会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 8. 发明授权
    • Method for improving dielectric polishing
    • 改善电介质抛光的方法
    • US06844237B1
    • 2005-01-18
    • US09774323
    • 2001-01-31
    • Bo JinAndrey ZagrebelnyMatthew Buchanan
    • Bo JinAndrey ZagrebelnyMatthew Buchanan
    • H01L21/302H01L21/308
    • H01L21/3083
    • According to one embodiment, a shallow trench isolation (STI) method (500) may include forming an etch mask layer over both a first and second substrate side (504). An etch mask layer over a first substrate side (506) may be patterned to form a STI etch mask, and trenches may be etched into a substrate (508). A trench dielectric layer can be formed over a first substrate side (510). An etch mask layer formed over a second substrate side can be etched (512), reducing and/or eliminating stress that may deform a substrate or otherwise adversely affect STI features. A trench dielectric may then be chemically-mechanically polished (step 514).
    • 根据一个实施例,浅沟槽隔离(STI)方法(500)可以包括在第一和第二衬底侧(504)上形成蚀刻掩模层。 第一衬底侧(506)上的蚀刻掩模层可以被图案化以形成STI蚀刻掩模,并且可以将沟槽蚀刻到衬底(508)中。 沟槽电介质层可以在第一衬底侧(510)上形成。 可以蚀刻形成在第二衬底侧上的蚀刻掩模层(512),减少和/或消除可能使衬底变形或以其它方式不利地影响STI特征的应力。 然后可以对沟槽电介质进行化学机械抛光(步骤514)。