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1. 发明申请

WO2012172204A1 SYSTEME DE MESURE A RESONATEURS ELECTROMECANIQUES, PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL SYSTEME ET PROCEDE DE LECTURE D'AU MOINS DEUX RESONATEURS ELECTROMECANIQUES 审中-公开
标题翻译：具有机电谐振器的测量系统，用于制造这种系统的方法以及用于读取至少两个谐振器的方法
公开(公告)号：WO2012172204A1
公开(公告)日：2012-12-20
申请号：PCT/FR2012/050682
申请日：2012-03-29
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , COLINET, Eric , ANDREUCCI, Philippe , DURAFFOURG, Laurent , HENTZ, Sébastien
发明人： COLINET, Eric , ANDREUCCI, Philippe , DURAFFOURG, Laurent , HENTZ, Sébastien
IPC分类号： G01D5/02 , G01D5/14 , B81B7/00
CPC分类号： G01H13/00 , G01D5/02 , G01D5/14
摘要： Système de mesure à résonateurs électromécaniques, comportant au moins deux résonateurs électromécaniques (102 1 ...102 N ) présentant chacun une fréquence de résonance variant autour d'une fréquence de résonance à vide en fonction d'une grandeur physique à mesurer, et au moins un dispositif de lecture (110) connecté aux entrées des résonateurs et conçu pour fournir un signal d'excitation sur lesdites entrées. Le système comporte en outre une mémoire (120) dans laquelle est enregistrée, pour chaque résonateur, une information de résonance à vide relative à la fréquence de résonance à vide du résonateur, et chaque dispositif de lecture (110) est destiné à déterminer la fréquence de résonance d'un ou plusieurs résonateurs sélectionnés pour lecture en configurant au moins un élément du dispositif de lecture (110) à partir de l'information de résonance à vide mémorisée pour chaque résonateur sélectionné.
摘要翻译：本发明涉及一种具有机电谐振器的测量系统，包括至少两个机电谐振器（1021〜102N），每个机电谐振器具有取决于待测物理量的真空谐振频率而变化的谐振频率，以及至少一个读取装置（110）连接到谐振器的输入并被设计成向所述输入提供激励信号。该系统还包括存储器（120），其中针对每个谐振器记录与谐振器的真空共振频率有关的真空谐振数据，并且每个读取装置（110）用于确定所选择的一个或多个谐振器的谐振频率用于通过从为每个所选择的谐振器存储的真空谐振数据配置读取装置（110）的最后一个元件来进行读取。

2. 发明申请

WO2012034951A1 DISPOSITIF A POUTRE SUSPENDUE ET MOYENS DE DETECTION PIEZORESISTIVE DU DEPLACEMENT DE CELLE-CI, ET PROCEDE DE FABRICATION DU DISPOSITIF 审中-公开
标题翻译：悬挂梁设备和用于检测其位移的伪装置，以及用于制造设备的方法
公开(公告)号：WO2012034951A1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：PCT/EP2011/065687
申请日：2011-09-09
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , HENTZ, Sébastien , ANDREUCCI, Philippe , COLINET, Eric , DURAFFOURG, Laurent , LABARTHE, Sébastien
发明人： HENTZ, Sébastien , ANDREUCCI, Philippe , COLINET, Eric , DURAFFOURG, Laurent , LABARTHE, Sébastien
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/24
CPC分类号： H02N2/18 , B81B3/0086 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , H02N2/22 , H03H9/02259 , H03H9/2405 , H03H2009/0244 , H03H2009/02496 , Y10T29/42
摘要： Dispositif à poutre suspendue et moyens de détection piézorésistive du déplacement de celle-ci, et procédé de fabrication du dispositif. Le dispositif comprend: un support (14); une poutre suspendue (16), se déplaçant parallèlement au plan du support; et des moyens (18) de détection du déplacement, comprenant au moins deux jauges piézorésistives (20, 22) qui ne sont pas dans le prolongement l'une de l'autre. La poutre est suspendue par l'intermédiaire des moyens de détection. Selon l'invention, les deux jauges sont respectivement situées sur deux faces latérales opposées de la poutre.
摘要翻译：该装置包括：支撑构件（14）; 悬挂梁（16），其平行于所述支撑构件的平面移动; 以及用于检测位移的装置（18），包括不彼此对准的至少两个压阻计（20,22）。光束通过检测装置暂停。根据本发明，两个测量仪位于梁的相应的两个相对的侧面上。

