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    • 3. 发明申请
    • ANLAGE MIT EINER PROZESSKAMMER FÜR WERKSTÜCKE
    • 有处理室元件厂
    • WO2013164285A1
    • 2013-11-07
    • PCT/EP2013/058817
    • 2013-04-26
    • DÜRR SYSTEMS GMBH
    • WIELAND, DietmarIGLAUER, OliverKNÜSEL, ChristofWINKLER, Marius
    • F26B15/14F26B21/04F26B25/00F26B23/02
    • F26B21/004F26B15/14F26B21/04F26B21/10F26B23/022F26B25/008F26B2210/12
    • Die Erfindung betrifft eine Anlage (1) mit einer Prozesskammer (5), die einen Innenraum 39 mit einem Aufnahmebereich (15) für Werkstücke (3) umfasst. Die Prozesskammer (5) hat eine Öffnung (12, 14) für das Zu- oder Abführen von Werkstücken (3). Die Prozesskammer (5) ist mit einer Vorrichtung (17, 9, 25, 29, 33, 37, 35) für das Einblasen von gasförmigen Fluid in den Innenraum (39) ausgebildet, die wenigstens eine Düse (17, 19) oder Blende für das Erzeugen eines Fluidstromvorhangs (21, 23) zwischen der Öffnung (12, 4) und dem Aufnahmebereich (15) für Werkstücke (3) aufweist. Die Prozesskammer (5) hat eine Einrichtung (74) für das Zuführen von Frischluft, mit der auf einer der Öffnung (12, 14) abgewandten Seite des Fluidstromvorhangs (21, 23) in den Aufnahmebereich (15) Frischluft eingeleitet werden kann.
    • 本发明涉及一种包括提供有容纳部39的处理室(5)的设备(1)包括内部(15),用于工件(3)。 处理室(5)具有用于供给或移除工件的开口(12,14)(3)。 处理室(5)与用于注入气态流体进入内部(39)的装置(17,图9,25,29,33,37,35),所述至少一个喷嘴(17,19)或孔径为形成 生成所述开口之间的流体流帘(21,23)(12,4)和用于工件的接收区域(15)(3)。 处理室(5)具有用于在所述开口中的一个(12,14)供给的新鲜空气,用装置(74),所述流体流动帘(21,23)到接收区域的相对侧可以被引入(15)新鲜空气。