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1. 发明申请

WO2019105534A1 DEPOSITION APPARATUS, METHOD OF COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE AND FLEXIBLE SUBSTRATE HAVING A COATING 审中-公开
公开(公告)号：WO2019105534A1
公开(公告)日：2019-06-06
申请号：PCT/EP2017/080694
申请日：2017-11-28
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , HABERKORN, Edgar , LORENZ, Stefan , HEIN, Stefan , MORRISON, Neil , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , DEPPISCH, Thomas
发明人： HABERKORN, Edgar , LORENZ, Stefan , HEIN, Stefan , MORRISON, Neil , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , DEPPISCH, Thomas
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/34 , C23C14/56 , C23C14/58
摘要： A deposition apparatus (100) for coating a flexible substrate (10) is described. The deposition apparatus includes a first spool chamber (110) housing a storage spool (112) for providing the flexible substrate (10), a deposition chamber (120) arranged downstream from the first spool chamber (110), and a second spool chamber (150) arranged downstream from the deposition chamber (120) and housing a wind-up spool (152) for winding the flexible substrate (10) thereon after deposition. The deposition chamber (120) includes a coating drum (122) for guiding the flexible substrate past a plurality of deposition units (121) including at least one deposition unit (124) having a graphite target (125). Further, the deposition chamber (120) includes a coating treatment device (160) configured to densify a layer deposited on the flexible substrate.

2. 发明申请

WO2019105533A1 DEPOSITION APPARATUS FOR COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE, METHOD OF COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE AND FLEXIBLE SUBSTRATE HAVING A COATING 审中-公开
公开(公告)号：WO2019105533A1
公开(公告)日：2019-06-06
申请号：PCT/EP2017/080692
申请日：2017-11-28
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , KURTHEN, Christof , HEIN, Stefan , KUKLA, Reiner , MORRISON, Neil , DEPPISCH, Thomas , LORENZ, Stefan , HABERKORN, Edgar
发明人： KURTHEN, Christof , HEIN, Stefan , KUKLA, Reiner , MORRISON, Neil , DEPPISCH, Thomas , LORENZ, Stefan , HABERKORN, Edgar
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/34 , C23C14/56
摘要： A deposition apparatus (100) for coating a flexible substrate (10) is described. The deposition apparatus comprises a first spool chamber (110) housing a storage spool (112) for providing the flexible substrate (10), a deposition chamber (120) arranged downstream from the first spool chamber (110), and a second spool chamber (150) arranged downstream from the deposition chamber (120) and housing a wind-up spool (152) for winding the flexible substrate (10) thereon after deposition. The deposition chamber (120) comprises a coating drum (122) for guiding the flexible substrate past a plurality of deposition units (121) including at least one deposition unit (124) having a graphite target (125). The coating drum is connected to a device (140) for applying an electrical potential to the coating drum.

