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1. 发明申请

WO2004044059A1 DIFFRAKTIVE PIGMENTE 审中-公开
标题翻译：衍射颜料
公开(公告)号：WO2004044059A1
公开(公告)日：2004-05-27
申请号：PCT/CH2003/000624
申请日：2003-09-16
申请人： BÜHLER AG , PILOTEK, Steffen , ZIMMERMANN, René , MENNIG, Martin , SCHMIDT, Helmut , OLIVEIRA, Peter-William
发明人： PILOTEK, Steffen , ZIMMERMANN, René , MENNIG, Martin , SCHMIDT, Helmut , OLIVEIRA, Peter-William
IPC分类号： C09C1/00
CPC分类号： B44F1/08 , C09C1/0015 , C09C2200/308 , C09C2200/40 , C09C2210/10 , C09C2210/20 , C09C2210/30 , C09C2210/40 , C09C2220/20 , C09D5/36 , C09D11/50 , G03H2270/24 , Y10T428/2982
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Pigment, dessen kleinste Abmessung mindestens ein Vielfaches der grössten Wellenlänge von ultraviolettem Licht bzw. der kleinsten Wellenlänge von sichtbarem Licht ist. Das Pigment weist mindestens eine definierte diffraktive Struktur auf, deren räumliche Periodizität eine räumliche Periode hat, die mindestens ein Vielfaches der Wellenlänge von ultraviolettem Licht ist. Insbesondere hat das Pigment eine plättchenartige Form. Das Verfahren zur Herstellung solcher Pigmente weist die folgenden Schritte auf: a) Erzeugen einer definierten diffraktiven Struktur in und/oder auf einem folienartigen Träger; b) Beschichten der definierten diffraktiven Struktur auf dem Träger mit einem Versiegelungsmittel; c) Zerkleinern des in Schritt a) und b) bearbeiteten folienartigen Trägers zu Pigmentpartikeln.
摘要翻译：本发明涉及的颜料，其最小尺寸是至少紫外光的最大波长或可见光的最小波长的倍数。所述颜料具有至少一个限定的衍射结构，其空间周期具有空间周期，其至少紫外光的波长的倍数。特别地，该颜料具有薄片状的形状。为这样的颜料的制备方法具有以下步骤：a）在和/或膜状载体上生成定义衍射构造; b）中涂覆定义衍射构造到用密封剂的载体; c）中粉碎该编辑在步骤a）和b）的片状载体的颜料颗粒。

2. 发明申请

WO2005091021A1 KRATZFESTES OPTISCHES MEHRSCHICHTSYSTEM AUF EINEM KRISTALLINEN SUBSTRAT 审中-公开
标题翻译：防刮光学多层系统上的晶体衬底
公开(公告)号：WO2005091021A1
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：PCT/EP2005/002795
申请日：2005-03-16
申请人： LEIBNIZ-INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GMBH , JILAVI, Mohammad , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
发明人： JILAVI, Mohammad , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
IPC分类号： G02B1/10
CPC分类号： G02B1/02 , G02B1/115 , G04B39/006 , Y10T428/24628 , Y10T428/25 , Y10T428/256 , Y10T428/257 , Y10T428/31855
摘要： Beschrieben wird ein optisches Mehrschichtsystem auf einem kristallinen Substrat, das erhältlich ist durch ein Verfahren, bei dem eine Nanopartikel mit polymerisierbaren und/oder polykondensierbaren organischen Gruppen enthaltende Zusammensetzung auf ein kristallines Substrat aufgebracht wird; die Gruppen der Nanopartikel unter Bildung einer organisch vernetzten Schicht polymerisiert und/oder polykondensiert werden; eine oder mehrere weitere Schichten auf die gleiche Weise aufgebracht werden und der erhaltene Schichtverbund einstufig thermisch verdichtet und die enthaltenen organischen Bestandteile ausgebrannt werden, wobei für die letzte aufgebrachte Schicht gegebenenfalls die Polymerisation und/oder Polykondensation der Gruppen der Nanopartikel unter Bildung einer organisch vernetzten Schicht direkt in der abschließenden Stufe erfolgen kann oder die nanoskaligen anorganischen Feststoffteilchen keine polymerisierbaren und/oder polykondensierbaren organischen Gruppen aufweisen. Die hergestellten optischen Mehrschichtsysteme eignen sich als kratzfeste Interferenzschichtsysteme, wie Reflex- und Antireflexbeschichtungen auf einem kristallinen Substrat. Das System eignet sich z.B. für Saphirsubstrate wie Saphir-Uhrgläser.
摘要翻译：本发明提供一种晶体衬底，其是由一种方法，其中具有可聚合和/或可缩聚的有机基团，含有组合物的结晶基板上施加的纳米颗粒获得上的光学多层系统; 聚合时，所述纳米颗粒的基团以形成交联的有机层和/或缩聚反应; 以相同的方式在一个或多个另外的层可以被应用，并且在一个阶段热致密化和有机成分本得到的层复合材料被燃烧，其特征在于，最后应用层，任选地在聚合和/或纳米颗粒的基团的缩聚直接形成有机交联层可以发生在最后阶段或不具有聚合性和/或可缩聚的有机基团的纳米级无机颗粒固体。产生的光学多层系统可被用作耐划痕干扰涂料体系，如结晶基板上的反射或抗反射涂层。该系统位于例如为蓝宝石衬底，如蓝宝石钟表眼镜。

