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1. 发明授权

KR101417274B1 연마패드 및 그 제조방법 有权
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR101417274B1
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120054523
申请日：2012-05-23
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 장영준 , 정진수 , 이상목 , 송기천 , 김승근 , 서장원 , 추정선 , 강학수 , 공경표
IPC分类号： B24D11/00 , B24D3/16
CPC分类号： B24B37/24 , B24B37/26 , B24D11/001 , B24D11/003 , B24D18/00
摘要： 본 발명은 연마패드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 연마층 형성 물질을 혼합시키고 화학적 반응에 의해 고상화시켜 연마 패드를 제조하는 방법은, 유기물을 물리적 방법으로 분쇄하여 미세 유기 입자로 형성시키는 단계와; 상기 단계에서 형성된 미세 유기 입자를 상기 연마층 형성 물질에 혼합시키는 단계와; 상기 단계의 혼합물에 포어 사이즈 컨트롤이 가능한 불활성 기체, 캡슐형 발포제, 화학적 발포제 중 적어도 어느 하나를 혼합하여, 기상 포어를 형성하는 단계와; 상기 단계를 통해 생성된 혼합물을 겔화 및 경화시켜 연마층을 제조하는 단계와; 상기 연마층을 가공하여 표면에 기상 포어의 개방에 의한 기공들을 분포시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

2. 发明公开

KR1020130095430A 연마패드 및 그 제조방법 无效
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130095430A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：KR1020120016845
申请日：2012-02-20
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 장영준 , 이상목 , 정휘국 , 송기천 , 김승근 , 서장원 , 추정선
IPC分类号： B24D3/10 , C09K3/14 , C09C1/68
CPC分类号： B24D3/32 , B24B37/24 , B24D3/34 , B24D11/003
摘要： PURPOSE: A polishing pad and a manufacturing method thereof are provided to maximize a polishing performance and a flattening performance with collecting and using polishing slurry in a chemical mechanical planarization/chemical mechanical polishing (CMP) process. CONSTITUTION: A manufacturing method of a polishing pad (100) includes: a step (a) of forming a mixture of materials for forming a polishing layer; a step (b) of forming at least two kinds of porous pores with mixing the mixture with at least two of inert gas, a capsule type foaming agent, a chemical foaming agent, and a liquid microelement which are capable of respectively controlling pore sizes; a step (c) of manufacturing the polishing layer (120) having the porous pores with gelling and curing a mixture from the step of forming the porous pores; and a step (d) of processing the polishing layer, and then distributing pores due to opening the porous pores on the surface of the polishing layer.
摘要翻译：目的：提供抛光垫及其制造方法，以通过在化学机械平面化/机械抛光（CMP）工艺中收集和使用抛光浆料来最大化抛光性能和平坦化性能。构成：抛光垫（100）的制造方法包括：形成用于形成研磨层的材料的混合物的工序（a）将混合物与能够分别控制孔径的惰性气体，胶囊型发泡剂，化学发泡剂和液体微量元素中的至少两种混合形成至少两种多孔孔的步骤（b）制造具有多孔孔的抛光层（120）的步骤（c），其从形成多孔孔的步骤凝胶化和固化混合物; 以及处理抛光层的步骤（d），然后由于在抛光层的表面上打开多孔孔而分配孔。

3. 发明授权

KR101080572B1 연마 패드 및 그 제조방법 有权
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR101080572B1
公开(公告)日：2011-11-04
申请号：KR1020090092344
申请日：2009-09-29
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 강경문 , 이상목 , 정휘국 , 송기천 , 김승근 , 서장원
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본발명은연마패드및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따른피연마대상의표면과접촉하여이동함으로써연마공정을수행하는연마패드는, 상기연마패드는연마층을포함하여구성되고, 상기연마층은폴리알킬렌글리콜을함유하는친수성폴리머매트릭스(이하 '폴리알킬렌글리콜함유친수성폴리머매트릭스'라함)와, 상기폴리알킬렌글리콜함유친수성폴리머매트릭스내의일정영역을차지하는액상미소요소들을포함하여구성되며, 상기연마층표면에는상기액상미소요소들의누출에의해개방되는기공들이분포하는것을특징으로한다.

4. 发明公开

KR1020110034874A 연마 패드 및 그 제조방법 有权
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR1020110034874A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：KR1020090092344
申请日：2009-09-29
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 강경문 , 이상목 , 정휘국 , 송기천 , 김승근 , 서장원
IPC分类号： H01L21/304
摘要： PURPOSE: A polishing pad and a manufacturing method thereof are provided to improve a polishing rate by reducing pad stabilizing time through a hydrophilic polymer matrix with polyalkylene glycol. CONSTITUTION: A support layer(110) is loaded on a head facing a platen and is made of materials with stability to correspond to a force for pressurizing a silicon wafer. A polishing layer(120) is formed on the support layer and is comprised of a hydrophilic polymer matrix(130) including polyalkylene glycol and an embedded liquid micro element(140). A plurality of micro pores(140') are uniformly arranged on the surface(160) of the polishing layer.
摘要翻译：目的：提供抛光垫及其制造方法，以通过使用聚亚烷基二醇通过亲水性聚合物基质减少垫的稳定时间来提高抛光速率。构成：支撑层（110）被装载在面向压板的头部上，并由具有稳定的材料制成，以对应于用于加压硅晶片的力。抛光层（120）形成在支撑层上并由包括聚亚烷基二醇和嵌入液体微元件（140）的亲水性聚合物基质（130）组成。多个微孔（140'）均匀地布置在抛光层的表面（160）上。