3. 发明申请

WO2018228683A1 DEPOSITION APPARATUS FOR COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE AND METHOD OF COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE 审中-公开
公开(公告)号：WO2018228683A1
公开(公告)日：2018-12-20
申请号：PCT/EP2017/064545
申请日：2017-06-14
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , DEPPISCH, Thomas , ULRICH, Jürgen , SCHLÄFER, Susanne , HEIN, Stefan , LORENZ, Stefan , WENDELMUTH, Walter , STICKSEL-WEIS, Björn , HACKER, Volker , DIETER, Torsten Bruno , MORRISON, Neil , HERMANNS, Uwe , WAGNER, Dirk , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , METT, Valerius
发明人： DEPPISCH, Thomas , ULRICH, Jürgen , SCHLÄFER, Susanne , HEIN, Stefan , LORENZ, Stefan , WENDELMUTH, Walter , STICKSEL-WEIS, Björn , HACKER, Volker , DIETER, Torsten Bruno , MORRISON, Neil , HERMANNS, Uwe , WAGNER, Dirk , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , METT, Valerius
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50 , C23C16/54 , C23C16/458 , C23C16/44 , C23C16/46 , C23C14/54 , B65H23/24
CPC分类号： C23C14/562 , B65H20/02 , B65H2301/51145 , B65H2406/111 , C23C14/505 , C23C14/541 , C23C14/564 , C23C16/4409 , C23C16/458 , C23C16/466 , C23C16/545
摘要： A deposition apparatus (100) for coating a flexible substrate (10) with a stack of layers is described. The deposition apparatus comprises: a first spool chamber (110) housing a storage spool for providing the flexible substrate; a deposition chamber (120) arranged downstream from the first spool chamber and comprising a coating drum (122) for guiding the flexible substrate past a plurality of deposition units (121); a second spool chamber arranged downstream from the deposition chamber (120) and housing a wind-up spool for winding the flexible substrate thereon after deposition; and a roller assembly configured to transport the flexible substrate (10) along a partially convex and partially concave substrate transportation path from the first spool chamber to the second spool chamber. Further, a method of coating a flexible substrate, particularly with the described deposition apparatus, is described.

4. 发明申请

WO2018001523A1 DEPOSITION APPARATUS FOR COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE AND METHOD OF COATING A FLEXIBLE SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：涂覆柔性基板的沉积设备和涂覆柔性基板的方法
公开(公告)号：WO2018001523A1
公开(公告)日：2018-01-04
申请号：PCT/EP2016/065558
申请日：2016-07-01
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , DEPPISCH, Thomas , HEIN, Stefan , MORRISON, Neil , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , SCHLÄFER, Susanne , LORENZ, Stefan , WAGNER, Dirk , METT, Valerius , HACKER, Volker , HERMANNS, Uwe , STICKSEL-WEIS, Björn , WENDENMUTH, Walter , ULRICH, Jürgen
发明人： DEPPISCH, Thomas , HEIN, Stefan , MORRISON, Neil , KUKLA, Reiner , KURTHEN, Christof , SCHLÄFER, Susanne , LORENZ, Stefan , WAGNER, Dirk , METT, Valerius , HACKER, Volker , HERMANNS, Uwe , STICKSEL-WEIS, Björn , WENDENMUTH, Walter , ULRICH, Jürgen
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/34 , C23C14/56 , B08B7/00
CPC分类号： C23C14/562 , B08B7/0028 , C23C14/086 , C23C14/10 , C23C14/34 , C23C14/564
摘要： A deposition apparatus (100) for coating a flexible substrate (10) with a stack of layers is described. The deposition apparatus comprises: a first spool chamber (110) configured for housing a storage spool for providing the flexible substrate; a first deposition chamber (120) arranged downstream from the first spool chamber and comprising a first coating drum (122) configured for guiding the flexible substrate past a first plurality of deposition units (121); a second deposition chamber (140) arranged downstream from the first deposition chamber (120) and comprising a second coating drum (142) configured for guiding the flexible substrate past a second plurality of deposition units (141); a second spool chamber arranged downstream from the second deposition chamber (140) and configured for housing a wind-up spool for winding the flexible substrate thereon after deposition; and a roller assembly configured to transport the flexible substrate (10) along a partially convex and partially concave substrate transportation path from the first spool chamber to the second spool chamber. Further, a method of coating a flexible substrate, particularly with the described deposition apparatus, is described.
摘要翻译：描述了用于以柔性基板（10）涂覆层的沉积设备（100）。所述沉积设备包括：第一卷轴室（110），所述第一卷轴室构造成容纳用于提供所述柔性基板的存储卷轴; 第一沉积室（120），所述第一沉积室（120）布置在所述第一卷轴室的下游并且包括第一涂覆鼓（122），所述第一涂覆鼓被构造用于引导所述柔性基板经过第一多个沉积单元（121）布置在所述第一沉积室（120）下游并且包括第二涂布鼓（142）的第二沉积室（140），所述第二涂布鼓被配置用于引导所述柔性基材通过第二多个沉积单元（141）; 第二卷轴室，所述第二卷轴室布置在所述第二沉积室（140）的下游并且构造成用于容纳用于在沉积之后将柔性衬底卷绕在其上的卷绕卷轴; 以及辊子组件，所述辊子组件被构造成沿着部分凸出并且部分凹入的基板运送路径将所述柔性基板（10）从所述第一卷轴室运送至所述第二卷轴室。此外，描述了一种涂覆柔性基底的方法，特别是用所述的沉积设备进行涂覆的方法。

