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1. 发明申请

WO2014053350A3 PRESSURE SENSOR COMPRISING A COVER LAYER 审中-公开
标题翻译：与表面压力传感器
公开(公告)号：WO2014053350A3
公开(公告)日：2014-06-19
申请号：PCT/EP2013069763
申请日：2013-09-24
申请人： ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG
发明人： LEMKE BENJAMIN , ZIERMANN RENÉ , POBERING SEBASTIAN , RÖDER RALF
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/065 , G01L9/0042 , G01L9/0052 , G01L9/085
摘要： The invention relates to a pressure sensor (1) comprising a substrate (2) having a formed measuring membrane (3) and an electrically conductive cover layer (4) which comprises electrical contact elements (5, 6, 7, 8) and which is electrically insulated in relation to the substrate (2) by means of an insulating layer (9). The cover layer (4) is structured such that in two regions (10, 11), that are electrically insulated from one another, two independent measurements of the respective resistance between two contact elements (5, 6, 7, 8) are possible. The regions (10, 11) of the cover layer (4) serve for shielding the sensor elements (12, 13) of the measuring membrane (3) from electromagnetic influences from the outside, for detecting damage to the measuring membrane (3) as well as for the exact temperature determination.
摘要翻译：本发明涉及（1），其包含（2）具有形成测量薄膜的基板的压力传感器（3）和导电层（4），该电接触元件（5，6，7，8）和所述基板（2）通过绝缘层相反的（9）是电绝缘的。所述覆盖层（4）的结构为，所述两个接触元件（5，6，7，8）是在两个相互电绝缘的部分（10,11）之间提供的各电阻的两个独立测量值。所述覆盖层（4）的区域（10,11）用于屏蔽在测量膜片（3）中的传感器元件（12,13），以检测损坏的测量膜片（3），并且精确的温度确定外部电磁影响。

2. 发明专利

DE102012109325A8 Drucksensor mit Deckschicht 未知
公开(公告)号：DE102012109325A8
公开(公告)日：2014-07-10
申请号：DE102012109325
申请日：2012-10-01
申请人： ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG
发明人： LEMKE BENJAMIN , POBERING SEBASTIAN , RÖDER RALF , ZIERMANN RENÉ
IPC分类号： G01L9/06 , B81B3/00 , B81B7/02 , G01L19/04

3. 发明专利

DE102012109325A1 Drucksensor mit Deckschicht 未知
公开(公告)号：DE102012109325A1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：DE102012109325
申请日：2012-10-01
申请人： ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG
发明人： LEMKE BENJAMIN , POBERING SEBASTIAN , RÖDER RALF , ZIERMANN RENÉ
IPC分类号： G01L9/06 , B81B3/00 , B81B7/02 , G01L19/04
摘要： Die Erfindung betrifft einen Drucksensor 1 umfassend ein Substrat 2 mit ausgebildeter Messmembran 3 und eine elektrisch leitfähige Deckschicht 4, welche elektrische Kontakteelemente 5, 6, 7, 8 aufweist und gegenüber dem Substrat 2 durch eine Isolationsschicht 9 elektrisch isoliert ist. Die Deckschicht 4 ist dabei derartig strukturiert ist, dass in zwei voneinander elektrisch isolierten Bereichen 10, 11 zwei unabhängige Messungen des jeweiligen Widerstands zwischen zwei Kontaktelementen 5, 6, 7, 8 möglich sind. Die Bereiche 10, 11 der Deckschicht 4 dienen zu Abschirmung äusserer elektromagnetischer Einflüsse auf Sensorelemente 12, 13 der Messmembran 3, zu Erkennung von Schäden an der Messmembran 3, sowie der genauen Temperaturbestimmung.

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