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1. 发明公开

EP2290120A2 Hochtemperatur-Verdampferzelle mit parallel geschalteten Heizbereichen 有权转让
标题翻译： HOCHTEMPERATUR-VERDAMPFERZELLE MIT KONISCHEM HEIZEMENT
公开(公告)号：EP2290120A2
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：EP10015785.8
申请日：2008-07-21
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin E.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht , Watahiki, Tatsuro
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/066
摘要： Eine Verdampferzelle (100), die zur Verdampfung insbesondere eines hochschmelzenden Verdampfungsguts eingerichtet ist, umfasst einen Tiegel (10) zur Aufnahme des Verdampfungsguts, der einen Tiegelboden (11), eine Seitenwand (12), die sich in einer Axialrichtung des Tiegels (10) erstreckt, und eine Tiegelöffnung (13) aufweist, und eine Heizeinrichtung (20) mit einem Heizwiderstand (21), der eine Vielzahl von Heizbereichen (21.1, 21.2) umfasst, die auf einer Außenseite des Tiegels (10) angeordnet sind und sich entlang der Axialrichtung des Tiegels (10) erstrecken, wobei die Heizbereiche (21.1, 21.2) zur mehrseitigen Widerstandsheizung des Tiegels (10) eingerichtet sind, und wobei die Heizbereiche (21.1, 21.2) so gebildet sind, dass ein Heizstrom durch den Heizwiderstand (21), der z. B. durch eine Widerstandshülse gebildet wird, durch alle Heizbereiche (21.1, 21.2) parallel und gleichsinnig fließt.
摘要翻译：包括用于接收待蒸发的材料的坩埚（10）的蒸发池（100）具有在坩埚的轴向方向上延伸的基部（11）和侧壁（12）。坩埚具有孔（13），并且在坩埚的外侧具有加热器壁（21）并且包括多个加热区域的加热器。加热器是电阻或电子束加热器。包括使用所述蒸发池蒸发高熔点材料的方法的独立权利要求。

2. 发明公开

EP1970474A1 Bedampfungseinrichtung und Bedampfungsverfahren zur Molekularstrahlbedampfung und Molekularstrahlepitaxie 有权
标题翻译： Bedampfungseinrichtung zur Molekularstrahlbedampfung und Molekularstrahlepitaxie
公开(公告)号：EP1970474A1
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：EP08003282.4
申请日：2008-02-22
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin E.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： C30B23/06 , C23C14/24 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/562 , C30B23/066 , C30B35/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Bedampfungseinrichtung (1) zum Bedampfen eines Substrats (2) mit einem Verdampfungsmaterial, insbesondere zur Molekularstrahlepitaxie, mit einer Effusionszelle (3) zum Verdampfen des Verdampfungsmaterials, wobei die Effusionszelle (3) eine Austrittsöffnung aufweist, um das Verdampfungsmaterial in einem verdampften Zustand auf das Substrat zu applizieren, und mit einer Substratführung, die das zu bedampfende Substrat vor der Austrittsöffnung der Effusionszelle (3) positioniert und im Betrieb relativ zu der Austrittsöffnung bewegt. Es wird vorgeschlagen, dass das zu bedampfende Substrat ein Substratband (2) ist und eine bestimmte Bandbreite aufweist, und dass die Effusionszelle (3) das Substratband (2) auf der gesamten Bandbreite mit dem Verdampfungsmaterial bedampft.
摘要翻译：分子束沉积组件（1）在移动的衬底（2）上沉积一层或多层分子物质。该组件具有一个具有蒸汽束引导件的出口单元（3），该导流单元指向移动的基板。基板是预定宽度的条带。蒸汽束覆盖移动基板的整个宽度。

3. 发明授权

EP2290120B1 HOCHTEMPERATUR-VERDAMPFERZELLE MIT KONISCHEM HEIZELEMENT 有权转让
标题翻译：锥形加热器高温蒸发器CELL
公开(公告)号：EP2290120B1
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：EP10015785.8
申请日：2008-07-21
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht , Watahiki, Tatsuro
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/066

4. 发明公开

EP1732129A3 Hochtemperatur-Verdampferzelle und Verfahren zur Verdampfung hochschmelzender Materialien 有权
标题翻译：对于高熔点材料蒸发的高温蒸发器细胞和方法
公开(公告)号：EP1732129A3
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：EP06011125.9
申请日：2006-05-30
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： H01L23/34 , C23C14/24 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/30 , C30B23/066 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Eine Verdampferzelle (100), insbesondere zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts, umfasst einen Tiegel (10) zur Aufnahme des Verdampfungsguts, und eine Heizeinrichtung (20) mit einem Heizwiderstand (21) zur Widerstandsheizung des Tiegels (10), wobei der Heizwiderstand (21) als ein Elektronenemitter zur Elektronenstrahlheizung des Tiegels (10) vorgesehen ist. Es wird auch ein Verfahren zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts beschrieben.

