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    • 9. 发明授权
    • Tunneling emitters and method of making
    • 隧道发射器和制作方法
    • US06806488B2
    • 2004-10-19
    • US10389556
    • 2003-03-13
    • Sriram RamamoorthiZhizhang Chen
    • Sriram RamamoorthiZhizhang Chen
    • H01L2906
    • B82Y10/00G11C11/23H01J1/312H01J9/025
    • An emitter has an electron supply layer and a tunneling layer formed on the electron supply layer. Optionally, an insulator layer is formed on the electron supply layer and has openings defined within in which the tunneling layer is formed. A cathode layer is formed on the tunneling layer. A conductive layer is partially disposed on the cathode layer and partially on the insulator layer if present. The conductive layer defines an opening to provide a surface for energy emissions of electrons and/or photons. Preferably but optionally, the emitter is subjected to an annealing process thereby increasing the supply of electrons tunneled from the electron supply layer to the cathode layer.
    • 发射体具有形成在电子供给层上的电子供给层和隧道层。 可选地,在电子供给层上形成绝缘体层,并且在其内形成有形成有隧道层的开口。 在隧道层上形成阴极层。 导电层部分地设置在阴极层上,部分地设置在绝缘体层上,如果存在的话。 导电层限定一个开口以提供用于电子和/或光子的能量发射的表面。 优选但是可选地,对发射极进行退火处理,从而增加从电子供给层向阴极层隧穿的电子的供应。