3. 发明申请

WO2004104082A3 ZUSAMMENSETZUNG MIT NICHTNEWTONSCHEM VERHALTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2004104082A3
公开(公告)日：2004-12-02
申请号：PCT/EP2004/005619
申请日：2004-05-25
申请人： INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GMBH , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
发明人： MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
IPC分类号： C08K9/00
摘要： Beschrieben werden eine Zusammensetzung mit nichtnewtonschem Verhalten umfassend einen Matrixbildner und nanoskalige Feststoffteilchen, bei der die Oberflächenladung der Teilchen durch Umsetzung mit einer Säure oder Base erhöht worden ist, und ein Verfahren zur Herstellung dieser Zusammensetzungen. Das Verfahren eignet sich zur Einstellung der Rheologie von Materialien.

4. 发明申请

WO2003106164A1 SUBSTRAT MIT STRUKTURIERTER OBERFLÄCHE AUS HYDROPHOBEN UND HYDROPHILEN BEREICHEN 审中-公开
标题翻译：具有疏水和亲水区域的结构化表面基
公开(公告)号：WO2003106164A1
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：PCT/EP2003/006350
申请日：2003-06-16
申请人： INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GMBH , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
发明人： MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
IPC分类号： B32B7/02
CPC分类号： B41C1/1033 , B41M5/24
摘要： Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines Substrats mit strukturierter Oberfläche aus hydrophoben und hydrophilen Bereichen, bei dem man die Oberfläche eines Substrats, das eine hydrophile Schicht und eine darüber liegende hydrophobe Schicht aufweist, bildmäßig belichtet, wobei die hydrophile Schicht in den belichteten Bereichen durch die bei der Belichtung erfolgende Zersetzung der darüber liegenden hydrophoben Schicht freigelegt wird. Besonders gute Ergebnisse werden erzielt, wenn die hydrophile Schicht photokatalytisch aktiv ist, so dass eine photokatalysierte Zersetzung der hydrophoben Schicht erfolgt. Die so erhaltenen Substrate eignen sich hervorragend zum Drucken von Mikrostrukturen auf ein Empfangsmedium.
摘要翻译：公开了一种用于制造具有疏水性和亲水性区域的结构化表面的基底的方法，其中，成像曝光具有亲水层和上覆的疏水层的衬底的表面，所述在曝光区域由亲水性层上覆疏水层的曝光分解过程中发生的被暴露。当该亲水层是光催化活性特别好的结果实现的，从而使所述疏水性层的光催化分解。由此获得的基板是理想的接收介质上打印的微结构。

5. 发明申请

WO2005120154A2 ABRIEB- UND KRATZFESTE BESCHICHTUNGEN MIT NIEDRIGER BRECHZAHL AUF EINEM SUBSTRAT 审中-公开
标题翻译：折射率低的在基底上的耐磨性和防刮涂料
公开(公告)号：WO2005120154A2
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：PCT/EP2005/006113
申请日：2005-06-07
申请人： LEIBNIZ-INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GMBH , ARNDT, Heike , JILAVI, Mohammad , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
发明人： ARNDT, Heike , JILAVI, Mohammad , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William , SCHMIDT, Helmut
IPC分类号： C03C17/22 , G02B1/10 , G02B1/11
CPC分类号： G02B1/14 , C03C17/22 , C03C2217/21 , C03C2217/285 , C03C2217/29 , C03C2218/113 , G02B1/10 , G02B1/105 , G02B1/113
摘要： Beschrieben wird ein Substrat mit einer abrieb- und kratzfesten Beschichtung mit niedriger Brechzahl, umfassend Magnesiumfluorid und mindestens ein Metall- oder Halbmetalloxid. Die Beschichtung kann durch Aufbringen einer Beschichtungszusammensetzung, umfassend Magnesiumfluorid oder eine Vorstufe davon und mindestens ein Metall- oder Halbmetalloxid oder eine Vorstufe davon, auf ein Substrat und anschließende Wärmebehandlung erhalten werden. Die Beschichtung eignet sich für optische Schichten insbesondere auf lichtdurchlässigen Substraten. Beispiele für geeignete Anwendungen sind Antireflexschichten und Interferenzschichtpakete.
摘要翻译：公开的是具有耐磨损和耐划痕涂层与低折射率，其包括氟化镁和至少一种金属或准金属氧化物的基板。该涂层可以通过将包含氟化镁，或它们的前体和至少一种金属或半金属氧化物或它们可以在衬底和随后的热处理来获得的前体的涂料组合物来形成。该涂层适合于在特定的光学层上的光透过性基板。合适的应用的实例包括防反射涂层和干涉层组件。

