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1. 发明申请

WO2003085152A3 BESCHICHTETER KÖRPER UND EIN VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG EINES KÖRPERS 审中-公开
公开(公告)号：WO2003085152A3
公开(公告)日：2003-10-16
申请号：PCT/EP2003/003737
申请日：2003-04-10
申请人： CEMECON AG , CREMER, Rainer , ERKENS, Georg , LEYENDECKER, Antonius
发明人： CREMER, Rainer , ERKENS, Georg , LEYENDECKER, Antonius
IPC分类号： C23C14/06
摘要： Beschrieben werden ein beschichteter Körper und ein Verfahren zur Beschichtung eines Körpers. Zur Verbesserung der mechanischen Eigenschaften ist es bekannt, die Oberfläche von Körpern zu beschichten, insbesondere für Werkzeuge wie Bohrer, Fräser oder endeschneidplatten. Vorgeschlagen wird eine Schicht mit besonders vorteilhaften Eigenschaften. Die Schicht besteht aus einem Materialsystem mit den Elementen Al, N und einem weiteren Element, wobei das weitere Element die Eigenschaft hat, dass es kubische Nitride in NaCl-Struktur ausbildet. Die Schichten zeichnen sich dadurch aus, dass sie eine geringe elektrische Leitfähigkeit aufweisen. Diese wird beispielsweise für Ti-Al-N bei einem hohen Al-N Anteil von mehr als 65 Mol-% erreicht. Eine solche Schicht kann in einer PVD-Beschichtungsvorrichtung erzeugt werden, in der Elektroden mit Wechselspannung betrieben und zerstäubt werden und die Prozessparameter so eingestellt werden, dass die Schicht eine geringe elektrische Leitfähigkeit aufweist.

2. 发明申请

WO2009132822A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VORBEHANDELN UND BESCHICHTEN VON KÖRPERN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR预处理和包覆体
公开(公告)号：WO2009132822A2
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/EP2009/003082
申请日：2009-04-28
申请人： CEMECON AG , CREMER, Rainer , MAY, Walter
发明人： CREMER, Rainer , MAY, Walter
IPC分类号： H01J37/34 , C23C14/35 , C23C14/34
CPC分类号： H01J37/3408 , C23C14/14 , C23C14/352 , H01J37/3444 , H01J37/3467 , H01J37/3473
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Vorbehandeln und Beschichten von Körpern durch Magnetronzerstäuben. In einer Vakuumkammer mit metallischer Kammerwandung (26) sind Magnetrons mit Sputter-Targets angeordnet, von denen mindestens eines ein HPPMS-Magnetron ist, dem elektrische Pulse zugeführt werden, indem ein Kapazitätselement (6) durch ein Schaltelement (5) mit dem Sputter-Target des HPPMS-Magnetron verbunden wird. Um eine effektive Vorbehandlung und Beschichtung von Substraten zu ermöglichen, ist gemäß einem ersten Aspekt vorgesehen, dass das Schaltelement an der Kammerwandung angeordnet ist. Gemäß einem zweiten Aspekt ist ein Elektrodenpaar vorgesehen, von dem eine erste Elektrode ein HPPMS-Magnetron (1) ist und die erste und die zweite Elektrode so angeordnet sind, dass ein an einem Substrattisch (4) aufgenommener Körper (11) zwischen den aktiven Flächen des Elektrodenpaares angeordnet ist oder durch den Zwischenraum der aktiven Flächen des Elektrodenpaares bewegt wird. Als dritter Aspekt ist ein Verfahren vorgesehen, bei dem in einem Ätzschritt eine negative Bias-Spannung an dem Körper angelegt wird und der Körper durch Beschuss mit Metallionen geätzt wird und anschließend die Bias-Spannung kontinuierlich abgesenkt wird, so dass von den Sputter-Targets abgesputtertes Material zu einem Schichtaufbau auf dem Körper führt.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于处理前和涂层制品通过磁控溅射的方法。在真空室中与磁控管的金属室壁（26）被布置成与溅射靶，其中之一是至少一种HPPMS磁控管，通过电容元件（6）由开关元件（5）与所述溅射靶供给到电脉冲 HPPMS磁控管连接。为了允许有效的预处理和底物的涂层，在第一方面中提供，所述开关元件被布置在所述腔室壁上。根据第二个方面，提供一对电极，其中第一电极是HPPMS磁控管（1）和所述第一和第二电极被布置为使得所述有源区之间的一个衬底台（4）记录体（11）所述一对电极被布置或由电极对的有源表面之间的空间中移动。作为第三方面，其中提供了一种方法，在蚀刻步骤中，负的偏置电压施加到所述主体和所述主体由轰击用金属离子进行蚀刻，然后将偏置电压被连续地降低，使得从溅射靶溅射材料对身体导致形成分层结构。