5. 发明公开

EP2290120A3 Hochtemperatur-Verdampferzelle mit parallel geschalteten Heizbereichen 有权转让
标题翻译：具有平行的加热区的高温蒸发器单元
公开(公告)号：EP2290120A3
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：EP10015785.8
申请日：2008-07-21
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin E.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht , Watahiki, Tatsuro
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/066
摘要： Eine Verdampferzelle (100), die zur Verdampfung insbesondere eines hochschmelzenden Verdampfungsguts eingerichtet ist, umfasst einen Tiegel (10) zur Aufnahme des Verdampfungsguts, der einen Tiegelboden (11), eine Seitenwand (12), die sich in einer Axialrichtung des Tiegels (10) erstreckt, und eine Tiegelöffnung (13) aufweist, und eine Heizeinrichtung (20) mit einem Heizwiderstand (21), der eine Vielzahl von Heizbereichen (21.1, 21.2) umfasst, die auf einer Außenseite des Tiegels (10) angeordnet sind und sich entlang der Axialrichtung des Tiegels (10) erstrecken, wobei die Heizbereiche (21.1, 21.2) zur mehrseitigen Widerstandsheizung des Tiegels (10) eingerichtet sind, und wobei die Heizbereiche (21.1, 21.2) so gebildet sind, dass ein Heizstrom durch den Heizwiderstand (21), der z. B. durch eine Widerstandshülse gebildet wird, durch alle Heizbereiche (21.1, 21.2) parallel und gleichsinnig fließt.

6. 发明授权

EP1970474B1 Bedampfungseinrichtung zur Molekularstrahlbedampfung und Molekularstrahlepitaxie 有权
标题翻译：汽化到Molekularstrahlbedampfung和分子束外延
公开(公告)号：EP1970474B1
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：EP08003282.4
申请日：2008-02-22
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin E.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： C30B23/06 , C23C14/24 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/562 , C30B23/066 , C30B35/00

7. 发明授权

EP1732129B8 Hochtemperatur-Verdampferzelle und Verfahren zur Verdampfung hochschmelzender Materialien 有权
标题翻译：对于高熔点材料蒸发的高温蒸发器细胞和方法
公开(公告)号：EP1732129B8
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：EP06011125.9
申请日：2006-05-30
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： H01L23/34 , C23C14/24 , C23C14/30 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/30 , C30B23/066 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

8. 发明授权

EP1732129B1 Hochtemperatur-Verdampferzelle und Verfahren zur Verdampfung hochschmelzender Materialien 有权
标题翻译：对于高熔点材料蒸发的高温蒸发器细胞和方法
公开(公告)号：EP1732129B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：EP06011125.9
申请日：2006-05-30
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： H01L23/34 , C23C14/24 , C23C14/30 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/30 , C30B23/066 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

9. 发明公开

EP1732129A2 Hochtemperatur-Verdampferzelle und Verfahren zur Verdampfung hochschmelzender Materialien 有权
标题翻译：对于高熔点材料蒸发的高温蒸发器细胞和方法
公开(公告)号：EP1732129A2
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：EP06011125.9
申请日：2006-05-30
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
发明人： Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
IPC分类号： H01L23/34 , C23C14/24 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/30 , C30B23/066 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Eine Verdampferzelle (100), insbesondere zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts, umfasst einen Tiegel (10) zur Aufnahme des Verdampfungsguts, und eine Heizeinrichtung (20) mit einem Heizwiderstand (21) zur Widerstandsheizung des Tiegels (10), wobei der Heizwiderstand (21) als ein Elektronenemitter zur Elektronenstrahlheizung des Tiegels (10) vorgesehen ist. Es wird auch ein Verfahren zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts beschrieben.
摘要翻译：的汽化单元（100），包括用于与一个加热电阻（21），用于将坩埚的电阻加热接收所述汽化原材料和加热装置（10）的坩埚（10）。加热电阻（21）被设置为用于在坩埚（10）的电子束加热电子发射器。独立权利要求中包括了以下的（a）的涂布装置; 及（b）为高熔点气化原料的气化的方法。

10. 发明公开

EP2733234A2 Verdampferzelle, Beschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterials 审中-公开
标题翻译： Verdampferzelle，Beschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterials
公开(公告)号：EP2733234A2
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：EP13005168.3
申请日：2013-10-31
申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH
发明人： Braun, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243
摘要： Eine Verdampferzelle (100) umfasst einen ersten Tiegel (10) mit einer Tiegelwand (11), wobei der erste Tiegel (10) zur Aufnahme von Verdampfungsmaterial und zur Verdampfung des Verdampfungsmaterials eingerichtet ist und die Tiegelwand (12) durchgehende Hohlräume (14) aufweist. Es werden auch eine Beschichtungsvorrichtung (200), die mit mindestens einer derartigen Verdampferzelle (100) ausgestattet ist, und ein Verfahren zur Verdampfung eines Verdampfungsmaterial beschrieben.
摘要翻译：蒸发器单元包括具有坩埚壁的第一坩埚（10）。第一坩埚适于接收蒸发材料和蒸发材料的蒸发。坩埚壁具有通孔。蒸发器单元还包括规则或不规则分布的空腔，包括形式，孔，裂缝，通道和槽，以及布置在第一坩埚中的第二坩埚（20）。坩埚壁是由多层形成的单层。蒸发器单元包括具有坩埚壁的第一坩埚（10）。第一坩埚适于接收蒸发材料和蒸发材料的蒸发。坩埚壁具有通孔（12）。蒸发器单元还包括规则或不规则分布的空腔，包括形式，孔，裂缝，通道和槽，以及布置在第一坩埚中的第二坩埚（20）。坩埚壁是由多层形成的单层。空腔具有使熔融蒸发材料保持在空腔中的表面张力作用下的特征尺寸。槽在坩埚壁的轴向和/或径向相对于彼此偏移地布置。坩埚的壁包括包括线材，开槽片材，烧结材料和泡沫的壁材料。在第一坩埚和第二坩埚之间形成间隙，用于蒸发材料从第一坩埚中蒸出一段时间。第一和第二坩埚彼此可拆卸地间隔开，并且具有圆柱形和/或圆锥形形状。包括用于蒸发材料蒸发的方法的独立权利要求。

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