5. 发明公开

KR1020120086937A 연마 패드 및 그 제조방법 有权
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120086937A
公开(公告)日：2012-08-06
申请号：KR1020110008302
申请日：2011-01-27
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 강경문 , 이상목 , 정휘국 , 송기천 , 김승근 , 서장원
IPC分类号： B24D3/02 , B24D18/00 , B24B37/04
CPC分类号： B24D18/00 , B24D3/28 , C09K3/1454 , H01L21/304
摘要： PURPOSE: A grinding pad and a manufacturing method thereof are provided to prevent COF(Coefficient of Friction) from decreasing due to initial liquid microelements by rapidly collecting slurry. CONSTITUTION: A method for manufacturing a grinding pad(100) is as follows. Initial liquid microelements(150) are mixed with the matter for forming a polymer matrix. The mixture is gelled and cured such that a grinding layer, which contains embedded liquid micro elements is formed. Surfactants are spread or transferred on one side surface of the grinding layer.
摘要翻译：目的：提供研磨垫及其制造方法，以通过快速收集浆料来防止COF（摩擦系数）由于初始液体微量元素而降低。构成：用于制造研磨垫（100）的方法如下。将初始液体微量元素（150）与形成聚合物基质的物质混合。将混合物凝胶化并固化，从而形成包含嵌入液体微量元素的研磨层。表面活性剂在研磨层的一个侧表面上展开或转移。

6. 发明授权

KR101225436B1 연마 패드 및 그 제조방법 有权
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR101225436B1
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110008302
申请日：2011-01-27
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 강경문 , 이상목 , 정휘국 , 송기천 , 김승근 , 서장원
IPC分类号： B24D3/02 , B24D18/00 , B24B37/04
摘要： 본 발명은 연마 패드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 피연마 대상의 표면과 접촉하여 이동함으로써 연마 공정을 수행하는 연마 패드의 제조방법은, 폴리머 매트릭스 형성용 물질에 액상 미소 요소를 혼합하는 단계와; 상기 단계를 통해 생성된 혼합물을 겔화 및 경화시켜 임베디드된 액상 미소요소들을 구비한 연마층을 제조하는 단계와; 상기 단계에서 제조된 연마층의 적어도 한쪽 표면에 계면 활성제를 도포 또는 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

7. 发明公开

KR1020150024296A 연마패드 제조방법 审中-实审
标题翻译：抛光垫的制造方法
公开(公告)号：KR1020150024296A
公开(公告)日：2015-03-06
申请号：KR1020140169787
申请日：2014-12-01
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 장영준 , 이상목 , 정휘국 , 송기천 , 김승근 , 서장원 , 추정선
IPC分类号： B24D3/10 , B24D11/00 , C09K3/14 , C09C1/68
摘要： 본 발명은 연마패드 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 연마패드의 제조방법은, 연마층 형성 물질의 혼합물에 포어 사이즈 컨트롤이 각각 가능한 불활성 기체와, 물리적 발포제를 혼합하여, 두 종류 이상의 다공성 포어를 형성하는 단계와; 상기 단계를 통해 생성된 혼합물을 겔화 및 경화시켜 상기 두 종류 이상의 다공성 포어를 포함하는 연마층을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种抛光垫的制造方法。根据本发明，抛光垫的制造方法包括以下步骤：通过混合惰性气体和物理发泡剂来形成两种或更多种类型的多孔孔，所述惰性气体和物理发泡剂分别能够控制形成抛光层; 以及通过使由所述台阶产生的混合物凝胶化和硬化来制造包括两种或更多种类型的多孔孔的抛光层。

8. 发明公开

KR1020140028089A 연마패드 제조방법 无效
标题翻译：抛光垫的制造方法
公开(公告)号：KR1020140028089A
公开(公告)日：2014-03-07
申请号：KR1020140006488
申请日：2014-01-20
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 장영준 , 이상목 , 정휘국 , 송기천 , 김승근 , 서장원 , 추정선
IPC分类号： B24D3/10 , B24D11/00 , C09K3/14 , C09C1/68
CPC分类号： B24D11/001 , B24D3/32
摘要： The present invention relates to a manufacturing method of a polishing pad. The manufacturing method of a polishing pad according to the present invention includes a step of forming two or more kinds of pores of porous by mixing the mixture of polishing layer-forming materials with an inert gas and a physical blowing agent, of which the pores of porous are size-controllable; and a step of forming a polishing layer including the two or more kinds of pores of porous by gelating and hardening the mixture formed by the previous step.
摘要翻译：抛光垫的制造方法技术领域本发明涉及抛光垫的制造方法。根据本发明的抛光垫的制造方法包括通过将抛光层形成材料的混合物与惰性气体和物理发泡剂混合形成两种或多种多孔孔的步骤，其中孔的孔多孔是尺寸可控的; 以及通过凝胶化和硬化由前述步骤形成的混合物形成包括两种或更多种多孔孔的抛光层的步骤。

