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1. 发明授权

KR101827515B1 마스크 고정 장치, 이를 구비하는 처리 장치 및 마스크 고정 방법 有权
标题翻译：掩模存储装置，具有该装置的加工装置
公开(公告)号：KR101827515B1
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：KR1020110035536
申请日：2011-04-18
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김승호 , 민천규 , 박상일 , 양지범 , 윤영태 , 이성희 , 이준호
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/04
摘要： 본발명은마스크의주변영역에대응되는영역에마련된복수의주변고정부와, 마스크의중앙영역에대응되는영역에마련된적어도하나의메인고정부를포함하고, 주변고정부에의해마스크의주변영역이먼저고정된후 메인고정부에의해마스크의중앙영역이고정되도록하는마스크고정장치, 이를구비하는처리장치및 마스크고정방법을제공한다.
摘要翻译：本发明包括设置在与掩模的周边区域对应的区域中的多个周边固定部和设置在与掩模的中央区域对应的区域中的至少一个主固定部，一种掩模固定装置，用于在固定之后通过主固定部分固定掩模的中心区域，包括该掩模固定装置的处理装置以及掩模固定方法。

2. 发明授权

KR101769855B1 발광 장치 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：发光装置及其制造方法
公开(公告)号：KR101769855B1
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：KR1020110077223
申请日：2011-08-03
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김승호 , 윤석원
IPC分类号： H01L51/52 , H01L51/56
摘要： 본발명은발광장치및 그제조방법에관한것으로, 기판과, 기판상에형성되어적어도한층의유기물층을포함하는발광부와, 발광부내에형성되며유기물층의소정영역이개질되어소정의문양을표시하는패턴부를포함하는발광장치및 그제조방법을제공한다.
摘要翻译：本发明是一个光发射部分包括一个作为衬底和形成的另外的至少一个发光器件及其制造的方法中，在所述发光部上形成有机材料层的衬底上被修饰的有机层的预定区域，其显示预定的图案提供了包括图案部分的发光器件及其制造方法。

3. 发明授权

KR101716211B1 박막 패턴의 제조 장치 및 제조 방법 有权
标题翻译：薄膜图案的制造和制造方法
公开(公告)号：KR101716211B1
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：KR1020110000107
申请日：2011-01-03
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 박상일 , 민천규 , 이준호 , 신대철 , 양지범 , 윤영태 , 이성희 , 김승호
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 본발명은박막패턴또는박막트랜지스터의제조공정을단순화함과아울러미세한박막패턴을형성할수 있도록한 박막패턴의제조장치및 제조방법에관한것으로, 박막패턴의제조방법은공정챔버에설치된기판지지부재에기판을안착시키는공정; 및소정형태로배열되도록형성된개구패턴을가지는 N(단, N은자연수)개의마스크를이용한 M(단, M은 N 또는 N+1인자연수)회의기상증착공정을통해상기기판상에박막패턴을형성하는공정을포함하여이루어지며, 상기박막패턴은상기각 마스크의개구패턴을통과하여서로연결되도록상기기판상에증착되는 M개의증착패턴에의해형성되는것을특징으로한다.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造薄膜图案的装置和方法，以通过在基板上通过两次气相沉积工艺形成薄膜图案来简化薄膜图案的制造工艺。构成：装载室（LL）包括基板存储槽和用于进入的门中的至少一个。传送室（TC）将负载锁中的保持的基板发送到每个处理室（PC）。处理室支持从传送室传送的衬底。处理室通过具有掩模的气相沉积工艺在衬底上形成薄膜图案。多个掩模改变单元（MCU）交替地将第一掩模和第二掩模加载到处理室。

4. 发明公开

KR1020120078835A 박막 패턴의 제조 장치 및 제조 방법 有权
标题翻译：薄膜图案的制造和制造方法
公开(公告)号：KR1020120078835A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：KR1020110000107
申请日：2011-01-03
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 박상일 , 민천규 , 이준호 , 신대철 , 양지범 , 윤영태 , 이성희 , 김승호
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0274 , G03F7/16
摘要： PURPOSE: An apparatus and a method for manufacturing a thin film pattern are provided to simplify a manufacturing process of a thin film pattern by forming a thin film pattern on a substrate through two times of a vapor deposition process. CONSTITUTION: A loadlock chamber(LL) includes at least one of a substrate storage slot and a door for entering. A transfer chamber(TC) sends a kept substrate in the loadlock to each processing chamber(PC). The processing chamber supports the sent substrate from the transfer chamber. The processing chamber forms a thin film pattern on the substrate through a vapor deposition process with a mask. A plurality of mask changing units(MCU) alternately loads a first mask and a second mask to the processing chamber.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造薄膜图案的装置和方法，以通过在基板上通过两次气相沉积工艺形成薄膜图案来简化薄膜图案的制造工艺。构成：装载室（LL）包括基板存储槽和用于进入的门中的至少一个。传送室（TC）将负载锁中的保持的基板发送到每个处理室（PC）。处理室支持从传送室传送的衬底。处理室通过具有掩模的气相沉积工艺在衬底上形成薄膜图案。多个掩模改变单元（MCU）交替地将第一掩模和第二掩模加载到处理室。