6. 发明申请

WO2006066856A1 OPTISCHE KOMPONENTE AUS EINEM ANORGANISCH-ORGANISCHEN HYBRIDMATERIAL ZUR HERSTELLUNG VON BRECHZAHLGRADIENTENSCHICHTEN MIT SCHNELLER KINETIK UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：杂化有机 - 无机材料用于生产光学元件毕业折射率以更快及其制造方法KINETIK
公开(公告)号：WO2006066856A1
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：PCT/EP2005/013683
申请日：2005-12-19
申请人： EPG (ENGINEERED NANOPRODUCTS GERMANY) GMBH , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William
发明人： MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William
IPC分类号： G02B3/00 , G02B6/10 , G02B1/04
CPC分类号： C08J5/005 , B82Y30/00 , G02B1/04 , G02B3/0087 , G11B7/251
摘要： Es wird ein Hybridmaterial beschrieben, das ein lösliches organisches Polymer, einen ein- oder mehrkernigen hochbrechenden Metallkomplex mit photopolymerisierbaren oder thermisch polymerisierbaren Liganden, oberflächenmodifizierte Nanopartikel und gegebenenfalls weitere Komponenten umfasst und für die Bildung von Brechzahlgradienten geeignet ist. Bei lokaler Bestrahlung oder Erwärmung des festen oder viskosen Hybridmaterials erfolgt die Ausbildung eines Konzentrationsgradienten der Metallkomplexe und damit einer Brechzahlerhöhung in den belichteten Zonen. Die so erzeugte Brechzahlgradientenstruktur kann durch Härtung fixiert werden. Die hergestellten Materialien mit Brechzahlgradient eignen sich z.B. hervorragend für optische Elemente mit Gradientenstruktur für Anwendungen in der abbildenden Optik, für planare Lichtwellenleiter, holographische Bilder, Lichtlenkelemente und optische Datenspeicher.
摘要翻译：公开的是一种混合材料，其包含可溶性有机聚合物，光聚合性具有或热聚合的配体，表面改性的纳米粒子和任选的其它组分的单核或多核高折射金属络合物和适用于折射率梯度的形成。对于局部照射或固体或粘稠混合材料的加热，所述金属配合物的浓度梯度的形成，因此，折射率增加的暴露区域就完成了。由此产生的折射率梯度结构可以通过固化进行固定。有折射率梯度合适的例子所产生的材料是优秀的具有梯度结构，用于成像光学系统的应用中，平面光波导，全息图像，导光元件，和光学数据存储的光学元件。

