会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明申请
    • 실리콘의 정련 장치
    • 硅精炼设备
    • WO2014010825A1
    • 2014-01-16
    • PCT/KR2013/004545
    • 2013-05-23
    • 한국에너지기술연구원
    • 이진석안영수장보윤김준수
    • C01B33/037C01B33/021B01J19/12
    • C01B33/037C30B11/04C30B29/06
    • 실리콘의 정련 장치가 개시된다. 진공 분위기를 유지하는 진공 챔버, 상기 진공 챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 적어도 하나 이상의 전자총(Electron-gun), 상기 진공챔버 내에 실리콘 원료물질을 공급하는 원료 공급부, 상기 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되며, 상기 실리콘 원료물질이 장입되어 상기 전자빔에 의해 상기 실리콘 원료물질이 용융되어 실리콘 용탕이 형성되는 실리콘 용융부, 상기 실리콘 용융부로부터 공급되는 실리콘 용탕을 응고시키는 일방향 응고부 및 상기 실리콘 용융부의 제 1 채널부와 상기 일방향 응고부의 제 2 채널부가 서로 접하여 이루어진 연결탕로부를 포함하고, 상기 연결탕로부의 중심축은 상기 원료 공급부의 투입구의 중심축과 다른 위치에 있는 휘발성 불순물 제거를 위한 실리콘의 정련 장치가 제공될 수 있다. 이에 따라, 실리콘 용탕의 이동경로를 길게 하여 내부에 존재하는 휘발성 불순물이 제거되는 시간과 공간을 충분히 확보하여 진공 정련의 효율을 향상시킬 수 있다.
    • 公开了一种硅精炼装置。 本发明提供一种用于除去挥发性杂质的硅精炼装置,该装置包括:保持真空气氛的真空室; 一个或多个电子枪,其形成在真空室中并照射电子束; 原料供给部,其将硅原料供给到真空室的内部; 硅熔化部,其设置在电子束的照射范围内,并且其中硅原料被充电然后用电子束熔化,从而形成硅熔体; 固化从硅熔融部提供的硅熔体的单向凝固部; 连接通路部分,其形成有与所述单向凝固部分的第二通道部分连通的所述硅熔化部分的第一通道部分,其中所述连接的通路部分的中心轴线处于与插入件的中心轴线不同的位置 原料供应部分的孔。 因此,通过延长硅熔体的行进路径,从而确保足够的时间和空间去除存在于其中的挥发性杂质,可以提高真空精炼的效率。
    • 3. 发明申请
    • 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치
    • 使用单晶硅钮的聚硅氧烷制造设备
    • WO2014189160A1
    • 2014-11-27
    • PCT/KR2013/004524
    • 2013-05-23
    • 한국에너지기술연구원
    • 이진석안영수장보윤김준수
    • C30B15/24C30B29/06
    • C30B11/005C30B11/002C30B29/06
    • 본 발명은 단결정 실리콘버튼을 이용한 폴리실리콘 제조장치에 관한 것으로서, 진공 분위기를 유지하는 진공챔버, 상기 진공챔버에 구비되어 전자빔을 조사하는 전자빔조사부, 입자형태의 실리콘원료가 투입되며, 상기 전자빔조사부로부터 전자빔이 조사되는 영역 내에 배치되어 전자빔에 의해 실리콘원료가 용융되어 실리콘용탕이 만들어지는 실리콘용융부, 하부에 냉각채널이 형성되어 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 응고시키는 일방향응고부 및 상기 일방향응고부 내부에 구비되며 별도로 제조되어 상기 실리콘용융부로부터 공급되는 실리콘용탕을 상기 일방향응고부 하부로 이송시키는 단결정 실리콘버튼 및 상기 단결정 실리콘버튼 하면에 접합되며 상기 단결정 실리콘버튼이 이동되도록 하는 흑연더미바를 을 포함하는 스타트블럭을 포함한다.
    • 本发明涉及使用单晶硅按钮的多晶硅制造装置,包括:真空室,用于保持真空气氛; 电子束照射部,配置在真空室内,用于照射电子束; 硅熔融部分,其布置在电子束被电子束照射部分照射的区域中,并且以颗粒形式插入硅原料,硅材料被电子熔化 从而产生硅熔体; 单向凝结部,其下部具有冷却通道,使从所述硅熔融部供给的硅熔体凝结; 以及开始块,其中,所述起始块包括:单晶硅按钮,其单独制造并且装配在所述单向凝结部内,以将从所述硅熔融部供给的硅熔体输送到所述单向凝结部的下部; 以及粘结到单晶硅按钮的下表面以使单晶硅按钮移动的石墨虚拟棒。