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    • 9. 发明授权
    • Ultra fine fiber polishing pad
    • 超细纤维抛光垫
    • US07762873B2
    • 2010-07-27
    • US12119580
    • 2008-05-13
    • Chung-Chih FengChen-Hsiang ChaoI-Peng Yao
    • Chung-Chih FengChen-Hsiang ChaoI-Peng Yao
    • B24D11/00
    • B24D11/003B24B37/24Y10T428/24612
    • A polishing pad includes a body having a polymer layer and a polishing layer. The polymer layer has opposite first and second faces. The polymer layer includes a plurality of first ultrafine fibers and a polymer bonding the first ultrafine fibers together. The polishing layer is formed on the first face of the polymer layer. The polishing layer includes a plurality of second ultrafine fibers and is free of the polymer. The first and second ultrafine fibers are identical to each other. The second ultrafine fibers have a first concentration of ultrafine fibers by volume higher than 80% a total volume of the polishing layer. The first ultrafine fibers of the polymer layer have a second concentration of ultrafine fibers by volume to a total volume of the polymer layer. The first concentration is higher than the second concentration.
    • 抛光垫包括具有聚合物层和抛光层的主体。 聚合物层具有相对的第一和第二面。 聚合物层包括多个第一超细纤维和将第一超细纤维结合在一起的聚合物。 抛光层形成在聚合物层的第一面上。 抛光层包括多个第二超细纤维,并且不含聚合物。 第一和第二超细纤维彼此相同。 第二超细纤维的第一浓度的超细纤维的体积高于抛光层的总体积的80%。 聚合物层的第一超细纤维具有体积至聚合物层的总体积的超细纤维的第二浓度。 第一浓度高于第二浓度。