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    • 4. 发明申请
    • 플라즈마 수소화 반응 장치
    • 等离子体加氢装置
    • WO2012157871A2
    • 2012-11-22
    • PCT/KR2012/003476
    • 2012-05-03
    • (주)그린사이언스홍용철이봉주신동훈
    • 홍용철이봉주신동훈
    • B01J19/088B01J19/2405B01J2219/0883C01B33/107
    • 플라즈마 수소화 반응 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 수소화 반응 장치는, 기 설정된 주파수의 전자파를 발진하는 전자파 공급부; 상기 전자파 공급부로부터 공급된 상기 전자파 및 수소가스 또는 수소를 포함하는 혼합가스로부터 플라즈마가 발생되는 방전관; 상기 방전관에 상기 수소가스 또는 상기 수소를 포함하는 혼합가스를 소용돌이 형태로 주입하는 가스 공급부; 상기 방전관 내부에서 생성된 상기 플라즈마에 Si-Cl계 화합물을 공급하는 반응물 공급부; 발생된 상기 플라즈마에 의하여 해리된 수소 원자 또는 수소 이온과 상기 Si-Cl계 화합물간의 반응에 의하여 Si-H-Cl계 화합물이 생성되는 반응로; 및 상기 반응로에서 생성된 상기 Si-H-Cl계 화합물을 배출하는 생성물 배출부를 포함한다.
    • 公开了一种等离子体加氢装置。 根据本发明的一个实施例,等离子体加氢装置包括:用于振荡预设频率的电磁波的电磁波提供部分; 用于从电磁波供应部分提供的电磁波产生等离子体的放电管和含氢气的混合气体; 气体供给部,用于将氢气或含有氢气的混合气体向所述放电管中进行稀释; 用于向在放电管内产生的等离子体供给Si-Cl系化合物的反应物供给部; 其中通过由产生的等离子体分解的氢原子或离子与Si-Cl系化合物的反应而产生Si-H-Cl系化合物的反应器; 以及用于排出在反应器处产生的Si-H-Cl系化合物的产物排出部分。
    • 5. 发明申请
    • 액상 매질 플라즈마 방전 발생장치
    • 液体中等离子放电发生装置
    • WO2011027973A2
    • 2011-03-10
    • PCT/KR2010/004789
    • 2010-07-21
    • 한국기초과학지원연구원석동찬노태협유승열홍용철이봉주
    • 석동찬노태협유승열홍용철이봉주
    • H05H1/34
    • H05H1/2406H05H2001/2412
    • 본 발명은 액상매질 플라즈마 방전 발생장치에 관한 것으로, 파워 전극과 접지 전극 간의 간극에 액상매질를 채우고 간극의 중간에 한 개 또는 다수의 구멍이나 슬릿이 형성된 유전체 격막 부재를 배치함으로써, 전도 전류량을 최소화하여 적은 전력량으로도 높은 전기장을 인가시킬 수 있는 미세관 액상매질 플라즈마 방전 발생장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 본체; 상기 본체 내부 일측에 구비되고, 전력을 제공받는 파워 전극; 상기 본체 내에 구비되고, 하나 이상의 구멍이나 슬릿(slit)이 형성되는 유전체로 이루어지는 격막 부재; 및 상기 본체 내부에 충전되는 액상 매질을 포함하고, 상기 본체 내에서 상기 격막 부재를 사이에 두고 상기 파워 전극과 대향하는 접지 전극을 더 포함할 수 있으며, 이 경우 상기 격막 부재는 상기 접지 전극에 접하여 배치된다.