5. 发明申请

WO2015007858A1 CLEANING METHOD FOR THIN-FILM PROCESSING APPLICATIONS AND APPARATUS FOR USE THEREIN 审中-公开
标题翻译：薄膜加工应用的清洗方法及其使用的装置
公开(公告)号：WO2015007858A1
公开(公告)日：2015-01-22
申请号：PCT/EP2014/065424
申请日：2014-07-17
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , RIES, Florian , HEIN, Stefan , LORENZ, Stefan , MORRISON, Neil , STOLLEY, Tobias
发明人： RIES, Florian , HEIN, Stefan , LORENZ, Stefan , MORRISON, Neil , STOLLEY, Tobias
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： C23C16/4405 , H01J37/3277 , H01J37/32862 , Y10T428/18 , Y10T428/192
摘要： According to the present disclosure, a method for cleaning the processing chamber of a flexible substrate processing apparatus without breaking the vacuum in the processing chamber is provided. The method for cleaning the processing chamber includes guiding a sacrificial foil into the processing chamber; initiating a first pump process in the processing chamber; plasma cleaning the processing chamber while the sacrificial foil is provided in the processing chamber; initiating a second pump process in the processing chamber; and guiding the sacrificial foil out of the processing chamber.
摘要翻译：根据本公开，提供了一种用于清洁柔性基板处理设备的处理室而不破坏处理室中的真空的方法。用于清洁处理室的方法包括将牺牲箔引导到处理室中; 在处理室中启动第一泵过程; 等离子体清洁处理室，同时牺牲箔设置在处理室中; 在处理室中启动第二泵过程; 并将牺牲箔引导出处理室。

6. 发明申请

WO2012072120A1 APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING A DEPOSITION OF ONE OR MORE LAYERS IN A DEPOSITION DEVICE 审中-公开
标题翻译：用于监测沉积物中一层或多层的沉积的装置和方法
公开(公告)号：WO2012072120A1
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：PCT/EP2010/068561
申请日：2010-11-30
申请人： APPLIED MATERIALS INC. , LORENZ, Stefan , SAUER, Peter
发明人： LORENZ, Stefan , SAUER, Peter
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/54 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/0042 , C23C14/54 , C23C14/562
摘要： In one general aspect of the present invention, a method for monitoring a deposition of one or more layers in a deposition device comprises the steps of depositing a first section of a layer onto a moving substrate at a first deposition location, measuring at least one characteristic of the first section of the layer at a first measurement location downstream of the first deposition location, determining a difference between the at least one characteristic and a respective target value, and changing a parameter of the deposition device based on the difference between the at least one characteristic and the respective target value. This method provides for a simple and reliable control of layer properties in a deposition device with an automated closed-loop controller.
摘要翻译：在本发明的一个总体方面，用于监测沉积装置中一层或多层沉积的方法包括以下步骤：在第一沉积位置处将层的第一部分沉积到移动的衬底上，测量至少一个特征在所述第一沉积位置下游的第一测量位置处的所述层的第一部分确定所述至少一个特性与相应目标值之间的差异，以及基于所述沉积设备之间的差异来改变所述沉积设备的参数一个特征和相应的目标值。该方法提供了使用自动闭环控制器的沉积设备中的层性质的简单和可靠的控制。

