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    • 5. 发明公开
    • DISPOSITIF POUR LE MAINTIEN DE PLAQUES COMPORTANT CHACUNE UN MATÉRIAU SEMI-CONDUCTEUR
    • 用于维护具有每个半导体材料的板的装置
    • EP3319117A1
    • 2018-05-09
    • EP17199696.0
    • 2017-11-02
    • COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
    • PICARD, ErwannLIGNIER, Hélène
    • H01L21/67H01L21/673
    • H01L21/67126H01L21/67326
    • L'invention est relative à un dispositif (1) pour le maintien de plaques comportant chacune un matériau semi-conducteur et présentant chacune des première et deuxième faces, ledit dispositif (1) comportant un premier organe (2) et un deuxième organe (3). Le dispositif (1) comporte, dans une configuration d'assemblage du dispositif :
      - le premier organe (2) assemblé au deuxième organe (3) de sorte à délimiter une pluralité de cadres de maintien (4) définissant chacun un emplacement (5) destiné à la réception d'un couple de plaques à maintenir, dont les premières faces sont orientées l'une vers l'autre, chaque cadre de maintien (4) étant adjacent à au moins un autre cadre de maintien (4),
      - pour chaque couple de cadres de maintien (4) adjacents, un passage (6) reliant, entre lesdits cadres de maintien (4) adjacents, l'extérieur du dispositif à un espace (7) séparant les emplacements définis par lesdits cadres de maintien (4) adjacents.
    • 本发明涉及一种用于保持各自包括半导体材料并且各自具有第一和第二面的板的装置(1),所述装置(1)包括第一构件(2)和第二构件(3)。 )。 在装置的组装构造中,装置(1)包括:装配到第二构件(3)以限定多个保持框架(4)的第一构件(2),每个保持框架限定位置(5) 用于接收待保持的一对板,所述一对板的第一面朝向彼此定向,每个保持框架(4)与至少一个其他保持框架(4)相邻, - 用于 每一对相邻的保持框架(4),在所述相邻的保持框架(4)之间连接所述装置的外部的通道(6)到分隔由所述保持框架(4)限定的位置的空间(7)。 )相邻。