9. 发明公开

KR1020130130893A 연마패드 및 그 제조방법 有权
标题翻译：抛光垫及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130130893A
公开(公告)日：2013-12-03
申请号：KR1020120054523
申请日：2012-05-23
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 안봉수 , 장영준 , 정진수 , 이상목 , 송기천 , 김승근 , 서장원 , 추정선 , 강학수 , 공경표
IPC分类号： B24D11/00 , B24D3/16
CPC分类号： B24B37/24 , B24B37/26 , B24D11/001 , B24D11/003 , B24D18/00
摘要： The present invention relates to a polishing pad and a method of manufacturing the same. The polishing pad manufacturing method according to the present invention mixes polishing layer forming materials and solidifies the layer by a chemical reaction, comprising the following steps of: pulverizing organic materials in a physical method and forming the organic materials as fine organic particles; mixing the fine organic particles formed in the previous step with the polishing layer forming materials; forming vapor pores by mixing the mixture with at least one among an inert gas, which can control the size of the pores, a capsule type foaming agent, and a chemical foaming agent; manufacturing a polishing layer by gelatinizing and hardening the mixture generated through the previous steps; and distributing the pores by processing the polishing layer and opening the vapor pours on the surface.
摘要翻译：抛光垫及其制造方法技术领域本发明涉及抛光垫及其制造方法。根据本发明的抛光垫制造方法将抛光层形成材料混合并通过化学反应固化该层，包括以下步骤：以物理方法粉碎有机材料并形成有机材料作为有机微粒; 将上一步形成的微细有机颗粒与抛光层形成材料混合; 通过将混合物与能够控制孔的大小的惰性气体，胶囊型发泡剂和化学发泡剂中的至少一种混合来形成蒸气孔; 通过使通过前述步骤产生的混合物凝胶化和硬化来制造抛光层; 并通过处理抛光层并在表面上打开蒸汽倾倒来分配孔。

10. 发明公开

KR1020120099935A 바이오 폴리올을 함유하는 건축 단열재용 경질 폴리우레탄 폼 有权
标题翻译：含有BIOPOLOLOL的结构绝缘子刚性聚氨酯泡沫
公开(公告)号：KR1020120099935A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：KR1020110018468
申请日：2011-03-02
申请人： 케이피엑스케미칼 주식회사
发明人： 이상목 , 정휘국 , 이상호 , 김용수 , 권건호 , 양정규 , 박성민 , 권재근
IPC分类号： C08G18/28 , C08G18/16 , C08J9/04 , C08G18/18 , C08G18/42 , C08G18/63 , C08G18/22 , C08J9/16 , C08G101/00
CPC分类号： C08G18/28 , C08G18/16 , C08G18/18 , C08G18/185 , C08G18/22 , C08G18/4288 , C08G18/632 , C08G2101/0008 , C08J9/04 , C08J9/16
摘要： PURPOSE: Rigid polyurethane foam is provided to able to maintain flame retardance, dimensional stability, moldability, insulation, environment-friendliness, compressive strength, flexural strength, etc. CONSTITUTION: Rigid polyurethane foam comprises polyol comprising biopolyol, and isocyanate. An apparent density of the polyurethane foam is 25 kg/m^2 or more, thermal conductivity is 0.025 W/m·K or less, a compressive strength is 10 N/cm^2 or more, an absorption amount is 3.0 g/100cm^2 or less, combustion time is 120 seconds or less, and combustion time is 60 mm or less. The biopolyol contains 10-60 weight% of natural oil, 10-60 weight% of a multifunctional active hydrogen-containing compound, 0.1-1.5 weight% of a catalyst, and 20-70 weight% of alkylene oxide. The number of functional groups is 3 or more, the hydroxyl group value is 200-600 mgKOH/g, and the viscosity(25°C) is 2,000-25,000 cps.
摘要翻译：目的：提供坚固的聚氨酯泡沫以能够保持阻燃性，尺寸稳定性，成型性，绝缘性，环境友好性，抗压强度，弯曲强度等。构成：刚性聚氨酯泡沫包含多元醇，包括生物多元醇和异氰酸酯。聚氨酯泡沫的表观密度为25kg / m 2以上，导热系数为0.025W / m·K以下，抗压强度为10N / cm 2以上，吸收量为3.0g / 100cm ^ 2以下，燃烧时间为120秒以下，燃烧时间为60mm以下。生物多元醇含有10-60重量％的天然油，10-60重量％的多官能含活性氢化合物，0.1-1.5重量％的催化剂和20-70重量％的环氧烷烃。官能团数为3以上，羟基值为200〜600mgKOH / g，粘度（25℃）为2,000〜25,000cps。

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