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1. 发明申请

WO2010049116A1 SPEKTROMETRISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINES TEMPERATURWERTS FÜR EINEN DETEKTOR EINES SPEKTROMETERS 审中-公开
标题翻译：光谱布置和一种用于确定温度值FOR的光谱仪的检测器
公开(公告)号：WO2010049116A1
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：PCT/EP2009/007664
申请日：2009-10-27
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , CORRENS, Nico , KERSTAN, Felix
发明人： CORRENS, Nico , KERSTAN, Felix
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/28
CPC分类号： G01J3/28 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/0286
摘要： Spektrometrische Anordnung und Verfahren zum Ermitteln eines Temperaturwerts für einen Detektor eines Spektrometers. Zur Kompensation von Temperaturschwankungen in einem optoelektronischen Detektor ist es bekannt, mittels eines thermischen Temperaturfühlers die Detektortemperatur zu erfassen. Aufgrund der endlichen Entfernung zwischen Detektor und Temperaturfühler ist die Genauigkeit der Temperaturerfassung begrenzt. Durch die Erfindung soll die Detektortemperatur mit hoher Genauigkeit unter geringem Aufwand ermittelbar sein. Neben Mitteln zur spektralen Aufspaltung einfallenden Lichts und einem optischen Detektor zur spektral aufgelösten Detektion eines Spektralbereichs des aufgespalteten Lichts ist ein zweiter optischer Detektor zur Detektion eines Teilbereichs dieses Spektralbereichs als Referenzdetektor vorgesehen, wobei eine Empfindlichkeit des Referenzdetektors im wesentlichen temperaturunabhängig ist. Das Verhältnis der Signale beider Detektoren ist aufgrund der Temperaturunabhängigkeit der Empfindlichkeit des Referenzdetektors ein hochgenaues Maß für die relative Temperatur des ersten Detektors und kann mit geringem Aufwand ermittelt werden.
摘要翻译：光谱测定装置和用于确定用于光谱仪的检测器的温度值的方法。在一个光电检测器补偿温度变化，已知通过热温度传感器来检测温度检测器。由于检测器和温度传感器之间的有限距离，温度测量的精确度是有限的。通过本发明，检测器温度以高精度且低成本来确定。除了用于将入射光的光谱分裂和分裂的光的光谱区的光谱分辨的检测的光学检测器，用于检测该光谱范围的一部分的第二光学检测器被设置为参考检测器，参考检测器的灵敏度是基本上与温度无关。两个检测器的信号的比率是由于参考检测器，第一检测器的相对温度的高度准确的测量的灵敏度的温度独立性并且可以用很少的努力来确定。