3. 发明申请

WO2011006885A1 NEMS COMPRISING ALSI ALLOY BASED TRANSDUCTION MEANS 审中-公开
标题翻译：包括基于合金的传输手段的NEMS
公开(公告)号：WO2011006885A1
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：PCT/EP2010/060033
申请日：2010-07-13
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY , ANDREUCCI, Philippe , DURAFFOURG, Laurent , MARCOUX, Carine , BRIANCEAU, Pierre , HENTZ, Sébastien , MINORET, Stéphane , MYERS, Edward , ROUKES, Michael
发明人： ANDREUCCI, Philippe , DURAFFOURG, Laurent , MARCOUX, Carine , BRIANCEAU, Pierre , HENTZ, Sébastien , MINORET, Stéphane , MYERS, Edward , ROUKES, Michael
IPC分类号： G01L1/18 , B81B3/00
CPC分类号： G01P15/097 , B81B3/0021 , B81B2203/0118 , B81B2203/058 , G01N29/022 , G01N2291/014 , G01N2291/0427 , G01P15/123
摘要： The invention relates to a nano electro- mechanical system (NEMS) formed on a substrate (21) and comprising at least one fixed part associated with the substrate and at least one movable part (23) in relation to the substrate, said system comprising transduction means (24) capable of exciting the movable part to confer on it a movement and/or to detect a movement of the movable part, the transduction means comprising at least one electrically conductive material. The electrically conductive material is made of an AlSi alloy based deposition, said deposition being supported at least in part by the movable part of the system.
摘要翻译：本发明涉及一种形成在基片（21）上的纳米电子机械系统（NEMS），它包括至少一个与该基片有关的固定部分和至少一个相对于该基片的可移动部分（23），该系统包括转导能够激励可移动部分以赋予运动和/或检测可移动部分的运动的装置（24），所述转导装置包括至少一种导电材料。导电材料由基于AlSi合金的沉积制成，所述沉积至少部分地由系统的可移动部分支撑。

4. 发明申请

WO2011154363A2 ANALYSIS DEVICE INCLUDING A MEMS AND/OR NEMS NETWORK 审中-公开
标题翻译：包括MEMS和/或NEMS网络的分析设备
公开(公告)号：WO2011154363A2
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：PCT/EP2011/059305
申请日：2011-06-06
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY , ERNST, Thomas , ANDREUCCI, Philippe , COLINET, Eric , DURAFFOURG, Laurent , MYERS, Edward B. , ROUKES, Michael, L.
发明人： ERNST, Thomas , ANDREUCCI, Philippe , COLINET, Eric , DURAFFOURG, Laurent , MYERS, Edward B. , ROUKES, Michael, L.
CPC分类号： G06F17/00 , B81B2201/06 , B81C1/00238 , B81C2203/0771 , B81C2203/0792 , G01N30/6095 , G01N2291/0256 , Y10T29/49117
摘要： A device for analyzing a fluid, including a layer (II) provided with a plurality of sensors (2) of the MEMS and/or NEMS type, a layer (I) including means (4) for controlling the detectors and for processing information transmitted by the detectors (2), said control and processing means (4) being electrically connected to the detectors (2), and a layer (IV) positioned on the layer (II) provided with the sensors on the side of the face including the sensors (2) including means for spatially and temporally distributing said fluid on said sensors (2).
摘要翻译：一种用于分析流体的装置，包括设置有MEMS和/或NEMS类型的多个传感器（2）的层（II），包括用于控制检测器和用于处理发送的信息的装置（4）的层（I）通过所述检测器（2），所述控制和处理装置（4）电连接到所述检测器（2），以及位于所述层（II）上的层（IV），所述层（II）在所述面部侧设置有包括传感器（2）包括用于在所述传感器（2）上空间和时间地分布所述流体的装置。