7. 发明申请

WO2012052430A1 LIGHTING ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：照明装置
公开(公告)号：WO2012052430A1
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：PCT/EP2011/068178
申请日：2011-10-18
申请人： OSRAM AG , OSRAM S.P.A. - SOCIETA' RIUNITE OSRAM EDISON CLERICI , ALFIER, Alberto , FIEGLER, Matthias , LORENZ, Stefan , SCORDINO, Alessandro
发明人： ALFIER, Alberto , FIEGLER, Matthias , LORENZ, Stefan , SCORDINO, Alessandro
IPC分类号： F21V7/00 , F21V19/00 , F21V29/00 , F21V17/12 , F21W131/103 , F21Y101/02 , F21Y103/00
CPC分类号： F21V21/00 , F21V7/0025 , F21V7/005 , F21V7/09 , F21V17/005 , F21V17/12 , F21V19/0035 , F21V19/0055 , F21V23/06 , F21V29/70 , F21V29/763 , F21W2111/02 , F21W2131/103 , F21Y2103/10 , F21Y2115/10
摘要： A lighting assembly (10), for example for road lighting, comprises: - a base body configured as a heat sink (18) and having a front surface (18a), - a board (14) carrying a light radiation source (12) applied on the front surface (18a) of the heat sink, and - a fixing element (20) mounted on the front surface (18a) of the heat sink (18) with the board (14) arranged therebetween; the fixing element (20) including a window (22) which leaves at least partly uncovered said light radiation source (12), the window having side walls (220) which surround the light radiation source (12) and spread outwards from the front surface (18) of the heat sink to form a reflector for the light radiation. An external reflector (32) for the light radiation may furthermore be provided coupled to the fixing element (22) in correspondence with the side walls (220) of the window (22).
摘要翻译：照明组件（10）例如用于道路照明，包括： - 被配置为散热器（18）并具有前表面（18a）的基体， - 承载光辐射源（12）的板（14）施加在散热器的前表面（18a）上，以及 - 安装在散热器（18）的前表面（18a）上的固定元件（20），其间布置有板（14）所述固定元件（20）包括至少部分未覆盖所述光辐射源（12）的窗口（22），所述窗口具有围绕所述光辐射源（12）的侧壁（220）并且从所述前表面向外扩展（18），以形成用于光辐射的反射器。还可以与窗口（22）的侧壁（220）相对应地设置用于光辐射的外部反射器（32），其耦合到固定元件（22）。

8. 发明申请

WO2013007696A2 LEUCHTVORRICHTUNG MIT LICHTDURCHLÄSSIG ABGEDECKTEN HALBLEITERLICHTQUELLEN 审中-公开
标题翻译：与透光覆盖型半导体光源照明设备
公开(公告)号：WO2013007696A2
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：PCT/EP2012/063417
申请日：2012-07-09
申请人： OSRAM AG , FRISCHEISEN, Jörg , LORENZ, Stefan
发明人： FRISCHEISEN, Jörg , LORENZ, Stefan
CPC分类号： H01L25/0753 , F21K9/64 , F21Y2103/10 , F21Y2115/10 , H01L33/507 , H01L33/60 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Leuchtvorrichtung (1) mit einem Träger (2), wobei der Träger (2) mit mehreren, insbesondere in Reihe angeordneten, Halbleiterlichtquellen (4) bestückt ist, die Halbleiterlichtquellen (4) von einer teilweise reflektierenden lichtdurchlässigen Abdeckung (6) abgedeckt sind und der Träger (2) neben den Halbleiterlichtquellen (4) mindestens einen von der Abdeckung (6) abgedeckten Farbänderungsbereich (7-11; 16-17, 19) aufweist. Ein Verfahren dient zum Herstellen der Leuchtvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Verfahren mindestens die folgenden Schritte aufweist: Messen einer Farbabweichung einer Halbleiterlichtquelle (4); und bei Feststellen einer nicht vernachlässigbaren Farbabweichung: Aufbringen eines zumindest auf die ausgemessene Halbleiterlichtquelle (4) angepassten Farbänderungsbereichs (7-11; 16-17, 19) auf den Träger (2).
摘要翻译：本发明涉及一种发光器件（1），包括支撑体（2），其特征在于，（2）配置有多个，特别是在系列载体，半导体光源（4）被装配，所述半导体光源（4）的部分反射透明盖（6）的被覆盖并在除了半导体光源的载体（2）（4）的至少一个由所述盖体（6）的颜色变化范围覆盖（7-11; 16-17，19）。使用了一种方法用于制造根据前述权利要求中的任一项所述的发光器件（1）的光，其中，所述方法至少包括以下步骤：测量一个半导体光源（4）的颜色偏差; 并且在检测到一个不可忽略的颜色偏差的：将匹配的至少到已经测量半导体光源（4）的颜色变化范围（7-11; 16-17，19）在所述载体上（2）。

