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1. 发明申请

WO2016181090A1 PROCEDE DE COLLAGE D'UNE PREMIERE STRUCTURE ET D'UNE SECONDE STRUCTURE 审中-公开
标题翻译：第一结构和第二结构的方法
公开(公告)号：WO2016181090A1
公开(公告)日：2016-11-17
申请号：PCT/FR2016/051148
申请日：2016-05-13
申请人： COMMISSARIAT À L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： IMBERT, Bruno , BENAISSA, Lamine , GONDCHARTON, Paul
IPC分类号： H01L21/18 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/187
摘要： Ce procédé comporte les étapes a) prévoir la première structure (1) comportant successivement un premier substrat (10), une première couche (11) réalisée à base d'un métal, et un premier oxyde métallique (12) à base du métal, b) prévoir la seconde structure (2) comportant successivement un second substrat (20), une seconde couche (21) réalisée dans un second matériau, et un second oxyde métallique (22) à base du métal, les premier et second oxydes métalliques (12, 22) présentant une enthalpie libre standard de formation ∆G°, le second matériau étant choisi de sorte qu'il possède un oxyde (3) présentant une enthalpie libre standard de formation strictement inférieure à ∆G°, c) coller la première structure (1) et la seconde structure (2) par adhésion directe, d) activer la diffusion des atomes d'oxygène des premier et second oxydes métalliques (12, 22) vers la seconde couche (21) de manière à former l'oxyde (3) du second matériau.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，包括以下步骤：a）提供第一结构（1），其依次包括第一衬底（10），由金属制成的第一层（11）和第一金属氧化物（12），b ）提供第二结构（2），其依次包括第二衬底（20），由第二材料制成的第二层（21）和第二金属氧化物（22），所述第一和第二金属氧化物（12,22）具有标准的形成自由焓ΔG°，所述第二材料选择为具有严格小于ΔG°的标准自由焓的氧化物（3），c）将所述第一结构（1）和所述第二结构（2），以及d）激活第一和第二金属氧化物（12,22）的氧原子到第二层（21）的扩散，以形成第二材料的氧化物（3）。

2. 发明授权

EP3273465B1 PROCÉDÉ DE COLLAGE DIRECT MÉTAL-MÉTAL 有权
公开(公告)号：EP3273465B1
公开(公告)日：2019-06-12
申请号：EP17180671.4
申请日：2017-07-11
申请人： Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
发明人： GONDCHARTON, Paul , IMBERT, Bruno , MORICEAU, Hubert
IPC分类号： H01L21/18

3. 发明公开

EP3273465A1 PROCÉDÉ DE COLLAGE DIRECT MÉTAL-MÉTAL 审中-公开
标题翻译：直接金属 - 金属收集的方法
公开(公告)号：EP3273465A1
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：EP17180671.4
申请日：2017-07-11
申请人： Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
发明人： GONDCHARTON, Paul , IMBERT, Bruno , MORICEAU, Hubert
IPC分类号： H01L21/18
CPC分类号： H01L21/187 , B23K20/002 , B23K20/24 , B23K31/02 , H01L21/185 , H01L24/05 , H01L33/0079 , H01L2224/056 , H01L2224/05647 , H01L2224/065 , H01L2224/80097 , H01L2224/80895
摘要： L'invention concerne un procédé d'assemblage d'un premier substrat et d'un deuxième substrat par collage direct métal-métal, comprenant les étapes suivantes :
- fournir une première couche d'un métal en surface du premier substrat et une deuxième couche dudit métal en surface du deuxième substrat, les première et deuxième couches de métal présentant une contrainte en tension (σ i ) comprise entre 30 % et 100 % de la limite d'élasticité en tension (σ e ) dudit métal ;
- assembler les premier et deuxième substrats au niveau d'une interface de collage par la mise en contact direct des première et deuxième couches de métal contraintes en tension ; et
- soumettre (S5) l'assemblage des premier et deuxième substrats à un recuit de stabilisation à une température (T r ) inférieure ou égale à un seuil de température au-delà duquel les première et deuxième couches de métal contraintes en tension se déforment plastiquement en compression.
摘要翻译：本发明涉及一种用于通过直接金属 - 金属结合来组装第一基板和第二基板的方法，包括以下步骤：在第一基板的表面上提供第一金属层和第二层所述金属在所述第二衬底的表面处，所述第一和第二金属层具有在所述金属的所述拉伸应力极限（σe）的30％和100％之间的电压应力（σi）通过直接接触第一和第二拉伸应力金属层在接合界面处组装第一和第二基板; 以及（S5）使第一和第二衬底的组件在小于或等于第一和第二拉伸应力金属层塑性变形的温度阈值的温度（Tr）下进行稳定化退火。压缩。

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