3. 发明申请

WO2007121954A1 BESCHICHTETER KÖRPER 审中-公开
标题翻译：涂覆体，
公开(公告)号：WO2007121954A1
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：PCT/EP2007/003509
申请日：2007-04-20
申请人： CEMECON AG , CREMER, Rainer
发明人： CREMER, Rainer
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/35 , C23C28/02 , C23C30/00
CPC分类号： C23C14/08 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , C23C14/352 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/00 , C23C30/005 , H01J37/3467
摘要： Ein beschichteter Körper und ein Verfahren zur Herstellung einer Hartstoffschicht auf einem Substrat werden beschrieben. Der Körper umfaßt ein Substrat (30) und eine auf dem Substrat (30) aufgebracht Hartstoffschicht (36), die den Körper mindestens teilweise bedeckt. Die Hartstoffschicht enthält die metallischen Elemente Al, Cr und Si sowie nicht-metallische Elemente ausgewählt aus der Gruppe B, C, N, O. Der atomare Anteil von Sauerstoff an den nicht-metallischen Elemente ist größer als 30%. Die Hartstoffschicht wird mittels Magnetronzerstäuben auf dem Substrat abgeschieden.
摘要翻译：一种涂覆体和用于生产在基材上的硬质材料层的方法进行说明。所述主体包括一个基片（30）和所述涂覆的衬底（30）的硬质材料层（36），所述主体至少部分地覆盖。所述硬质材料层含有选自B，C，N，O中的非金属元素的氧的原子分数为大于30％中选择的金属元素的Al，Cr和Si作为以及非金属元素。所述硬质材料层沉积通过磁控管溅射在衬底上。

4. 发明申请

WO2007140888A1 BESCHICHTETES WERKZEUG MIT GEOMETRISCH BESTIMMTER SCHNEIDE 审中-公开
标题翻译：具有几何某路堑涂层刀具
公开(公告)号：WO2007140888A1
公开(公告)日：2007-12-13
申请号：PCT/EP2007/004634
申请日：2007-05-24
申请人： FETTE GMBH , CEMECON AG , KÖLKER, Werner , GERENT, Oliver , SCHUNK, Uwe , CREMER, Rainer , BALZEREIT, Jürgen , LEMMER, Oliver
发明人： KÖLKER, Werner , GERENT, Oliver , SCHUNK, Uwe , CREMER, Rainer , BALZEREIT, Jürgen , LEMMER, Oliver
IPC分类号： C23C28/02
CPC分类号： C23C14/0641 , C23C28/044 , C23C30/005
摘要： Beschichtetes Werkzeug mit geometrisch bestimmter Schneide mit mindestens einer Schicht aus hochverschleißfestem Hartstoff, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Hartstoffschicht (Grundschicht (12)) mindestens eine Deckschicht (14) aus Hartstoff aufgebracht ist, die im Vergleich zur Grundschicht im Einsatz schneller einglättet.
摘要翻译：用高耐磨的硬质材料中的至少一个层中的几何定义的切削刃的涂覆的工具，其特征在于，所述硬质材料层（基极层（12））是被施加硬质材料中的至少一个覆盖层（14），相比于使用中的基本层中的einglättet更快。