7. 发明申请

WO2011079909A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON EINGEKAPSELTEN METALL-KOLLOIDEN ALS ANORGANISCHE FARBPIGMENTE 审中-公开
标题翻译：包封金属胶体作为无机颜料的制备方法
公开(公告)号：WO2011079909A2
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：PCT/EP2010/007635
申请日：2010-12-15
申请人： LEIBNIZ-INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GMBH , TOYOTA MOTOR CORPORATION , FINK-STRAUBE, Claudia , FRIES, Kira , MENNIG, Martin , ANSCHÜTZ, Dieter , SCHUMACHER, Sarah , DE OLIVEIRA, Peter, William , ISHII, Masahiko , MURATA, Wataru , VANDENBERGHE, Véronique
发明人： FINK-STRAUBE, Claudia , FRIES, Kira , MENNIG, Martin , ANSCHÜTZ, Dieter , SCHUMACHER, Sarah , DE OLIVEIRA, Peter, William , ISHII, Masahiko , MURATA, Wataru , VANDENBERGHE, Véronique
IPC分类号： B01J13/00
CPC分类号： B01J13/0043 , B01J13/0091
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von eingekapselten Metall-Kolloiden als anorganische Farbpigmente, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: a) Umsetzung einer oder mehrerer glasbildender Komponenten nach dem Sol-Gel-Verfahren, um ein SoI zu erhalten; b) Dispergieren eines Metallsalzes in dem erhaltenen SoI in Gegenwart eines zusätzlichen Reduktionsmittels, um Metall-Kolloide zu bilden; c) Überführen der erhaltenen Dispersion in Xerogel-eingekapselte Metall-Kolloide durch Sprühtrocknen; d) Erhitzen der erhaltenen Xerogel-eingekapselten Metall-Kolloide, um diese zu verdichten. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner anorganische Farbpigmente, insbesondere herstellbar durch das erfindungsgemäße Verfahren, umfassend Metall-Kolloide, die aus Metallsalzen hergestellt sind und in einer Kapselung eingekapselt sind, wobei die Kapselung nach dem SoI-Gel-Verfahren aus glasbildenden Komponenten hergestellt und zu einem Xerogel oder Glas verdichtet ist, wobei der Anteil an Metall-Kolloid in den Kapseln mindestens 80 %, vorzugsweise mindestens 95 %, besonders bevorzugt nahezu 100 %, beträgt.
摘要翻译：
本发明涉及一种用于包封的金属胶体的制备方法，作为无机着色颜料，其特征在于以下工艺步骤：a）一种或多种玻璃形成组分通过溶胶 - 凝胶法，溶胶到反应接受; b）在另外的还原剂存在下将金属盐分散在所得溶胶中以形成金属胶体; c）通过喷雾干燥在干凝胶包封的金属胶体中过滤所获得的分散体; d）加热所得的干凝胶包封的金属胶体以致密化它们。本发明还通过本发明＆涉及无机着色颜料，特别是产生AUML;道路过程包括分别由金属盐制备，并且被封装在封装金属胶体，所述由玻璃形成组分的溶胶 - 凝胶工艺后封装制成和被压缩以形成干凝胶或玻璃，其中金属胶体的胶囊中的比例，至少80％，优选至少95％，特别优选几乎100％有关，GIRL GT 。

8. 发明申请

WO2006066858A1 OPTISCHE KOMPONENTE AUS EINEM ANORGANISCH-ORGANISCHEN HYBRIDMATERIAL ZUR HERSTELLUNG VON BRECHZAHLGRADIENTENSCHICHTEN MIT HOHER LATERALER AUFLÖSUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：杂化有机 - 无机材料用于生产光学元件毕业折射率高的水平分辨率及其制造方法
公开(公告)号：WO2006066858A1
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：PCT/EP2005/013685
申请日：2005-12-19
申请人： EPG (ENGINEERED NANOPRODUCTS GERMANY) GMBH , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William
发明人： MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, William
IPC分类号： G02B3/00 , G02B1/04 , G02B6/10
CPC分类号： C03C17/009 , C08K5/0091 , C08K5/56 , G02B1/04
摘要： Es wird ein Hybridmaterial beschrieben, das ein lösliches organisches Polymer und einen ein- oder mehrkernigen hochbrechenden Metallkomplex mit photopolymerisierbaren oder thermisch polymerisierbaren Liganden und gegebenenfalls vernetzbare Monomere und/oder Oligomere, Photo- oder Thermoinitiatoren, Weichmacher und weitere Additive umfasst und für die Bildung von Brechzahlgradienten geeignet ist. Bei lokaler Bestrahlung oder Erwärmung des festen oder viskosen Hybridmaterials erfolgt die Ausbildung eines Konzentrationsgradienten der Metallkomplexe und damit einer Brechzahlerhöhung in den belichteten Zonen. Die so erzeugte Brechzahlgradientenstruktur kann durch Härtung fixiert werden. Die hergestellten Materialien mit Brechzahlgradient eignen sich z.B. hervorragend für optische Elemente mit Gradientenstruktur für Anwendungen in der abbildenden Optik, für planare Lichtwellenleiter, holographische Bilder, Lichtlenkelemente und optische Datenspeicher.
摘要翻译：公开的是一种混合材料，其包括水溶性有机聚合物和具有光聚合性或热聚合的配体和任选的交联的单体和/或低聚物，光或热引发剂，增塑剂和其它添加剂以及用于折射率梯度的形成的单核或多核高折射金属络合物是合适的。对于局部照射或固体或粘稠混合材料的加热，所述金属配合物的浓度梯度的形成，因此，折射率增加的暴露区域就完成了。由此产生的折射率梯度结构可以通过固化进行固定。有折射率梯度合适的例子所产生的材料是优秀的具有梯度结构，用于成像光学系统的应用中，平面光波导，全息图像，导光元件，和光学数据存储的光学元件。