5. 发明申请

WO2015082956A1 SYSTEM AND METHOD FOR ANALYZING A GAS 审中-公开
标题翻译：用于分析气体的系统和方法
公开(公告)号：WO2015082956A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/IB2013/003247
申请日：2013-12-02
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , APIX ANALYTICS , CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
发明人： ANDREUCCI, Philippe , COLINET, Eric , DURAFFOURG, Laurent , MYERS, Edward , PETITJEAN, Mélanie , ROUKES, Mickael Lee , WHITING, Joshua
IPC分类号： G01N9/00 , G01N30/60 , G01N11/00 , G01N30/78
CPC分类号： G01N30/64 , B82Y15/00 , G01N9/002 , G01N11/00 , G01N11/04 , G01N29/022 , G01N29/032 , G01N29/036 , G01N29/222 , G01N30/78 , G01N2009/006 , G01N2291/021 , G01N2291/02818 , G01N2291/106
摘要： The invention relates to a gas analysis system comprising: • - a fluidic channel intended for the flow of a gas to be analyzed, • - at least one detector laid out in said fluidic channel and adapted for measuring interactions of the gas with said detector, said detector comprising at least one resonator (100) of the electromechanical microsystem (MEMS) and/or electromechanical nanosystem (NEMS) type, • - an actuation device (101) for vibrationally actuating the resonator according to an excitation signal applied to an input of the detector, and • - a detection device (102) adapted for providing an output electric signal representative of the vibrations of said resonator, • - a read-out device connected to an input of the detector and configured for simultaneously measuring, from the output signal of said at least one detector, the change in resonance frequency and the change in amplitude of the vibrations at the resonance frequency of the resonator, and • - a processing device configured for determining from said changes at least one fluidic characteristic of said gas.
摘要翻译：本发明涉及一种气体分析系统，包括： - 用于待分析气体流动的流体通道; - 至少一个检测器，布置在所述流体通道中，适于测量气体与所述检测器的相互作用，所述检测器包括机电微系统（MEMS）和/或机电纳米系统（NEMS）类型的至少一个谐振器（100）， - 用于根据施加到输入的激励信号振动地致动谐振器的致动装置（101）所述检测器以及•适于提供表示所述谐振器的振动的输出电信号的检测装置（102）， - 读出装置，连接到所述检测器的输入并且被配置为同时从所述输出端所述至少一个检测器的信号，共振频率的变化和谐振器的谐振频率处的振动的振幅的变化，以及·处理开关冰构造用于根据所述变化确定所述气体的至少一种流体特性。