    • 液体介质等离子体放电发生装置技术领域本发明涉及一种液体介质等离子体放电发生装置,其目的在于提供一种微管液体介质等离子体放电发生装置,其能够通过使传导电流最小化而使低功率的电场通过将液体介质 功率电极和接地电极之间的间隙,并且在间隙的中间布置限定一个或多个孔或狭缝的电介质膜构件。 为了实现上述目的,本发明提供一种液体介质等离子体放电产生装置,包括:主体; 电源电极,设置在主体内的一侧,用于接收电力; 隔膜构件,设置在主体内,并由限定一个或多个孔或狭缝的电介质构成; 以及填充在主体内部的液体介质,其中,可以在主体中进一步设置接地电极,与功率电极相对,隔膜构件在其间,隔膜构件与接地电极接触。
    • 7. 发明申请
    • 전자파 플라즈마 토치
    • 电磁波等离子炬
    • WO2018009027A1
    • 2018-01-11
    • PCT/KR2017/007308
    • 2017-07-07
    • 한국기초과학지원연구원주식회사 엔팩
    • 홍용철
    • H05H1/26
    • H05H1/26
    • 본 발명에 따른 전자파 플라즈마 토치는 플라즈마 발생부; 플라즈마 발생부로 마이크로웨이브를 전송하는 마이크로웨이브 발생부; 및 플라즈마 발생부에 플라즈마 소스 가스를 주입하는 플라즈마 소스 가스 주입부; 플라즈마 발생부로 마이크로웨이브를 전송하기 위한 마이크로웨이브 전송라인; 및 플라즈마 발생부에 구비되어, TE 10 모드의 마이크로웨이브 전송라인 종단부에 구비되어 자기장을 유도하고, 유도된 자기장이 중심부에 전기장을 유도하여 플라즈마를 발생시키는 TM 0m0 모드로 변환하는 원형 공진기; TE 10 모드, TM 0m0 모드, 및/또는 동축모드의 상호작용에 의해 발생된 플라즈마가 전자파를 모두 흡수하여 손실(loss)없이 플라즈마 발생이 가능하도록 TM 01 모드의 원형 도파관을 포함하여, 자연점화가 가능해 무전극 플라즈마 발생으로 전극 교체와 전극 오염 물질 제거와 같은 유지보수에 따른 번거로움을 해소할 수 있는 효과가 있다. (대표도) 도 5
    • 根据本发明的电磁等离子体焰炬包括等离子体发生器; 微波发生单元,用于将微波发送到等离子体发生单元; 以及等离子体源气体注入单元,用于将等离子体源气体注入等离子体生成单元中; 微波传输线,用于将微波传输到等离子体产生单元; 并且在等离子体产生部,TE <子> 10 模式微被提供给的感应磁场和感应磁场产生等离子体诱导TM的心脏的电场波传输线终止部分<子 > 0m0 模式; TE <子> 10 模式,TM <子> 0m0 模式,和/或等离子体可以是一个等离子体产生吸收所有的电磁波的无损耗由同轴模式的相互作用产生的(损失), 从而存在一种能够解决在按照维护,如TM <子> 01 的麻烦的效果,包括圆形波导的模式,自然点火是由电极产生的可能的无电极等离子替换,以去除污染物的电极 。 (代表)图5
    • 10. 发明申请
    • 전자파 플라즈마 토치
    • 电磁波等离子弧焊
    • WO2015142091A1
    • 2015-09-24
    • PCT/KR2015/002702
    • 2015-03-19
    • 한국기초과학지원연구원
    • 홍용철
    • H05H1/26H05H1/30
    • B01J19/088B01J2219/0805B01J2219/0894H05H1/30
    • 본 발명은 전자파 플라즈마 토치에 관한 것이고, 특히 대용량의 전자파 플라즈마 토치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전자파 플라즈마 토치는, 플라즈마 발생부; 상기 플라즈마 발생부로 마이크로웨이브를 전송하는 마이크로웨이브 발생부; 및 상기 플라즈마 발생부로 플라즈마 소스 가스를 주입하는 플라즈마 소스 가스 주입부를 포함하며, 상기 마이크로웨이브 발생부는 상기 플라즈마 발생부로 마이크로웨이브를 전송하기 위한 도파관을 포함하고, 상기 플라즈마 발생부는 방전관을 포함하고, 상기 방전관은 상기 도파관에 수직으로 관통하고 있으며, 상기 마이크로웨이브 발생부로부터 발진되는 특정 주파수의 전자파의 전송을 위한 도미넌트 모드(dominant mode)의 도파관의 폭이 a인 경우, 상기 도파관의 폭은 na(n은 2이상의 정수)이다.
    • 本发明涉及一种电磁波等离子体焰炬,更具体地说,涉及一种高容量电磁波等离子体焰炬。 根据本发明的实施例的电磁波等离子体焰炬包括:等离子体产生单元; 微波发生单元,用于向等离子体发生单元发送微波; 以及用于将等离子体源气体注入等离子体产生单元的等离子体源气体注入单元,其中微波产生单元包括用于将微波传输到等离子体产生单元的波导,等离子体产生单元包括垂直穿过波导的放电管 ,当从微波发生单元振荡的用于发送特定频率的电磁波的主导方式的波导的宽度为a时,波导的宽度为na(n为大于或等于2的整数)。