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1. 发明授权

KR101102012B1 부분경화를 이용한 미세구조 형성방법 失效
标题翻译：使用部分固化形成精细结构的方法
公开(公告)号：KR101102012B1
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：KR1020100107872
申请日：2010-11-01
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김재관 , 박성제 , 김사라 , 김기돈 , 이지혜 , 최준혁 , 최대근 , 서갑양 , 정준호
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0275 , G03F7/2012
摘要： PURPOSE: A fine structure formation method which uses a partial hardening process is provided to attach a target material by partial hardening a hardening polymer, thereby easily arranging various shapes of fine structures on a wide substrate. CONSTITUTION: A polymer pattern which includes a partial hardening layer is arranged on a first base substrate(S1). The first base substrate is installed in a target substrate in which a target material is coated in order to mutually connect the target material and partial hardening layer(S2). The partial hardening layer is completely hardened in order to attach the target material to the partial hardening layer(S3). The first base substrate is separated from the target substrate(S4).
摘要翻译：目的：提供使用局部硬化处理的精细结构形成方法，通过部分硬化固化聚合物来附着目标材料，从而容易地在宽的基板上排列各种形状的精细结构。构成：包括部分硬化层的聚合物图案设置在第一基底（S1）上。为了使目标材料和部分硬化层（S2）相互连接，将第一基板安装在目标基板中，在其中涂覆目标材料。为了将目标材料附着到部分硬化层，部分硬化层被完全硬化（S3）。第一基底与目标基底分离（S4）。

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