2. 发明申请

WO2007115628A1 SPEKTROMETRISCHES MESSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR KOMPENSATION VON FALSCHLICHT 审中-公开
标题翻译：光谱测量系统和方法补偿错误光
公开(公告)号：WO2007115628A1
公开(公告)日：2007-10-18
申请号：PCT/EP2007/002128
申请日：2007-03-12
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , KERSTAN, Felix , CORRENS, Nico , MARGRAF, Jörg
发明人： KERSTAN, Felix , CORRENS, Nico , MARGRAF, Jörg
IPC分类号： G01J3/28 , G01J3/36 , G01J3/51
CPC分类号： G01J3/2803 , G01J3/0262 , G01J3/36 , G01J3/51
摘要： Die vorliegende Lösung betrifft ein Messsystem und ein Verfahren zur Bestimmung spektrometrischer Messergebnisse mit hoher Genauigkeit. Das erfindungsgemäße spektrometrische Messsystem mit Kompensation von Falschlicht besteht aus mindestens einer Strahlungsquelle, mindestens einem Eintrittsspalt, einem Dispersionselement und einem Detektor, mit linear oder matrixförmig, in einer oder mehreren Ebenen angeordneten Detektorelementen. Der Detektor weist dabei auf seinen Detektorelementen eine regelmäßige Verteilung, mindestens zweier unterschiedlicher, wellenlängenselektiver Filter auf. Obwohl hierbei Detektoren aus Foto- und Videoanwendungen Verwendung finden, ist die Anwendung der Erfindung nicht auf den sichtbaren Spektralbereich begrenzt. Falls erforderlich können im letzten Schritt der Fertigung der Farbkamera die Farbfilter auf den Pixeln zum Teil weggelassen oder modifiziert werden. Es ist aber auch möglich andere Typen von Detektoren zu verwenden, bei denen die wellenlängenselektiven Filter und die zugeordneten Detektoren in mehreren Ebenen hintereinander angeordnet sind, bei denen jedem einzelnen Bildpunkt die vollen Farbinformationen zur Verfügung stehen.
摘要翻译：本解决方案涉及一种测量系统和用于确定以高精确度光谱测定结果的方法。根据本发明的具有杂散光补偿的光谱测量系统包括至少一个辐射源，所述至少一个入口槽，色散元件以及与直链或矩阵形式的检测器，设置在检测器元件的一个或多个平面。在这种情况下，检测器在其检测器元件具有规则的分布，在至少两个不同的波长选择滤波器。尽管在此情况下，使用的静态和视频应用的检测器，本发明的应用并不限于可见光谱范围内。如果必要的话，在制造彩色摄像机的，滤色器可以形成在像素部分省略或在最后步骤中进行修改。但也可以使用其它类型的，其中所述波长选择性滤波器和相关联的检测器被布置检测器在几个层次上一前一后，其中，每个像素是全彩色信息。

3. 发明申请

WO2009077110A1 ANORDNUNG ZUM BESTIMMEN DES REFLEXIONSGRADES EINER PROBE 审中-公开
标题翻译：安排用于确定样品的程度的反射
公开(公告)号：WO2009077110A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/EP2008/010454
申请日：2008-12-10
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , CORRENS, Nico , HOYME, Werner , KERSTAN, Felix , KEUNE, Thomas , SCHEBESTA, Wilhelm
发明人： CORRENS, Nico , HOYME, Werner , KERSTAN, Felix , KEUNE, Thomas , SCHEBESTA, Wilhelm
IPC分类号： G01N21/47
CPC分类号： G01N21/276 , G01N21/4738 , G01N2021/4742
摘要： Die Anmeldung bezieht sich auf eine Anordnung zum Messen des Reflexionsgrades der direkten oder gestreuten Reflexion an einer Probe (8), mit einer Lichtquelle zur gesonderten Beleuchtung der Probe (8) einerseits und von Vergleichsflächen andererseits. Die Anordnung umfaßt neben der Lichtquelle, bevorzugt einer Reflektorlampe (2), - einen Weißstandard (6), einen Schwarzstandard (7) und die Oberfläche der Probe (8) zur Verkörperung einer Messfläche, wobei der Austausch des Weißstandards (6), des Schwarzstandards (7) und der Probe (8) in einer vorgegebenen Folge gegeneinander vorgesehen ist, - Mittel zur Messung der Intensität des von einer internen Weißfläche (10) reflektierten Lichts und zur Messung der Intensität des jeweils von der Messfläche reflektierten Lichts, sowie - eine Auswerteschaltung, die zum Registrieren der gemessenen Intensitätswerte und zu deren rechnerischer Verknüpfung zu dem Reflexionsgrad ausgebildet ist.
摘要翻译：本申请涉及一种配置用于测量直接或漫反射的反射率上的样品（8）中，用一个单独的光源，用于（8）上，一方面，在另一比较表面的照亮样品。该组件包括邻近所述光源，优选的反射器灯（2）， - 为白色标准（6），一个黑色的标准（7）和所述样品的表面（8），以体现测量表面，将白色标准的方法，其中所述交换（6）的，黑色标准（7）和（8）被设置在预定的序列对于彼此，样品 - 用于测量的内部白色表面（10）的反射光的强度和测量每个的强度反射的来自测量表面的光，以及 - 评估电路其被设计为注册所测量的强度值，并且其概念上的链接的反射率。

