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1. 发明公开

KR20180017188A 레시피간 일치도에 기초한 레시피 선택 审中-公开
标题翻译：基于配方之间匹配的配方选择
公开(公告)号：KR20180017188A
公开(公告)日：2018-02-20
申请号：KR20187001374
申请日：2016-06-10
申请人： ASML NETHERLANDS BV
发明人： DEN BOEF ARIE JEFFREY , DAVIS TIMOTHY DUGAN , ENGBLOM PETER DAVID , BHATTACHARYYA KAUSTUVE
IPC分类号： G03F7/20 , G01B11/27 , G03F9/00
CPC分类号： G03F9/7069 , G01B11/272 , G03F7/70633
摘要： 복수개의기판측정레시피중 하나의기판측정레시피와상기복수개의기판측정레시피중 나머지기판측정레시피들각각사이의레시피일치도를결정하는단계; 상기레시피일치도의함수를계산하는단계; 상기함수가기준을만족시키면상기복수개의기판측정레시피중에서상기하나의기판측정레시피를제거하는단계; 및종결조건이만족될때까지상기결정하는단계, 계산하는단계및 제거하는단계를반복하는단계를포함하는, 방법이개시된다. 또한, 복수개의기판측정레시피를저장하도록구성되는저장소, 및복수개의기판측정레시피사이의레시피일치도에기초하여복수개의기판측정레시피중에서하나이상의기판측정레시피를선택하도록구성되는프로세서를포함하는, 기판측정장치가개시된다.
摘要翻译：确定多个基板测量配方的基板测量配方与多个基板测量配方中的每个剩余基板测量配方之间的配方匹配程度; 计算食谱匹配度的函数; 如果功能满足标准，则从多个基板测量配方中移除一个基板测量配方; 并重复确定，计算和删除，直到满足终止条件。以及处理器，其被配置为基于所述多个基板测量配方之间的配方一致性来从多个基板测量配方中选择一个或多个基板测量配方，其中所述处理器被配置为存储多个基板测量配方，该装置启动。

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