6. 发明申请

WO2014053575A1 SYSTEME DE MESURE COMPRENANT UN RESEAU DE RESONATEURS DE TYPE NANO-SYSTEME ELECTROMECANIQUE 审中-公开
标题翻译：包括纳米电子系统谐振器网络的测量系统
公开(公告)号：WO2014053575A1
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：PCT/EP2013/070594
申请日：2013-10-02
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , ANALYTICAL PIXELS TECHNOLOGY - APIX TECHNOLOGY
发明人： ANDREUCCI, Philippe , BARATTIN, Régis , COLINET, Eric , DURAFFOURG, Laurent , PUGET, Pierre
IPC分类号： G01N30/64 , B81B7/04 , G01L1/18 , H03H3/007 , H03H9/02
CPC分类号： G01N30/64 , G01N30/6095 , H03H9/02259 , H03H9/2457 , H03H2009/02496
摘要： L'invention concerne un système de mesure comprenant un réseau de résonateurs de type nano-système électromécanique (NEMS), caractérisé en ce que : • chacun desdits résonateurs comprend : - un dispositif d'actionnement électrostatique apte à générer une vibration d'une poutre sous l'effet dudit signal d'excitation, - au moins une jauge de contrainte piézorésistive en matériau semi-conducteur dopé, s'étendant à partir de la poutre de sorte à détecter un déplacement de ladite poutre, la variation de résistance électrique de ladite au moins une jauge fournissant un signal de sortie, • ledit réseau comprend au moins deux groupes de résonateurs, chaque groupe comprenant au moins deux résonateurs présentant une fréquence de résonance à vide identique, chaque groupe de résonateurs présentant une fréquence de résonance à vide différente de celle de chaque autre groupe, • les résonateurs formant chaque groupe sont connectés en parallèle, • les groupes de résonateurs formant ledit réseau sont connectés en parallèle, • ledit système comprend un dispositif de lecture conçu pour fournir un signal d'excitation à l'entrée du réseau et pour déterminer la fréquence de résonance d'un groupe de résonateurs sélectionné en injectant dans ledit signal d'excitation une composante fréquentielle correspondant à la fréquence de résonance à vide de chaque groupe de résonateurs sélectionné et en identifiant, dans le signal de sortie du réseau, une composante fréquentielle de résonance du groupe de résonateurs sélectionné.
摘要翻译：本发明涉及一种包括纳米机电系统（NEMS）谐振器网络的测量系统，其特征在于：每个所述谐振器包括：静电激活装置，其能够产生暴露于所述激励信号的光束的振动，至少一个由掺杂半导体材料制成的压阻应力计，从光束延伸，以便检测所述光束的运动，所述至少一个计量器的电阻的变化提供输出信号; 所述网络包括至少两组谐振器，每组包括具有相同空谐振频率的至少两个谐振器，每组谐振器具有不同于彼此组的空谐振频率; 形成各组的谐振器并联连接; 形成所述网络的谐振器组并联连接; 所述系统包括设计成在网络输入处提供激励信号的读取装置，并且通过将所选择的谐振器的谐振频率与每个所选择的空谐振频率相对应的频率分量注入到所述激励信号中来确定一组谐振器的谐振频率并且通过在所述网络的输出信号中识别所选择的谐振器组的谐振频率分量。

7. 发明申请

WO2014020177A1 SYSTEME D'ANALYSE DE GAZ COMPRENANT UN SPECTROMÈTRE DE GAZ MUNI D'UN|MICRO-REFLECTRON 审中-公开
标题翻译：气体分析系统，包含配有微电子的气体光谱仪
公开(公告)号：WO2014020177A1
公开(公告)日：2014-02-06
申请号：PCT/EP2013/066345
申请日：2013-08-05
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , ANALYTICAL PIXELS TECHNOLOGY - APIX TECHNOLOGY
发明人： DURAFFOURG, Laurent , ANDREUCCI, Philippe , TASSETTI, Charles-Marie , COLINET, Eric , PUGET, Pierre , WHITING, Joshua , STEVENS, Peter Thomas , PETITJEAN, Mélanie
IPC分类号： G01N30/72 , H01J49/00 , H01J49/40
CPC分类号： G01N30/7206 , G01N2030/025 , H01J49/0018 , H01J49/405
摘要： L'invention concerne un système d'analyse de gaz comprenant, de l'amont vers l'aval : - un module (SEP) de séparation d'au moins une partie des espèces contenues dans le gaz à analyser, comprenant au moins une colonne micro-capillaire (GC) de chromatographie en phase gazeuse, et - un spectromètre de masse à temps de vol (TOFMS) couplé audit module de séparation, ledit spectromètre comprenant une source d'ions (MS1, MS2) adaptée pour ioniser au moins une partie desdites espèces et émettre un faisceau d'ions, et une zone (MS4) de vol libre desdits ions, ledit spectromètre de masse (TOFMS) étant agencé dans le volume d'au moins un substrat et comprenant un micro-réflectron (R) agencé entre la source (MS1, MS2) et la zone de vol libre (MS4), une paroi (R1) dudit micro-réflectron comprenant une couche en un matériau résistif adaptée pour être polarisée entre au moins deux régions de sorte à créer un gradient continu de champ électrostatique dans ledit réflectron.
摘要翻译：本发明涉及一种气体分析系统，包括从上游到下游： - 用于分离包含在待分析气体中的物质的至少一部分的模块（SEP），包括用于气相色谱的至少一个微毛细管柱（GC）和 - 耦合到所述分离模块的飞行时间质谱仪（TOFMS），所述光谱仪包括适于离子化所述物质的至少一部分并发射离子束的离子源（MS1，MS2），以及用于所述离子的自由飞行区（MS4），所述质谱仪（TOFMS）被布置在至少一个基底的体积中，并且包括布置在源（MS1，MS2）和自由飞行区域（MS4），所述微反射器的壁（R1）包括由电阻材料制成的层，其被设计为在至少两个区域之间极化，以便在所述反射器中产生连续的静电场梯度。