4. 发明申请

WO2009109307A1 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR ZEITAUFGELÖSTEN SPEKTROSKOPIE MIT EINEM PHOTONENMISCHDETEKTOR 审中-公开
标题翻译：方法和系统对于一个光子混合探测器时间分辨光谱
公开(公告)号：WO2009109307A1
公开(公告)日：2009-09-11
申请号：PCT/EP2009/001263
申请日：2009-02-21
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , CORRENS, Nico
发明人： CORRENS, Nico
IPC分类号： G01J3/28 , G01N21/64
CPC分类号： G01J3/2889 , G01J9/00 , G01J2003/282
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Lösung zur zeitaufgelösten Spektroskopie, wobei die zu untersuchende Probe von einer modulierten Lichtquelle beleuchtet und das von dieser reflektierte Spektrum zeitaufgelöst aufgenommen und ausgewertet wird. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur zeitaufgelösten Spektroskopie wird eine zu untersuchende Probe von einer modulierbaren Lichtquelle mit kurzen Lichtimpulsen bestrahlt und die von der Probe abgegebene Strahlung über abbildende optische Elemente und ein spektralselektives Element auf einen in der Bildebene angeordneten Sensor abgebildet und dessen Signale von einer Steuer- und Regeleinheit ausgewertet und/oder gespeichert. Der in der Bildebene angeordnete Sensor ist dabei ein PMD-Sensor, der neben den Intensitätswerten zusätzlich die Laufzeiten der von der Probe abgegebenen Strahlung ermittelt und an die Steuer- und Regeleinheit zur Auswertung weiter leitet. Obwohl PMD-Sensoren ursprünglich für die Objekterkennung, insbesondere im Straßenverkehr vorgesehen waren, ist deren Anwendung auf vielen anderen technischen Gebieten denkbar und zweckmäßig. Mit der hier vorgeschlagenen Lösung wird der Einsatz von PMD-Sensoren in der Spektroskopie, insbesondere zur zeitaufgelösten Untersuchung von Proben beschrieben. Der Einsatz von PMD-Sensoren ist allerdings auch in der Raman-Spektrometrie oder zur Lumineszenzmessung, beispielsweise zur Unterscheidung von Phosphoreszenz- und Fluoreszenzlicht möglich.
摘要翻译：本发明涉及一种解决方案，时间分辨光谱，从调制光源照射到被检查的样品，并且时间分辨率为接收和评估由它反射的光谱。在时间分辨光谱一个的本发明的方法要被检查从调制光源样品与短光脉冲发光显示由样品辐射发射的辐射用于从控制成像光学元件和一个光谱选择元件具有布置在传感器的像平面，其信号评估和控制单元和/或存储。在配置在图像平面传感器是PMD传感器，除了强度值附加地从样品和所述控制和调节单元转发用于评估确定所发射的辐射的渡越时间。虽然PMD传感器最初设计用于目标识别，特别是在交通，他们的许多其他技术领域的应用是可行的，恰当的。在这里提出了光谱使用PMD传感器，特别是解决了样品的时间分辨检查进行说明。使用PMD传感器的，然而，有可能在拉曼光谱测定或发光，例如，磷光和荧光的光之间进行区分。

