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热词
    • 2. 发明申请
    • 기판 검사 시의 측정영역 보상 방법
    • 基板检查期间视图补偿方法
    • WO2015068971A1
    • 2015-05-14
    • PCT/KR2014/009934
    • 2014-10-22
    • 주식회사 고영테크놀러지
    • 김자근최종진정승원
    • G01B11/00G01B11/30G01N21/956
    • G06T7/001G01N21/8851G01N21/956G06T5/006G06T7/0006G06T2207/30141G06T2207/30168
    • 본 발명은 기판 검사 시의 측정영역 보상방법에 관한 것이다. 상기 방법은 기판 상의 제1 측정영역의 유효성을 판단하는 단계, 상기 제1 측정영역(FOV)의 유효성이 없는 경우, 상기 제1 측정영역(FOV)을 중심으로 미리 설정된 반경 이내의 인접한 측정영역들 중에서 유효 측정영역(FOV)들을 결정하는 단계, 상기 유효 측정영역들(FOV) 내에서 상기 제1 측정영역을 중심으로 상기 미리 설정된 반경 이내의 특징객체들을 추출하는 단계, 및 상기 추출된 특징객체들의 정보를 이용하여 상기 제1 측정영역에 대한 보상 매트릭스를 생성하는 단계를 포함한다. 상기 방법에 의하면, 제1 측정영역 내의 특징객체의 정보를 이용하여 생성하는 보상 매트릭스의 유효성이 없는 경우에도 기판 검사 시의 검사 결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
    • 本发明涉及一种在基板检查期间补偿视场的方法。 该方法包括:确定衬底上的第一视场的有效性的步骤; 如果第一视场(FOV)无效,则在围绕第一视野(FOV)的预定半径内确定相邻视野中的有效视场(FOV)的步骤; 用于在有效视场(FOV)中围绕第一视场围绕预定半径的特征对象提取特征对象的步骤; 以及通过使用所提取的特征对象的信息来生成用于第一视场的补偿矩阵的步骤。 根据该方法,即使通过使用第一视场内的特征对象的信息生成的补偿矩阵无效,也可以提高基板检查时的检查结果的可靠性。
    • 8. 发明授权
    • 기판 검사 시의 측정영역 보상 방법
    • 用于在电路板检查期间对视场进行补偿的方法
    • KR101510143B1
    • 2015-04-08
    • KR1020130134267
    • 2013-11-06
    • 주식회사 고영테크놀러지
    • 김자근최종진정승원
    • G01B11/00G01B11/30G01N21/956
    • G06T7/001G01N21/8851G01N21/956G06T5/006G06T7/0006G06T2207/30141G06T2207/30168
    • 본발명은기판검사시의측정영역보상방법에관한것이다. 상기방법은기판상의제1 측정영역의유효성을판단하는단계, 상기제1 측정영역(FOV)의유효성이없는경우, 상기제1 측정영역(FOV)을중심으로미리설정된반경이내의인접한측정영역들중에서유효측정영역(FOV)들을결정하는단계, 상기유효측정영역들(FOV) 내에서상기제1 측정영역을중심으로상기미리설정된반경이내의특징객체들을추출하는단계, 및상기추출된특징객체들의정보를이용하여상기제1 측정영역에대한보상매트릭스를생성하는단계를포함한다. 상기방법에의하면, 제1 측정영역내의특징객체의정보를이용하여생성하는보상매트릭스의유효성이없는경우에도기판검사시의검사결과의신뢰성을향상시킬수 있다.
    • 本发明涉及在衬底检查期间补偿视场的方法。 该方法包括:确定衬底上的第一视场的有效性的步骤; 当第一视场(FOV)无效时,在围绕第一视野(FOV)的预定半径内确定相邻视野中的有效视场(FOV)的步骤; 从有效视场(FOV)中围绕第一视场围绕预定半径提取特征对象的步骤; 以及使用所提取的特征对象的信息来生成用于第一视场的补偿矩阵的步骤。 根据该方法,即使使用第一视野内的特征对象的信息生成的补偿矩阵无效,也可以提高基板检查时的检查结果的可靠性。
    • 10. 发明公开
    • 스크린 프린터 장비의 보정방법 및 이를 이용한 기판 검사시스템
    • 用于补偿使用其的屏幕打印机和板引导系统的方法
    • KR1020130121747A
    • 2013-11-06
    • KR1020130046538
    • 2013-04-26
    • 주식회사 고영테크놀러지경북대학교 산학협력단
    • 김민영김민수김자근
    • B41F15/08
    • B41F33/00B41F15/08B41F15/0881B41F15/12B41F15/14B41F33/0036B41F33/0081B41M1/12H05K1/0269H05K3/0008H05K3/1216H05K3/34H05K3/3484H05K2201/09918
    • The present invention relates to a method for correcting the stencil mask of a screen printer, and includes the following steps of: receiving fiducial information from a screen printer; extracting the location information of a solder and a pad formed on a substrate by measurement using a solder inspection device; estimating an x and y offset value and a rotation amount of a stencil mask based on the fiducial information by using the location information of the pad and solder; and transferring the x and y offset value and the rotation amount of the stencil mask to the screen printer. In this way, the x and y offset value and rotation amount of the stencil mask are estimated in the solder inspection device based on the information which is transferred from the screen printer. The estimated value is fed back to the screen printer, and the location of the stencil mask is corrected. Therefore, the reliability of the solder printing can be improved. [Reference numerals] (100) Screen printer device;(200) Solder test device;(AA) Fiducial information;(BB) Feedback information
    • 本发明涉及一种用于校正丝网印刷机的模板掩模的方法,包括以下步骤:从丝网印刷机接收基准信息; 通过使用焊料检查装置的测量来提取形成在基板上的焊料和焊盘的位置信息; 通过使用焊盘和焊料的位置信息,基于基准信息估计模板掩模的x和y偏移值和旋转量; 并将x和y偏移值和模板掩模的旋转量传送到丝网印刷机。 以这种方式,基于从丝网印刷机传送的信息,在焊料检查装置中估计模板掩模的x和y偏移值和旋转量。 将估计值反馈到丝网印刷机,校正模板掩模的位置。 因此,可以提高焊料印刷的可靠性。 (附图标记)(100)丝网印刷装置;(200)焊接试验装置;(AA)基准信息;(BB)反馈信息