8. 发明申请

WO2012038524A1 BOLOMETRE A DETECTION FREQUENTIELLE 审中-公开
标题翻译：具有频率检测功能的BOLOMETER
公开(公告)号：WO2012038524A1
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：PCT/EP2011/066564
申请日：2011-09-23
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , DURAFFOURG, Laurent , ANDREUCCI, Philippe
发明人： DURAFFOURG, Laurent , ANDREUCCI, Philippe
IPC分类号： G01J5/40 , G01J5/44 , G01J5/02
CPC分类号： G01J5/28 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/40 , G01J5/44 , H01L31/18
摘要： Bolomètre (2) comportant au moins un microsystème ou nanosystème électromécanique, ledit microsystème ou nanosystème comportant un support (8) et une masse mobile (4) suspendue par des poutres (6) au dessus du support (8), ladite masse mobile formant un absorbeur d'un flux optique (F), des électrodes d'actionnement (12) destinées à mettre en vibration la masse mobile (4) et disposées latéralement par rapport à la masse mobile et des électrodes de détection (14) de la variation de la fréquence de vibration de ladite masse mobile (4) disposées latéralement par rapport à la mase mobile (4).
摘要翻译：本发明涉及一种包括至少一个机电微系统或纳米系统的测辐射热计（2），所述微系统或纳米系统包括安装件（8）和悬挂在安装件（8）上方的梁（6）的可移动体（4），所述可移动主体形成光流（F）吸收体，用于使可移动体（4）振动的致动电极（12），相对于可移动体横向布置;以及电极（14），用于检测所述可移动体的振动频率变化主体（4），相对于可移动体（4）横向布置。

9. 发明申请

WO2007135064A1 DISPOSITIF SENSIBLE A UN MOUVEMENT COMPORTANT AU MOINS UN TRANSISTOR 审中-公开
标题翻译：至少包含一个晶体管的运动敏感器件
公开(公告)号：WO2007135064A1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：PCT/EP2007/054775
申请日：2007-05-16
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE , OLLIER, Eric , DURAFFOURG, Laurent , ANDREUCCI, Philippe
发明人： OLLIER, Eric , DURAFFOURG, Laurent , ANDREUCCI, Philippe
IPC分类号： G01P15/12
CPC分类号： G01P15/124 , G01P15/0802 , G01P15/097 , G01P15/131 , G01P15/18 , G01P2015/0814 , G01P2015/0817 , G01P2015/082
摘要： L'invention concerne un dispositif de détection par au moins un transistor (2) avec canal vertical, comportant une structure mécanique (14), mobile par rapport au transistor, dans un plan contenant le drain (10), la source (8) et le canal (12) du transistor.
摘要翻译：本发明涉及一种通过至少一个晶体管的检测装置（2），该晶体管具有垂直管道，该机械结构（14）在包含源极（8）和管道（8）的漏极（10）的平面中相对于晶体管移动的机械结构（14） 12）晶体管。

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