5. 发明申请

WO2012041617A1 FLANSCH ZUM ABSCHLUSS EINES OPTISCHEN GERÄTS GEGENÜBER EINEM PROBENSTROM UND OPTISCHES GERÄT ZUR TEILWEISEN ANORDNUNG IN EINEM PROBENSTROM 审中-公开
标题翻译：法兰的光学设备来为局部构成任何样品功率和光装置以样本功率财务报表
公开(公告)号：WO2012041617A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：PCT/EP2011/064715
申请日：2011-08-26
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , CARL ZEISS JENA GMBH , CORRENS, Nico , SOBE, Marion
发明人： CORRENS, Nico , SOBE, Marion
IPC分类号： G01N21/85
CPC分类号： G01J3/28 , A01D41/1277 , G01N21/03 , G01N21/85 , Y10T137/8359
摘要： Beim optischen Bestrahlen und/oder Vermessen eines Probenstroms durch einen im Probenstrom angeordneten Flansch, der einen Hohlraum gegenüber dem Probenstrom abschließt, kommt es zu stetigem Materialverlust durch Abtrag von Wandungspartikeln, so dass der Flansch regelmäßig ausgetauscht werden muss. Die Erfindung soll einen geringeren Verschleiß ermöglichen. Zu diesem Zweck besteht die Wandung des Flansches (1) entlang einer um den Hohlraum (3) herum verlaufenden, geschlossenen Linie aus einem elastomeren Körper (2.3). Das ermöglicht bei punktueller Belastung elastische Ausweichbewegungen des Flansches oder zumindest eines Teils des Flansches. Auf diese Weise wird die Stärke des Abtrags von der Wandung durch den Probenstrom verringert, weil ein großer Teil der eingetragenen Energie im elastomeren Körper in Wärme umgewandelt wird.
摘要翻译：在该光学照射和/或测量通过设置在凸缘封闭的空腔相对于所述采样流中的采样流中的样本流，存在通过Wandungspartikeln的烧蚀材料的稳态损耗，使得凸缘必须被定期更换。本发明将允许更小的磨损。为了这个目的，所述凸缘（1）沿一至（3）周围延伸的腔的壁，封闭的弹性体（2.3）的线。这允许凸缘严格条件下凸缘的一部分的或至少弹性屈服运动。以这种方式，在去除壁的强度由样品流降低，因为在弹性体引入的能量的大部分被转化为热。

6. 发明申请

WO2012042015A1 MESSEINRICHTUNGEN UND VORRICHTUNGEN ZUR SPEKTROSKOPISCHEN UNTERSUCHUNG VON PROBEN 审中-公开
标题翻译：测量装置和设备光谱研究样本
公开(公告)号：WO2012042015A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：PCT/EP2011/067100
申请日：2011-09-30
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , MARGRAF, Jörg , CORRENS, Nico
发明人： MARGRAF, Jörg , CORRENS, Nico
IPC分类号： G01N21/47 , G01J1/04
CPC分类号： G01J3/28 , G01J3/0254 , G01N21/474
摘要： Es wird eine Messeinrichtung bereitgestellt, welche einem sich in einer Längsrichtung (36) erstreckenden Hohlraum (34), eine erste Öffnung (35), welche einer Probe zuzuwenden ist, eine Vielzahl von zweiten Öffnungen (31) zum Erfassen von von der Probe ausgehendem Licht und mindestens eine dritte Öffnung (33) zum Einkoppeln von Licht in den Hohlraum umfasst. Eine derartige Messeinrichtung eignet sich insbesondere zur spektroskopischen Untersuchung von flächigen Proben.
摘要翻译：中，提供了延伸的沿纵向方向（36）的阀腔（34），第一开口（35），它是转向的样品，多个第二开口（31），用于从样品中检测出射光的测量装置并包括至少将光耦合到所述腔中的第三开口（33）。这样的测量装置是特别适合于平面样品的分光调查。

7. 发明申请

WO2008064800A1 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR STEUERUNG EINES FAHRZEUGES 审中-公开
标题翻译：方法和系统用于控制车辆
公开(公告)号：WO2008064800A1
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：PCT/EP2007/010016
申请日：2007-11-20
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , CORRENS, Nico , GEISSLER, Enrico , RODE, Michael , NIETEN, Christoph , NEUMANN, Tobias , KUEHNLE, Ruediger
发明人： CORRENS, Nico , GEISSLER, Enrico , RODE, Michael , NIETEN, Christoph , NEUMANN, Tobias , KUEHNLE, Ruediger
IPC分类号： A01B69/00
CPC分类号： A01B69/001
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren, bei dem Bildinformationen aus dem in Fahrtrichtung vor einem Fahrzeug (1) liegenden Gelände erfaßt und daraus Steuerbefehle zur Beeinflussung der Fahrtrichtung und/oder der Fahrgeschwin digkeit generiert werden. Des weiteren bezieht sich die Erfindung auf eine Anordnung zur Steuerung eines landwirtschaftlichen Fahrzeuges (1) nach diesem Verfahren. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß anhand der Bildinformationen markante Objektstrukturen (3) ausgewählt werden, wiederholt der Abstand a zwischen dem Fahrzeug (1) und den markanten Objektstrukturen (1) ermittelt wird und die Steuerbefehle aus den Bildinformationen, die den Objektstrukturen entsprechen, und den Abstandsänderungen zwischen dem Fahrzeug (1) und den Objektstrukturen (3) generiert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，其中在位于地形和控制命令用于影响旅行和/或速度Fahrgeschwin的方向上的车辆（1）的前部从行进方向检测到的图像信息由其产生。此外，本发明涉及一种装置，用于通过该方法控制农用车辆（1）。根据本发明，该目的在实现了（3）的图像信息独特对象结构的基础上选择的重复，在车辆（1）和（1）被确定击打对象的结构和从所述图像信息对应于对象的结构的控制命令之间的距离，和在车辆（1）和所述对象结构（3）之间的距离的变化产生的。

