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    • 1. 发明申请
    • 칼코제나이드 박막 형성방법
    • 形成聚乙烯薄膜的方法
    • WO2009128655A2
    • 2009-10-22
    • PCT/KR2009/001959
    • 2009-04-16
    • 주식회사 아이피에스이기훈이정욱유동호
    • 이기훈이정욱유동호
    • H01L21/205
    • C23C16/305C23C16/042C23C16/45527
    • 상변화 메모리용 칼코제나이드(chalcogenide) 박막 형성방법이 개시된다. 본 발명에 따른 칼코제나이드 박막 형성방법은 반응기 내부에 패턴이 형성되어 있는 기판을 로딩하고, 소스가스를 기판 상에 공급한다. 이때 소스가스는 소스가스는 Ge 원료가스, Ga 원료가스, In 원료가스, Se 원료가스, Sb 원료가스, Te 원료가스, Sn 원료가스, Ag 원료가스 및 S 원료가스 중에서 선택된 1종 이상으로 이루어진다. 그 리고 기판 상에 공급된 소스가스를 퍼지하기 위해 기판 상에 제1퍼지가스를 공급하 고, 기판 상에 소스가스를 환원시키기 위한 반응가스를 공급하고, 기판 상에 공급 된 반응가스를 퍼지하기 위해 기판 상에 제2퍼지가스를 공급한다. 그리고 패턴 내 부의 증착속도가 패턴 상부의 증착속도보다 크게 되도록 제1퍼지가스의 공급 시간 변경 및 반응기 내부의 압력 조절 중 적어도 하나를 수행한다. 본 발명에 따르면, 패턴의 상부에 박막이 형성되는 속도보다 패턴의 내부에 박막이 형성되는 속도가 크게 되도록 소스가스를 퍼지하는 시간을 변경하거나 반응기 내부의 압력을 조절함 으로써 갭-필(gap-fill) 특성이 우수한 칼코제나이드 박막을 형성할 수 있다. 상변화 메모리용 칼코제나이드(chalcogenide) 박막 형성방법이 개시된다. 본 발명에 따른 칼코제나이드 박막 형성방법은 반응기 내부에 패턴이 형성되어 있는 기판을 로딩하고, 소스가스를 기판 상에 공급한다. 이때 소스가스는 소스가스는 Ge 원료가스, Ga 원료가스, In 원료가스, Se 원료가스, Sb 원료가스, Te 원료가스, Sn 원료가스, Ag 원료가스 및 S 원료가스 중에서 선택된 1종 이상으로 이루어진다. 그 리고 기판 상에 공급된 소스가스를 퍼지하기 위해 기판 상에 제1퍼지가스를 공급하 고, 기판 상에 소스가스를 환원시키기 위한 반응가스를 공급하고, 기판 상에 공급 된 반응가스를 퍼지하기 위해 기판 상에 제2퍼지가스를 공급한다. 그리고 패턴 내 부의 증착속도가 패턴 상부의 증착속도보다 크게 되도록 제1퍼지가스의 공급 시간 변경 및 반응기 내부의 압력 조절 중 적어도 하나를 수행한다. 본 발명에 따르면, 패턴의 상부에 박막이 형성되는 속도보다 패턴의 내부에 박막이 형성되는 속도가 크게 되도록 소스가스를 퍼지하는 시간을 변경하거나 반응기 내부의 압력을 조절함 으로써 갭-필(gap-fill) 특성이 우수한 칼코제나이드 박막을 형성할 수 있다.