9. 发明申请

WO2012052313A1 LED-MODUL UND BELEUCHTUNGSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： LED模块及照明装置
公开(公告)号：WO2012052313A1
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：PCT/EP2011/067635
申请日：2011-10-10
申请人： OSRAM AG , BERTRAM, Ralph , LORENZ, Stefan , SCHWALENBERG, Simon
发明人： BERTRAM, Ralph , LORENZ, Stefan , SCHWALENBERG, Simon
IPC分类号： G02B17/08 , H01L33/58 , F21S8/12 , F21K99/00 , F21V5/00
CPC分类号： G02B19/0066 , F21K9/61 , F21Y2115/10 , G02B19/0028 , H01L25/0753 , H01L33/58 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Offenbart sind ein LED-Modul und eine mit einem derartigen LED-Modul ausgeführte Beleuchtungseinrichtung. Das LED-Modul hat eine oder mehrere LEDs, auf die im Bereich einer Apertur der LED-Anordnung ein die Abstrahlung mitbestimmender Lichtabstrahlkörper aufgesetzt ist.
摘要翻译：本发明公开了LED模块和具有这样的发光二极管模块实施的照明装置。该LED模块具有一个或多个LED，所述确定Lichtabstrahlkörper被放置在所述LED阵列的孔的区域中的辐射中的一个。

10. 发明申请

WO2011098358A1 LAMPE MIT GASFÜLLUNG 审中-公开
标题翻译：填充气体灯
公开(公告)号：WO2011098358A1
公开(公告)日：2011-08-18
申请号：PCT/EP2011/051107
申请日：2011-01-27
申请人： OSRAM GESELLSCHAFT MIT BESCHRÄNKTER HAFTUNG , LORENZ, Stefan , HOETZL, Guenter
发明人： LORENZ, Stefan , HOETZL, Guenter
IPC分类号： F21K99/00
CPC分类号： F21K9/00 , F21V29/506 , F21V31/04 , F21Y2103/00 , F21Y2103/10 , F21Y2115/10 , F21Y2115/20
摘要： Es wird eine Lampe (1) beschrieben, die mindestens eine Feststoff-Lichtquelle (2), die auf einem Träger (3) montiert ist, ein mindestens teilweise lichtdurchlässiges Gefäß (4), das die Lichtquelle und den Träger gasdicht umschließt und ein Füllgasgemisch (5), das in dem Gefäß eingeschlossen ist, aufweist. Das Füllgasgemisch ist ein Gemisch aus mindestens einem Gas mit hoher Wärmeleitfähigkeit und mindestens einem Gas mit einer anderen physikalischen Eigenschaft.
摘要翻译：有一个电灯（1）上述中，（至少一个固体光源（2），其安装在支撑件（3），一个至少部分透光容器（4），其包围所述光源和所述载气密封和Füllgasgemisch 5），其在容器中并入了。所述Füllgasgemisch是具有高的热导率和至少一种气体与另一种物理性质的至少一种气体的混合物。

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