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1. 发明申请

WO2013054960A1 헬리콘 플라즈마 장치 审中-公开
标题翻译： HELICON等离子体设备
公开(公告)号：WO2013054960A1
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：PCT/KR2011/007647
申请日：2011-10-14
申请人： 한국과학기술원 , 장홍영 , 안상혁
发明人： 장홍영 , 안상혁
IPC分类号： H05H1/46 , H01L21/18
CPC分类号： H01J37/32128
摘要： 본 발명은 헬리콘 플라즈마 장치를 제공한다. 이 장치는 진공 챔버에 장착된 복수의 유전체 튜브들, 각각의 유전체 튜브들의 둘레에 배치된 안테나들, 안테나들과 수직하게 이격되어 배치된 토로이드 형태의 영구자석들, 영구 자석들의 일부 또는 전부를 고정하고 고정된 영구 자석들이 배치되는 배치 평면을 수직하게 이동시키는 이동부, 및 안테나들에 전력을 공급하는 RF 전원을 포함한다. 이동부를 이용하여 상기 안테나와 상기 영구 자석 사이의 수직 거리는 조절된다.
摘要翻译：本发明涉及一种螺旋等离子体装置。螺旋等离子体装置包括：安装在真空室上的多个电介质管; 设置在每个电介质管周围的天线; 具有环形形状且与天线垂直间隔开的永磁体; 固定一部分或全部永磁体以使垂直移动固定永久磁铁的平面的移动部分; 以及用于向天线供电的RF电源。可以使用移动部件来调整天线和永磁体之间的垂直距离。

2. 发明申请

WO2012157844A1 플라즈마 발생 장치 审中-公开
标题翻译：等离子体生成装置
公开(公告)号：WO2012157844A1
公开(公告)日：2012-11-22
申请号：PCT/KR2012/002179
申请日：2012-03-26
申请人： 한국과학기술원 , 장홍영 , 안상혁 , 이진원
发明人： 장홍영 , 안상혁 , 이진원
IPC分类号： H05H1/46 , H03H7/40
CPC分类号： H05H1/24 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
摘要： 본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 진공 용기, 진공 용기를 형성된 관통홀에 연결된 복수의 유전체들， 유전체들 각각의 주위에 배치되고 전기적으로 병렬 연결된 동일한 구조의 복수의 RF 코일들， RF 코일들에 전력을 공급하는 RF 전원， RF 전원과 RF 코일들 사이에 배치된 임피던스 매칭 회로， 및 임피던스 매칭 회로와 RF 코일들의 일단 사이에 배치되어 RF 전원의 전력을 RF 코일들에 분배하는 전력 분배부를 포함한 다. 전력 분배부는 전원 분배라인; 및 전원 분배라인을 감싸고 있는 도전성 외피를 포함한다. 전력 분배부의 입력단과 상기 RF 코일들 사이의 거리가 동일하고， RF 코일들의 타단은 도전성 외피에 연결되어 접지된다.
摘要翻译：本发明提供一种等离子体产生装置。所述等离子体产生装置包括：真空容器; 多个电介质，其连接到形成在真空容器中的通孔; 多个具有相同结构的RF线圈，其设置在每个电介质附近并且并联电连接; RF电源，其向RF线圈供电; 阻抗匹配电路，设置在RF电源和RF线圈之间; 以及布置在所述阻抗匹配电路和所述RF线圈的一端之间的配电单元，并且将所述RF电源的功率分配给所述RF线圈。配电单元包括配电线和封闭配电线的导电外盖。配电单元的输入端与RF线圈之间的距离相同，RF线圈的另一端与导电外罩连接，使另一端接地。

3. 发明授权

KR101196309B1 플라즈마 발생 장치 有权
标题翻译：等离子体发生装置
公开(公告)号：KR101196309B1
公开(公告)日：2012-11-06
申请号：KR1020110047538
申请日：2011-05-19
申请人： 한국과학기술원
发明人： 장홍영 , 안상혁 , 이진원
IPC分类号： H05H1/46 , H01F27/28 , H03H7/40
CPC分类号： H05H1/24 , H01J37/321 , H01J37/32174 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
摘要： PURPOSE: A plasma generation apparatus is provided to uniformly generate inductively coupled plasma by equally distributing power to all RF coils which are connected in parallel. CONSTITUTION: A RF power source distributes power to 16 RF coils connected in parallel through a power dividing part(442). The power dividing part includes a power distribution line and a conductive outer cover(443) which surrounds the power distribution line. The power dividing part has a coaxial cable shape. One ends of the RF coils are connected to the power distribution line through a first connection means(444a). The other ends of the RF coils are connected to the conductive outer cover through a second connection means(444b).
摘要翻译：目的：提供等离子体产生装置，通过对并联连接的所有RF线圈均等分配电力来均匀地产生电感耦合等离子体。规定：RF电源通过功率分配部分（442）将功率分配到并联的16个RF线圈。功率分配部分包括配电线路和围绕配电线路的导电外壳体（443）。功率分配部分具有同轴电缆形状。 RF线圈的一端通过第一连接装置（444a）连接到配电线路。 RF线圈的另一端通过第二连接装置（444b）连接到导电外盖。

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