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    • 8. 发明申请
    • 이온성 액체를 이용한 방착방법 및 액체방착설비를 구비한 진공증착장치
    • 使用液体粘合防护设备提供的离子液体和真空沉积装置的粘合防护方法
    • WO2016053058A1
    • 2016-04-07
    • PCT/KR2015/010462
    • 2015-10-02
    • 한국생산기술연구원
    • 김태원
    • C23C16/44C23C14/22H01L21/20
    • C23C14/22C23C16/44H01L21/20
    • 이 발명의 방착방법은 진공증착장치의 챔버 내부로 이온성 액체를 공급하는 단계(S110)와, 챔버 내부의 방착대상의 표면에 이온성 액체를 유동시켜 액체 실드층을 형성하는 단계(S120)와, 액체 실드층에 비산하는 증착재료를 포집하는 단계(S130)와, 액체 실드층의 이온성 액체에 포집되어 잔류하는 증착재료를 함유하는 혼합액체를 챔버에서 수집하는 단계(S140), 및 챔버에 수집된 혼합액체를 챔버의 외부로 배출하는 단계(S150)를 포함한다. 이 발명은 챔버의 내벽 또는 방착판의 표면을 따라 이온성 액체를 유동시켜 액체 실드층을 형성함으로써, 증착 공정시 증착재료가 챔버 내벽 또는 방착판 등에 증착되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다. 또한, 이온성 액체에 흡착 또는 포집된 증착재료를 이온성 액체와 함께 유동시켜 회수함으로써 챔버 내부가 오염되는 것을 방지하고 이를 통해 증착 공정의 중단 없이 연속적으로 공정을 수행함으로써 증착장치의 가동율을 높일 수 있는 장점이 있다.
    • 本发明的粘合防止方法包括:将离子液体供给到真空蒸镀装置的室内的工序(S110) 使离子液体流动到被处理物的表面上,在室内防止粘附而形成液体屏蔽层的工序(S120) 在液体屏蔽层中收集散射沉积材料的步骤(S130); 在室中收集含有收集并保留在液体屏蔽层的离子液体中的沉积材料的混合液体的步骤(S140) 以及将收集在所述室中的混合液体排出到其外部的台阶(S150)。 本发明使得离子液体能够沿着腔室的内壁或防粘连板的表面流动以形成液体屏蔽层,从而提供了防止沉积材料沉积在液体屏障的内壁上的优点 室,防粘板等。 此外,吸附或收集在离子液体中的沉积材料与离子液体一起流动以便被回收,使得防止腔室内部被污染,从而可以在不停止沉积过程的情况下连续进行处理 从而提供了提高沉积设备的操作速率的优点。
    • 9. 发明申请
    • 보호층을 갖는 유기소재
    • 有保护层的有机材料
    • WO2015163734A1
    • 2015-10-29
    • PCT/KR2015/004134
    • 2015-04-24
    • 한국생산기술연구원
    • 김태원
    • H01L51/56
    • H01L51/56
    • 이 발명의 유기소재는 정제된 유기소재의 표면을 이온성 액체, 이온성 액체에 기인하는 성분, 또는 이온성 액체를 구성하는 이온으로 보호된다. 이 발명은 유기소재의 고순도화를 위해 이온성 액체를 이용해 유기소재를 정제하거나, 정제된 유기소재의 표면을 이온성 액체로 코팅해, 표면에 보호층을 형성함으로써, 정제된 유기소재를 대기 중에서도 간편하게 안정화시킬 수 있는 장점이 있다. 즉, 이 발명은 정제된 유기소재를 수분의 영향으로부터 차단할 수가 있고, 그로 인해 유기소재를 대기 중에서 핸들링하는데 있어 매우 간편하다는 장점이 있다.
    • 在本发明的有机材料中,纯化的有机材料的表面被离子液体,源自离子液体的成分或构成离子液体的离子保护。 本发明的优点是通过使用有机材料的高纯度的离子液体,或者用离子液体涂覆表面,即使在大气中纯化有机材料也能稳定纯化的有机材料,从而形成 纯化有机材料表面的保护层。 也就是说,本发明具有将纯化的有机材料从水分作用中阻断的优点,从而使得有机材料在大气中非常方便地被处理。
    • 10. 发明申请
    • 이온성 액체를 이용한 유기소재 정제방법 및 정제장치
    • 通过使用离子液体净化有机材料的方法和装置
    • WO2015122686A1
    • 2015-08-20
    • PCT/KR2015/001378
    • 2015-02-11
    • 한국생산기술연구원
    • 김태원
    • H01L51/56
    • H01L51/0025B01D7/00B01D9/005B01D2009/0086C07C209/84C07C211/54H01L51/0058H01L51/006H01L51/5056H01L51/56
    • 이 발명의 이온성 액체를 이용한 유기소재 정제방법은, 불순물이 함유된 유기소재를 승화시키는 승화단계(S510)와, 상기 유기소재의 승화기체와 유동하는 이온성 액체를 접촉시켜 상기 승화기체를 포집하는 포집단계(S520), 및 상기 이온성 액체에 포집되어 용해되는 상기 승화기체 중 정제대상 유기소재를 우선 과포화시켜 재결정화된 유기소재를 생성하는 재결정화단계(S530)로 구성된다. 이 발명은 승화단계에서 발생한 승화기체를 운반시켜 역승화시키는 공정이 불필요하여, 종래의 승화 정제법에서 사용하던 불활성 운반 기체로 인한 정제시료의 오염문제를 원천적으로 봉쇄하는 장점이 있다.
    • 本发明的使用离子液体来提纯有机材料的方法包括:升华含有杂质的有机材料的升华工序(S510) 捕获步骤(S520),通过与升华气体和流动的离子液体接触来捕获有机材料的升华气体; 以及通过首先在待溶解的离子液体中捕获的升华气体中使待净化的有机材料过饱和来产生再结晶有机材料的再结晶步骤(S530)。 本发明不需要输送在升华步骤中产生的升华气体以使其升华的步骤,因此具有从根本上阻止由于使用的惰性载气导致的净化样品的污染问题的优点 在常规升华纯化方法中。