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1. 发明申请

WO2003000460A1 METHOD OF MAKING LIGHT TRANSMITTING OPTICAL FLUORIDE CRYSTALS 审中-公开
标题翻译：制造光发射光氟化物晶体的方法
公开(公告)号：WO2003000460A1
公开(公告)日：2003-01-03
申请号：PCT/US2002/017127
申请日：2002-05-31
申请人： CORNING INCORPORATED
发明人： RETHERFORD, Rebecca, S. , SABIA, Robert , SOKIRA, Vincent, P.
IPC分类号： B24B7/22
CPC分类号： B24B37/0056 , B24B13/00 , B24B37/044 , C09G1/02
摘要： The invention relates to optical fluoride crystals, and particularly to optical fluoride crystals (20) such as calcium fluoride, which have high transmission levels to below 200nm light, such as produced by excimer lasers. In particular the invention relates to making optical fluoride crystals with improved transmission surfaces (23). The invention relates to the elimination of mid-spatial frequency roughness 1-1000 um spatial wavelengths and high-spatial frequency
摘要翻译：本发明涉及光氟化物晶体，特别涉及氟化钙晶体（20）如氟化钙，其具有高于200nm光的高透射率，例如由准分子激光器产生的。特别地，本发明涉及制备具有改进的透射表面（23）的氟化物晶体。本发明涉及从光氟化物晶体表面消除中空间频率粗糙度1-1000μm的空间波长和高空间频率<1um的空间波长。从光氟化物晶体表面去除中空间频率1-1000μm的空间波长和高空间频率<1um的空间波长提供了在低于200nm的光刻波长例如193nm和157nm的改进的传输。本发明包括最终完成的氟化物晶体（20），其具有最终光洁度高的光学透射表面（22），其无空间频率粗糙度1-1000μm的空间波长和高空间频率粗糙度1-1000μm的空间波长和高空间频率粗糙度<1um，波长<200nm时具有高透射率的空间波长。

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