarten Gattern mit der Leitungsschicht, was dem Transport über eine CCD-Struktur entspricht, wobei der Ladungsübertragungskanal einen Mündungsbereich aufweist welcher in Flussrichtung an einer seitlichen Aussengrenze des Ladungsübertragungskanals angeordnet ist und welcher sich mindestens teilweise über die Bereiche von genau zwei benachbarten Gates des Ladungsübertragungskanals erstreckt um dem Ladungsübertragungskanal von einem an den Mündungsbereich angrenzenden Bereich ausserhalb des Ladungsübertragungskanals, insbesondere von einem zweiten Ladungsträgerkanal, Ladungsträger zuzuführen und um insbesondere den Rücklauf (Spill Back) oder der Flusswiderstand oder der Verlust der Ladungsträger in Flussrichtung des Ladungsübertragungskanals oder des dem Ladungsübertragungskanals Ladungsträger zuführenden Bereichs, insbesondere eines zweiten Ladungsübertragungskanals, zu reduzieren.

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