5. 发明授权

EP2010691B1 BESCHICHTETER KÖRPER 有权
标题翻译：涂层的身体
公开(公告)号：EP2010691B1
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：EP07724445.7
申请日：2007-04-20
申请人： CemeCon AG
发明人： CREMER, Rainer
IPC分类号： C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/08 , C23C28/04 , C23C28/00 , C23C30/00 , H01J37/34
CPC分类号： C23C14/08 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , C23C14/352 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/00 , C23C30/005 , H01J37/3467

6. 发明公开

EP2272080A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VORBEHANDELN UND BESCHICHTEN VON KÖRPERN 有权
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR预处理和包覆体
公开(公告)号：EP2272080A2
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：EP09737866.5
申请日：2009-04-28
申请人： CemeCon AG
发明人： CREMER, Rainer , MAY, Walter
IPC分类号： H01J37/34 , C23C14/35 , C23C14/34 , C23C14/02
CPC分类号： H01J37/3408 , C23C14/14 , C23C14/352 , H01J37/3444 , H01J37/3467 , H01J37/3473
摘要： The invention relates to a device and to a method for pretreating and coating bodies by magnetron atomization. Said device comprises a vacuum chamber with metal chamber walls (26) and magnetrons with sputter-targets are arranged in said vacuum chamber, at least one magnetron being an HPPMS magnetron to which electric impulses are fed such that a capacitive element (6) is connected by a switch element (5) to the sputter-target of the HPPMS-magnetron. According to a first aspect of the invention, in order to effectively pretreat and coat substrates, the switch element is arranged on the chamber wall.

7. 发明公开

EP2010691A1 BESCHICHTETER KÖRPER 有权
标题翻译： BESCHICHTERTERKÖRPER
公开(公告)号：EP2010691A1
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：EP07724445.7
申请日：2007-04-20
申请人： CemeCon AG
发明人： CREMER, Rainer
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/35 , C23C28/02 , C23C30/00
CPC分类号： C23C14/08 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , C23C14/352 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/00 , C23C30/005 , H01J37/3467
摘要： A coated body and a process for producing a layer of hard material on a substrate are described. The body comprises a substrate (30) and a layer of hard material (36) which has been applied to the substrate (30) and at least partly covers the body. The layer of hard material comprises the metallic elements Al, Cr and Si and also nonmetallic elements selected from the group consisting of B, C, N, O. The atomic proportion of oxygen among the nonmetallic elements is greater than 30%. The layer of hard material is deposited on the substrate by means of magnetron atomization.
摘要翻译：描述了涂覆体和在基底上生产硬质材料层的方法。主体包括已经施加到基板（30）并且至少部分地覆盖主体的基板（30）和硬质材料层（36）。硬质材料层包括金属元素Al，Cr和Si，以及选自B，C，N，O中的非金属元素。非金属元素中氧的原子比例大于30％。硬质材料层通过磁控管雾化沉积在衬底上。

8. 发明授权

EP2272080B1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VORBEHANDELN UND BESCHICHTEN VON KÖRPERN 有权
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR预处理和包覆体
公开(公告)号：EP2272080B1
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：EP09737866.5
申请日：2009-04-28
申请人： CemeCon AG
发明人： CREMER, Rainer , MAY, Walter
IPC分类号： H01J37/34 , C23C14/14 , C23C14/35 , C23C14/34 , C23C14/02
CPC分类号： H01J37/3408 , C23C14/14 , C23C14/352 , H01J37/3444 , H01J37/3467 , H01J37/3473
摘要： The invention relates to a device and to a method for pretreating and coating bodies by magnetron atomization. Said device comprises a vacuum chamber with metal chamber walls (26) and magnetrons with sputter-targets are arranged in said vacuum chamber, at least one magnetron being an HPPMS magnetron to which electric impulses are fed such that a capacitive element (6) is connected by a switch element (5) to the sputter-target of the HPPMS-magnetron. According to a first aspect of the invention, in order to effectively pretreat and coat substrates, the switch element is arranged on the chamber wall.

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