8. 发明申请

WO2008101694A1 ANORDNUNG ZUM BEFÜLLEN EINES BEHÄLTERS MIT SCHÜTTGUT 审中-公开
标题翻译：安排填充容器BULK
公开(公告)号：WO2008101694A1
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：PCT/EP2008/001351
申请日：2008-02-21
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , CORRENS, Nico , NIETEN, Christoph , RODE, Michael
发明人： CORRENS, Nico , NIETEN, Christoph , RODE, Michael
IPC分类号： A01D43/073
CPC分类号： A01D43/087
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zum Befüllen eines Behalters (5) mit Schüttgut (3), umfassend eine Befülleinrichtung mit einer Ausflussöffnung (6) für das Schüttgut (3) und einen Behälter (5) mit einer Einfüllöffnung, durch die hindurch das Schüttgut (3) in den Behalter (5) gelangt. Erfindungsgemäß ist eine Anordnung der vorgenannten Art ausgestattet mit einer Messeinrichtung (13) zur wiederholten Erfassung von Bilddaten von der Oberfläche (7) des Schüttgutes (3) im Behälter (5) während der Befüllung und zur wiederholten Bestimmung von Füllstandswerten h, die ein Äquivalent der Höhe des eingefüllten Schüttgutes in vorgegebenen Bereichen der Schüttgutoberfläche sind, sowie mit einer Signalverarbeitungseinrichtung zum Generieren von Steuerbefehlen aus den Füllstandswerten h zur Positionierung von Ausflussöffnung (6) und Einfüllöffnung relativ zueinander und/oder zur Beeinflussung der Menge des je Zeiteinheit aus der Ausflussöffnung (6) ausfließenden Schüttgutes (3).
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于填充Behalters（5）块体材料（3），包括：填充装置与流出开口（6），用于散装材料（3）和容器（5）与填料的开口，通过该散装材料（3）通入所述容器（5）。根据本发明，上述类型的排列（7）的容器（5）块体材料（3）的过程中填充和水平值H.重复判定装备有测量装置（13），用于从所述表面图像数据的重复采集，即等效的于主体材料表面的预定区域被填充的散装材料的高度是，以及作为信号处理，用于从电平值H产生的流出开口（6）和相对填充口彼此的定位控制命令的装置和/或从所述倾倒嘴口影响的每单位时间的量（6）流出的散装材料（3）。