9. 发明申请

WO2006125635A1 REGENERIERBARE, STRUKTURIERTE PLATTE MIT OXIDATIONSKATALYSATOREN 审中-公开
标题翻译：与氧化催化剂再生结构性板
公开(公告)号：WO2006125635A1
公开(公告)日：2006-11-30
申请号：PCT/EP2006/004979
申请日：2006-05-24
申请人： LEIBNIZ-INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GMBH , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter , SCHMIDT, Helmut
发明人： MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter , SCHMIDT, Helmut
IPC分类号： B41C1/10 , B41N3/00 , G03F7/004 , G03F7/075
CPC分类号： G03F7/0755 , B41C1/1008 , B41C1/1016 , B41C2210/02 , B41N3/006 , G03F7/0042 , G03F7/0043 , G03F7/0757 , Y10T428/24802
摘要： Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung einer regenerierbaren Platte mit strukturierter Oberfläche aus hydrophilen und hydrophoben Bereichen, bei dem man die Oberfläche der regenerierbaren Platte, die ein Substrat und eine darüber liegende Schicht aus einer Masse, die einen hydrophilen Oxidationskatalysator enthält, umfasst, mit einer hydrophoben Schicht beschichtet und bildmäßig belichtet, wobei die hydrophobe Schicht in den belichteten Bereichen durch die Belichtung erwärmt wird, so dass die hydrophobe Schicht in den belichteten Bereichen unter Freilegung des darunter liegenden hydrophilen Oxidationskatalysators thermokatalytisch zersetzt wird. Die nach diesem Verfahren hergestellten Platten mit strukturierter Oberfläche können nach Verwendung in einfacher Weise regeneriert werden, so dass sie für eine erneute Strukturierung zur Verfügung stehen. Die so erhaltenen Substrate eignen sich hervorragend zum Drucken von Mikrostrukturen auf ein Empfangsmedium oder zur mustermäßigen Ankopplung biologischer oder anderer Komponenten.
摘要翻译：公开了一种用于生产亲水性和疏水性区域的结构化再生的板表面上，一种方法，其中所述再生的板，其包括基板和组合物的含有亲水氧化催化剂与疏水性上覆层的表面涂覆层和成像曝光，其中所述疏水层在暴露区域通过曝光，使得在曝光区域中的疏水层，以露出下面的亲水性氧化催化剂加热的热催化分解。通过该方法与结构化表面制备的板可以在使用后简单的方式进行再生，从而使它们可用于可重新构造。由此获得的基板是理想的生物或其它组件的接收介质或图案平滑联接印刷的微结构。

10. 发明申请

WO2003086959A2 TRANSFERVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG MIKROSTRUKTURIERTER SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：传入的过程生产微型结构化基底
公开(公告)号：WO2003086959A2
公开(公告)日：2003-10-23
申请号：PCT/EP2003/003990
申请日：2003-04-16
申请人： INSTITUT FÜR NEUE MATERIALIEN GEMEINNÜTZIGE GMBH , GIER, Andreas , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, W. , SCHMIDT, Helmut
发明人： GIER, Andreas , MENNIG, Martin , OLIVEIRA, Peter, W. , SCHMIDT, Helmut
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mit einer Mikrostruktur versehenen Substrats über ein Transferverfahren beschrieben, bei dem man eine Prägevorrichtung in eine Beschichtungszusammensetzung eindrückt, die Prägevorrichtung aus der Beschichtungszusammensetzung entfernt, wobei Beschichtungszusammensetzung in den vertieften Stellen der Prägevorrichtung verbleibt, die Prägevorrichtung aufdas Substrat aufdrückt, die mit der Prägevorrichtung auf das Substrat übertragene Beschichtungszusammensetzung härtet und die Prägevorrichtung entfernt, wobei die Beschichtungszusammensetzung ein organisch modifiziertes anorganisches Polykondensat oder dessen Vorstufen und nanoskalige anorganische Feststoffteilchen umfasst.Die nach diesem Verfahren erhältlichen, mit einer Mikrostruktur versehenen Substrate eignen sich insbesondere für optische oder mikromechanische Anwendungen.
摘要翻译：一种用于制造设置有通过转印法的微结构基片的方法，其中一个在涂料组合物推压的压花装置进行说明，该压花装置从所述涂料组合物中除去，所述涂料组合物残留在凹陷部位的压花加工装置的，该压印件压印到基底上，与压花装置到涂层组合物固化和压花装置移除所述衬底发射，留下的涂料组合物可用的有机改性的无机缩聚物或其前体和纳米级无机颗粒固体umfasst.Die通过这个过程中，衬底提供有特别适合于光学或微机械的微结构应用。

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