    • 本发明涉及一种形成用于相变存储器的硫族化物薄膜的方法。 在根据本发明的形成硫族化物薄膜的方法中,将形成有图案的基板装载到反应器中,并将源气体供应到基板上。 这里,源气体包括选自锗(Ge)源气体,镓(Ga)源气体,铟(In)源气体,硒(Se)源气体,锑(Sb)源气体,碲( Te)源气体,锡(Sn)源气体,银(Ag)源气体和硫(S)源气体。 为了清洗供给到基板上的源气体,将第一吹扫气体供给到基板上,然后将用于还原原料气体的反应气体供给到基板上,向基板供给第二吹扫气体以便吹扫 供给到基板上的反应气体。 执行至少一种操作,即改变第一吹扫气体的供应时间和/或调节反应器的内部压力,以确保图案内部的沉积速率大于沉积物的沉积速率 速率在图案的上部。 根据本发明,可以通过改变源气体的吹扫时间或调节反应器的内部压力来形成具有优异间隙填充性质的硫族化物薄膜,以确保成膜 在图案的内部的速率大于图案上部的成膜速率。
    • 3. 发明申请
    • 심해수 상승 조절장치
    • 深水高程控制系统
    • WO2012039562A2
    • 2012-03-29
    • PCT/KR2011/006859
    • 2011-09-16
    • 심성근유동호
    • 심성근유동호
    • E03B3/04E03B5/00
    • E03B3/04E02B1/003
    • 심해수 상승 조절장치에 대한 발명이 개시된다. 개시된 심해수 상승 조절장치는 해양구조물에 설치되어 해수와 분리되고, 해수면으로부터 하단부가 낮은 위치에 형성되어 수용공간에 상기 해수면까지 심해수를 수용하는 저장용기; 및 저장용기의 하단부에 삽입고정되어 수용공간과 연통 형성되고, 하단이 심해수 유입을 위해 해저면에 분리 설치되며, 상단이 해수면보다 낮은 위치에 배치되어 압력차이로 저장용기에 심해수를 수용하는 고정파이프를 포함하고, 저장용기에 수용된 심해수를 외부로 펌핑하면 수용공간의 수위가 낮아짐에 따라 심해수가 고정파이프를 통해 상승하여 수용공간으로 지속적으로 유입되는 것을 특징으로 한다.
    • < p num =“0000”> 公开的深度水位控制装置包括:存储容器,安装在离岸结构中并且与海水分离并形成在离海平面较低的位置处,以接收在接收空间中的深海水直到海平面; 并且被固定到所述储存容器的下端形成与所述容纳空间连通,被安装在海床表面的深海上分离被引入底部,设置低于海平面,用于在存储容器接收所述深水的压力差的上端位置 其中深水被泵送到外部,并且深水通过固定管被升高并且随着容纳空间的水位降低而连续地被引入容纳空间。
    • 4. 发明公开
    • 휴대용 다리 고정기
    • 便携式LOCKS锁
    • KR1020110082977A
    • 2011-07-20
    • KR1020100002952
    • 2010-01-13
    • 유동호
    • 유동호
    • A61H1/02A61F5/05
    • A61H1/024A61F5/05A61H2201/1652A61H2205/102
    • PURPOSE: A portable leg holder is provided to correct a posture of a user and to make beautiful leg line. CONSTITUTION: A portable leg holder is constituted as follows. A bolt(7-1), a big flat washer(7-2), a spring(7-3), and a small flat washer(7-4) are assembled with a fixed controller. A leg support(3) and a fixed controller are fixed by using a fixed groove(7-5). The opened leg support is inserted into the fixed controller and a width controller is folded, therefore facilitating carrying of the portable leg holder.