9. 发明申请

WO2002082153A1 ANORDNUNG ZUM DRUCKAUSGLEICH FÜR OPTISCHE GERÄTE 审中-公开
标题翻译：安排压力补偿光学机器
公开(公告)号：WO2002082153A1
公开(公告)日：2002-10-17
申请号：PCT/EP2002/002991
申请日：2002-03-19
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , CORRENS, Nico , KLARNER, Ullrich , HOYME, Werner , KERSTAN, Felix
发明人： CORRENS, Nico , KLARNER, Ullrich , HOYME, Werner , KERSTAN, Felix
IPC分类号： G02B7/02
CPC分类号： G02B27/0006 , G01J3/02 , G01J3/0286 , G01J5/02 , G01J5/0285 , G02B7/02
摘要： Um eine Anordnung zum Druckausgleich für optische Geräte, insbesondere Spektrometer oder dergleichen optischen Geräte, zum Ausgleich von durch Temperatur- und Luftdruckänderungen entstehenden Druckdifferenzen, die zwischen dem Innendruck und dem Umgebungsdruck an einem Gehäuse eines optische Einheiten umschließenden optischen Gerätes entstehen, zu schaffen, die mit geringem Fertigungsaufwand sowie kostengünstig eine Verschmutzung optischer Funktionsflächen der optischen Einheiten des optischen Gerätes verhindert und einen ständigen Druckausgleich zwischen dem Innenraum und der Äußeren Umgebung des Gehäuses eines optischen Gerätes mit seinen optischen Einheiten gewährleistet, wird vorgeschlagen, daß die Anordnung zum Druckausgleich aus mindestens einem beidseitig luftdurchlässig ausgebildeten Druckausgleichselement besteht, das in einer Gehäuseöffnung der die optischen Einheiten umschließenden Gehäusewandung des optischen Gerätes angeordnet ist.
摘要翻译：为了提供用于压力均衡用于光学设备的设备，尤其是光谱仪或类似光学设备，以补偿由内压和光学单元的壳体上的环境压力之间产生的温度和压力变化的压力差产生的围绕设置有该光学装置低制造成本，以及廉价的防止光学装置的光学单元的光学功能表面的污染，并且确保内部，并与它的光学单元的光学装置的壳体的外部之间的恒定压力补偿，提出在两侧上的是用于均衡至少一种的压力的布置透气形成压力补偿元件设置在所述外壳包围所述光学装置的光学单元的外壳开口。

10. 发明申请

WO2004106853A1 ANORDNUNG UND EIN VERFAHREN ZUR ERKENNUNG VON SCHICHTEN, DIE AUF OBERFLÄCHEN VON BAUTEILEN ANGEORDNET SIND, UND BESTIMMUNG DEREN EIGENSCHAFTEN 审中-公开
标题翻译：为了检测成分的涂层表面上的系统和方法排列，确定其性质
公开(公告)号：WO2004106853A1
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：PCT/EP2004/005446
申请日：2004-05-21
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , FRITSCH, Manfred , CORRENS, Nico , KERSTAN, Felix
发明人： FRITSCH, Manfred , CORRENS, Nico , KERSTAN, Felix
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/306 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/024 , G01J3/0262 , G01J3/04 , G01J3/2803
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Erkennung von Schichten (3; 14), die auf Oberflächen von Bauteilen bzw. Gegenständen (2) angeordnet sind, und Bestimmung der chemischen Eigenschaften und der Oberflächenbeschaffenheit dieser Schichten (3; 14). Sie umfasst eine Lichtquelle (4) zur Beleuchtung der zu untersuchenden Schicht (3; 14) auf der Bauteiloberfläche und Mittel zur Abbildung der Lichtquelle (4) über die zu untersuchende Oberfläche (3') der Schicht (3; 14) auf einen Eintrittsspalt (7). Der Eintrittsspalt (7) wird wellenlängenabhängig durch ein Gitter (10) auf eine zweidimensionale Detektoreinheit (8) abgebildet. Eine Auswerteeinheit (11), die mit der Detektoreinheit (8) elektrisch verbunden ist, dient zur Auswertung und Verarbeitung der von den belichteten Detektorelementen (9) der Detektoreinheit (8) gelieferten Signale.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测层的装置（3; 14），其被设置在表面或物体（2），和化学性能的测定和这些层（3; 14）的表面状态。它包括一个光源（4），用于照射被检查层（3; 14）在构件表面上，以及用于将所述层（3; 14）（4）在所述检查表面（3“）成像光源到一个入口狭缝（ 7）。入口狭缝（7）是成像的二维检测器单元（8）上依赖于波长的由网格（10）。评估单元（11），其被电连接到检测器单元（8），用于提供到检测器单元（8）的暴露的检测器元件（9）的评价和处理的信号。

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