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    • 1. 发明申请
    • 자외선 차단 및 경도 및 내마모성이 향상된 폴리카보네이트
    • 聚碳酸酯阻隔超声波,具有改进的硬度和耐磨性
    • WO2014126388A1
    • 2014-08-21
    • PCT/KR2014/001161
    • 2014-02-12
    • 한국기초과학지원연구원
    • 김영우김대철유석재한승희문선우김성민
    • C23C14/35C23C14/06
    • C23C14/35C23C14/0036C23C14/0641
    • 본 발명에 따른 폴리카보네이트 소재의 표면 경도 및 내마모성 향상을 위한 알루미늄-실리콘-질화막 증착 장치는 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착을 위한 진공조, 마그네트론 스퍼터링의 증착원에 장착된 알루미늄과 실리콘 스퍼터링 타켓에 직류 또는 펄스직류 전력을 인가하기 위한 펄스직류 전원장치, 증착원에 장착된 스퍼터링 타겟에 의해 발생되는 플라즈마, 진공조 내부에 인입되어 가스를 플라즈마화 하기 위한 RF 안테나, 진공조 내부에서 증착되는 시료를 장착하기 위한 전도성 시료 장착대, RF 안테나로 전원을 공급하는 RF전원장치, 진공조 내부의 고진공을 유지하기 위한 고진공용 터보 펌프, 진공조의 내부의 진공도를 계측하는 진공 게이지, 및 플라즈마 발생에 이용되는 아르곤(Ar)과 질소(N 2 )가스의 유량을 조절하는 가스유량 조절부를 포함하여, 표면 경도 및 내마모성을 향상시키는 효과가 있다.
    • 根据本发明的用于提高聚碳酸酯材料的表面硬度和耐磨性的铝 - 氮化硅膜沉积设备包括:用磁控溅射沉积薄膜的真空槽; 用于向安装在磁控溅射沉积源上的铝和硅溅射靶施加直流或脉冲直流电的脉冲直流电源; 由安装在沉积源上的溅射靶产生的等离子体; 将RF天线插入真空槽的内部以使气体均匀化; 用于安装沉积在真空槽内部的样品的导电样品安装板; RF电源,用于向RF天线提供电源; 用于在真空槽内保持高真空的高真空涡轮泵; 用于测量真空槽内部的真空度的真空计; 以及用于控制用于制造等离子体的氩(Ar)和氮(N 2)气体的流量的气体流量控制单元; 因此,该装置具有提高表面硬度和耐磨性的效果。
    • 2. 发明公开
    • 폴리카보네이트의 내마모성 및 자외선에 대한 내후성 향상을 위한 코팅막 증착 방법 및 이 방법에 의한 코팅막이 증착된 폴리카보네이트
    • 沉积涂膜的方法,用于改善聚碳酸酯和具有沉积涂膜的聚碳酸酯的耐磨性和耐候性的方法
    • KR1020150030366A
    • 2015-03-20
    • KR1020130109509
    • 2013-09-12
    • 한국기초과학지원연구원
    • 김영우김대철유석재한승희김성민
    • C23C14/35C23C14/06
    • C23C14/352C23C14/0036C23C14/0641
    • 본 발명은 폴리카보네이트 소재의 경도가 낮고 마모량이 높으며, 자외선에 의한 열화 및 변색 현상이 발생하는 것을 보완하기 위한 목적으로 고안된 것으로, 폴리카보네이트 표면에 수소화된 실리콘 질화막을 증착하고 그 위에 알루미늄-실리콘-질화막을 증착하여 경도를 증가시키고 마모량을 감소시키며, 자외선 차단 특성 향상을 위한 박막 증착 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
      즉, 박막 증착을 위한 증착원으로 사용되고 있는 마그네트론 증착원에 알루미늄, 실리콘 스퍼터링 타겟을 장착하고, 공정시 증착 장치 내에 질소 가스와 수소 가스를 인입하여 폴리카보네이트 기판 표면에 자외선 차단 목적의 수소화된 실리콘 질화막을 증착하고, 그 위에 고경도의 알루미늄-실리콘-질화막을 증착하는 방법으로써, 온도 차이에 의한 균열을 방지하고, 막을 투명하게 증착하여 차량용 유리를 대체하기 위해 폴리카보네이트에 경도 및 내마모성, 자외선 내후성 향상을 구현하고자 하는 것이다.
    • 本发明的目的是补偿硬度低,磨损量高,并且在聚碳酸酯材料中产生由紫外线引起的降解和变色。 本发明涉及一种沉积能够提高紫外线阻断性能的薄膜的方法,并且通过在聚碳酸酯的表面上沉积氢化氮化硅膜来提高硬度和降低磨损量,并且沉积铝 - 硅 氮化膜; 及其装置。 换句话说,将铝硅溅射靶安装在用作沉积薄膜的沉积源的磁控管沉积源上,并且在工艺期间将氮气和氢气插入沉积设备中,从而将氢化氮化硅膜 用于阻挡紫外线的方法沉积在聚碳酸酯基材的表面上,并且在其顶部沉积具有高硬度的铝 - 氮化硅膜。 本发明具有提高紫外线耐候性和聚碳酸酯硬度和耐磨性的作用,以防止由于温度差导致的裂纹,并且通过沉积透明膜来替代车辆用玻璃。
    • 5. 发明公开
    • 폴리카보네이트 소재의 표면 경도 및 내마모성 향상을 위한 알루미늄-실리콘-질화막 증착방법 및 그 장치
    • 方法和装置形成用于增强聚碳酸酯表面硬度和耐磨性的氮化铝硅酸盐层的方法和装置
    • KR1020140102345A
    • 2014-08-22
    • KR1020130014911
    • 2013-02-12
    • 한국기초과학지원연구원
    • 김영우김대철유석재한승희문선우김성민
    • C23C14/35C23C14/06
    • According to the present invention, an apparatus for depositing an aluminum-silicone nitride layer for improving the wear resistance and the surface hardness of a polycarbonate material comprises a vacuum vessel for depositing a thin film by using magnetron sputtering; a pulse direct current power device for applying direct current or pulse direct current power to an aluminum and silicon sputtering target mounted on a deposition source of the magnetron sputtering; plasma generated by the sputtering target mounted on the deposition source; an RF antenna inserted into the inside of the vacuum vessel for making gas plasma; a conductivity sample mounting stand for mounting a sample deposited inside the vacuum vessel; an RF power device for supplying power to the RF antenna; a turbo pump for a high vacuum to maintain a high vacuum inside the vacuum vessel; a vacuum gauge for measuring the degree of a vacuum inside the vacuum vessel; and a gas flux controlling part for controlling the flux of argon (Ar) and nitrogen (N_2) gas used for generation of the plasma. Therefore, the present invention has an effect of improving the wear resistance and the surface hardness.
    • 根据本发明,用于沉积铝 - 氮化硅层以提高聚碳酸酯材料的耐磨性和表面硬度的装置包括:用磁控溅射沉积薄膜的真空容器; 用于向安装在磁控溅射的沉积源上的铝和硅溅射靶施加直流或脉冲直流电的脉冲直流电力装置; 由安装在沉积源上的溅射靶产生的等离子体; 插入真空容器内部以产生气体等离子体的RF天线; 用于安装沉积在真空容器内的样品的电导率样品安装台; RF功率器件,用于向RF天线供电; 用于高真空的涡轮泵,以在真空容器内保持高真空; 用于测量真空容器内的真空度的真空计; 以及用于控制用于产生等离子体的氩(Ar)和氮(N_2)气体的通量的气体通量控制部。 因此,本发明具有提高耐磨性和表面硬度的效果。