    • 目的:提供便携式支架,以纠正使用者的姿势,并制作美丽的腿线。 构成:便携式脚架的构成如下。 用固定控制器组装螺栓(7-1),大平垫圈(7-2),弹簧(7-3)和小平垫圈(7-4)。 腿部支撑件(3)和固定控制器通过使用固定凹槽(7-5)固定。 开放的腿部支撑件被插入到固定控制器中,并且宽度控制器被折叠,因此便于携带便携式脚架。
    • 5. 实用新型
    • 낚싯대 수납 케이스의 낚싯줄 감김구
    • 钓鱼竿钓鱼线卷取工具
    • KR200413073Y1
    • 2006-04-05
    • KR2020060001892
    • 2006-01-21
    • 유동호
    • 유동호
    • A01K97/08
    • A01K97/08A01K91/06A01K97/06
    • 본 고안은 낚싯대 수납 케이스의 낚싯줄 감김구에 관한 것으로 상세하게는 낚싯대 케이스에 결합하는 낚싯줄 감김구에 사용자가 편리하게 낚시바늘을 꽂아 고정하는 것과, 낚싯줄 감김구에 감기는 낚싯줄에 꼬임 현상이 발생하지 않도록, 통공이 형성된 패드를 사이에 두고 다수개의 내입 돌부가 형성된 고정판과 경사면 밀착부와 내입 통공이 형성된 고정구를 결합하여 낚싯줄 감김구를 구성하여, 낚싯줄이 곧게 수면 아래로 내려가므로, 낚싯줄에 전달되는 입질에 민감하게 반응하므로 낚시의 즐거움을 주는 효과가 있는 것이다.
      본 고안은 경사면 밀착부에 감기는 낚싯줄의 끝에 고정된 낚시바늘을 경사면 밀착부의 위치에 상관없이, 합성수지 패드 표면 아무 곳에나 꽂아 고정할 수 있어, 낚시바늘을 고정하는 작업이 편리하여 낚싯줄을 편리하게 사용하는 효과가 있는 것이다.
      낚싯대 케이스, 낚싯줄 걸이구, 낚시바늘 고정구.
    • 8. 实用新型
    • 낚시대 케이스
    • KR200204946Y1
    • 2000-12-01
    • KR2020000013092
    • 2000-05-09
    • 유동호
    • 유동호
    • A01K97/08
    • 본 고안은 릴 착용 낚시대를 수납하는 케이스에 관한 것으로, 케이스 상부의 낚시대 수납부는 밀폐된 구조이며, 케이스 하부의 손잡이 수납부는 개. 폐할 수 있는 지퍼가 형성되어 낚시중에 낚시 장소를 옮길 때 낚시대를 케이스에 신속하게 삽입하고 지퍼로 폐쇄하여 상기 수납하고 신속하게 낚시 장소를 옮길 수 있도록 구성한 것이며, 낚시대 수납부와 손잡이 수납부 사이의 릴 수납부는 개방되어 릴이 케이스에서 노출되는 구조이며, 상기 릴 수납부에는 릴을 고정하는 벨트가 형성되고 케이스의 일측면에 찌 수납부가 형성되는 구성으로, 릴 착용 낚시대를 신속하게 수납하는 낚시대 케이스를 제공하기 위한 것이다.
    • 9. 发明公开
    • 복원이 가능한 차선 규제봉
    • 恢复路线分拣机
    • KR1020140093394A
    • 2014-07-28
    • KR1020130005636
    • 2013-01-18
    • 유동호
    • 유동호
    • E01F9/627E01F9/615
    • The present invention relates to a lane delineator used to control a lane or to prevent a vehicle from crossing the lane. The present invention prevents damage caused by the collision of a vehicle by using a bellows principle. A current lane delineator is made of plastic and is formed as one unit. Therefore, when the lane delineator fixed to the ground by a bolt is damaged, the damaged lane delineator is replaced with a new lane delineator after being removed. The present invention applies the bellows principle to the upper end of the lane delineator to reduce the inconvenience of replacing. The damage can be prevented when the impact is transmitted on a display board as an elastic force is maintained by bellows.
    • 本发明涉及一种用于控制车道或防止车辆穿过车道的车道划线器。 本发明通过使用波纹管原理来防止车辆碰撞造成的损坏。 当前的车道划线器由塑料制成,并形成为一个单元。 因此,当通过螺栓固定在地面上的车道划线器被损坏时,被拆除后,损坏的车道划线器被更换为新的车道划线器。 本发明将波纹管原理应用于车道划线器的上端,以减少更换的不便。 当通过波纹管维持弹性力时,当冲击传播到显示板上时可以防止损坏。