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    • 7. 发明申请
    • 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
    • 滚印机接触位移控制装置
    • WO2018070802A1
    • 2018-04-19
    • PCT/KR2017/011243
    • 2017-10-12
    • 한국기계연구원재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
    • 장봉균김재현김경식황보윤김광섭최병익이학주이승모
    • B41F33/00B41F16/00B41F17/14
    • 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치는, 기판의 전사면 상에 배치되어 상기 기판의 이송속도와 대응되는 속도로 회전하는 롤 스탬프; 상기 롤 스탬프에 장착되어 상기 롤 스탬프의 높이를 조절하는 높이조절부; 상기 기판이 접근하는 롤 스탬프의 전방에 배치되고, 상기 기판의 전사면에 존재하는 하부 전사점까지의 표면거리와, 상기 롤 스탬프가 회전되면서 상기 하부 전사점과 만나는 상기 롤 스탬프의 상부 전사점까지의 측부거리를 각각 측정하는 센서부; 및 상기 측부거리를 이용하여 상기 롤 스탬프의 축 중심으로부터 상기 상부 전사점까지의 반경거리를 산출하고, 상기 하부 전사점과 상기 상부 전사점이 서로 만나는 시점에 상기 표면거리와 상기 반경거리의 차이인 접촉변위만큼 상기 롤 스탬프의 높이가 조절되도록 상기 높이조절부를 제어하는 제어부;를 포함한다.
    • 根据本发明的一个实施例的辊印模接触位移控制装置,被设置在对应于所述基板的进料速率的速度旋转基片卷印模的转印表面上; 高度调节器,安装在辊印模上以调节辊印模的高度; 被设置在所述基板的访问,并从下转移点的表面距离存在于基板的转印表面上,直到上部转移点的辊的邮票前滚动冲压作为与下转移点相交的滚动冲压旋转 传感器单元,用于测量传感器单元的侧面距离; 并且通过使用所述侧面距离来计算从所述辊印模的所述轴心到所述上转印点的径向距离,并且在所述下转印点和所述上转印点相遇的时间点, 并且控制单元控制高度调节单元,从而通过位移来调节辊印模的高度。

    • 9. 发明申请
    • 마이크로 소자 전사방법 및 마이크로 소자 전사방법으로 제조된 마이크로 소자 기판
    • 采用微器件转移法和微器件转移法制造的微器件衬底
    • WO2018038481A1
    • 2018-03-01
    • PCT/KR2017/009082
    • 2017-08-21
    • 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
    • 황보윤최병익김재현정연우홍성민장봉균김광섭김경식이학주
    • H01L21/768H01L21/18H01L21/52H01L21/677H01L21/60
    • 본 발명은 마이크로 소자 전사방법에 관한 것으로서, 가압단계와, 제 1 점착력 형성단계와, 제 2 점착력 형성단계와, 이형단계를 포함한다. 가압단계는 점착층에 마이크로 소자가 부착된 캐리어 필름과, 금속전극 위에 솔더가 도포된 기판을 접촉시켜 가압한다. 제 1 점착력 형성단계는 가압단계에 의해 마이크로 소자와 금속전극 사이에 배치된 솔더가 눌리면서 마이크로 소자와 솔더 간의 제 1 점착력이 형성된다. 제 2 점착력 형성단계는 가압단계에 의하여 마이크로 소자가 점착층에 압입되어 접합되면서 마이크로 소자와 점착층 간의 제 2 점착력이 형성된다. 이형단계는 마이크로 소자가 솔더에 점착된 상태로 캐리어 필름을 기판으로부터 이형시킨다. 제 2 점착력의 크기는 마이크로 소자가 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례하고, 제 2 점착력이 제 1 점착력보다 작게 형성되는 범위 내에서 점착층에 대한 마이크로 소자의 압입깊이가 형성된다.
    • 本发明包括,加压步骤,一第一形成步骤和粘合强度,粘合强度,以形成一个第二步骤中,释放步骤涉及一种微型器件的转移方法。 在压制步骤中,其上附着有微型器件的载体膜和其上涂覆有焊料的基板被压在粘合剂层上。 第一粘合力形成步骤焊料nulrimyeonseo微元件和设置在所述微装置并通过所述按压工序的金属电极之间的焊料之间形成的第一粘合强度。 在第二粘合力形成步骤中,在通过压制步骤将微元件压配到粘合层中的同时形成微元件和粘合层之间的第二粘合力。 释放步骤使微装置粘附到焊料上,从基底释放载体膜。 的第二粘合强度的大小正比于压痕深度是微器件被压入粘合剂层,并且所述第二压在微元件,用于压敏粘合剂层,所述粘合强度更小的形状比第一粘合强度,形成的程度的深度。