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    • 2. 发明申请
    • 무기 반도체 잉크 조성물 및 이를 통해 제조되는 무기 반도체 박막
    • 无机半导体墨水组合物和无机半导体薄膜使用其制造
    • WO2012141535A2
    • 2012-10-18
    • PCT/KR2012/002831
    • 2012-04-13
    • 한국화학연구원조성윤이창진강영구임종선강영훈정준영
    • 조성윤이창진강영구임종선강영훈정준영
    • H01L29/12H01L21/20H01L29/786
    • H01L29/7869H01L21/02554H01L21/02601H01L21/02628
    • 본 발명은 무기 반도체 잉크 조성물 및 이를 통해 제조되는 무기 반도체 박막에 관한 것으로 상세하게는 산화아연 전구체 용액, 산화아연 나노입자 및 분산용매를 포함하고, 산화아연 전구체 용액에 대하여 산화아연 나노입자는 0.1 내지 50 중량%인 것을 특징으로 하는 무기 반도체 잉크 조성물을 제공한다. 본 발명에 따른 무기 반도체 잉크 조성물은 트랜지스터 소자의 채널 재료로 이용될 수 있고, 이에 따라 전기적 성능이 향상된 무기 박막 트랜지스터를 제조할 수 있다. 또한, 용액공정에 적합하여 박막으로의 제조가 용이하고 저온공정이 가능하며, 산화아연 전구체 용액 및 산화아연 나노입자가 혼합되어 조밀하고 균일한 박막을 제조할 수 있고, 이에 따라 신뢰도가 우수한 무기 박막 트랜지스터를 제조할 수 있다.
    • 本发明涉及无机半导体油墨组合物和通过使用它们制造的无机半导体薄膜。 特别地,无机半导体油墨组合物包括氧化锌前体溶液,氧化锌纳米颗粒和分散溶剂,其特征在于,氧化锌纳米颗粒的量为基于0.1重量%至50重量% 在氧化锌前体溶液上。 无机半导体油墨组合物可以用作晶体管器件的沟道材料,因此可以获得具有改进的性能的无机薄膜晶体管。 此外,由于组合物适用于液体工艺,因此制造薄膜容易,并且可以进行低温处理。 由于氧化锌前体溶液和氧化锌纳米颗粒混合,所以可以制造出紧凑且均匀的薄膜。 因此,可以获得具有良好可靠性的无机薄膜晶体管。