5. 发明公开

KR1020120118141A 마스크 고정 장치, 이를 구비하는 처리 장치 및 마스크 고정 방법 审中-实审
标题翻译：用于固定掩模的装置及其加工装置及其固定方法
公开(公告)号：KR1020120118141A
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：KR1020110035536
申请日：2011-04-18
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김승호 , 민천규 , 박상일 , 양지범 , 윤영태 , 이성희 , 이준호
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/04
CPC分类号： C23C14/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： PURPOSE: A mask fixing device, a processing device including the same, and a mask fixing method are provided to prevent the misalignment of a substrate and a mask by fixing a center portion after fixing a peripheral portion of the mask. CONSTITUTION: A plurality of peripheral fixing units(420) is formed on a region corresponding to a peripheral region of a mask(200). The mask comprises a mask plate(210) and a mask frame(220). A predetermined pattern is formed on the mask plate. The mask frame supports the edge of the mask plate. One or more mask main fixing units(410) are formed on a region corresponding to a center portion of the mask. The center portion of the mask is fixed by the mask main fixing units after the peripheral region of the mask is firstly fixed by the plurality of peripheral fixing units.
摘要翻译：目的：提供掩模固定装置，包括该掩模固定装置的处理装置和掩模固定方法，以在固定掩模的周边部分之后固定中心部分来防止基板和掩模的未对准。构成：在与掩模（200）的周边区域相对应的区域上形成有多个外围固定单元（420）。掩模包括掩模板（210）和掩模框架（220）。在掩模板上形成预定图案。面罩框架支撑面罩板的边缘。一个或多个掩模主固定单元（410）形成在对应于掩模的中心部分的区域上。在掩模的周边区域首先由多个周边固定单元固定之后，掩模的中心部分被掩模主要固定单元固定。

6. 发明公开

KR1020130024295A 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치 无效
标题翻译：材料供应装置和薄膜沉积装置
公开(公告)号：KR1020130024295A
公开(公告)日：2013-03-08
申请号：KR1020110087655
申请日：2011-08-31
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 윤석원 , 김승호 , 이승헌
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/452
摘要： PURPOSE: A raw material supplying device and a thin film depositing device with the same are provided to supply two or more powdered materials using one raw material supplying device by preparing two or more containers. CONSTITUTION: A raw material supplying device comprises; two or more storing chambers(200a,200b) which store two or more powdered materials respectively; a horizontal channel(110) which is extended in one lateral direction and connected to two or more storing chambers; and a transferring shaft(300) which is inserted into the horizontal channel and includes two or more transferring holes. The transferring shaft is reciprocated inside the horizontal channel, thereby charging the powdered materials in two or more transferring holes or supplying the same to an external device.
摘要翻译：目的：提供原料供给装置和具有该原料供给装置的薄膜沉积装置，以通过制备两个或多个容器来供应两种或更多种粉末材料，使用一种原料供给装置。构成：原料供给装置包括：分别存储两种或多种粉末状材料的两个或更多个储存室（200a，200b）水平通道（110），其在一个横向方向上延伸并且连接到两个或更多个储存室; 以及插入到水平通道中并包括两个或更多个传送孔的传送轴（300）。传送轴在水平通道内往复运动，从而将粉末材料装入两个或更多个传送孔或将其提供给外部设备。

7. 发明公开

KR1020130015309A 발광 장치 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：发光装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130015309A
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：KR1020110077223
申请日：2011-08-03
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김승호 , 윤석원
IPC分类号： H01L51/52 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/5203 , H01L51/5237 , H01L51/56 , H01L2251/56
摘要： PURPOSE: A light emitting device and a manufacturing method thereof are provided to display a preset pattern by irradiating UV for curing sealant to a preset area of an OLED in a sealing process to modify the preset area of the OLED. CONSTITUTION: A light emitting unit(200) is formed on a substrate and includes an organic material layer. A pattern part(400) is formed in the light emitting unit and displays a preset pattern. Sealant is prepared on the substrate outside the light emitting unit. A sealing member surrounds the light emitting unit.
摘要翻译：目的：提供一种发光器件及其制造方法，用于通过在密封过程中将OLED照射UV固化到OLED的预设区域以修改OLED的预设区域来显示预设图案。构成：发光单元（200）形成在基板上并且包括有机材料层。在发光单元中形成图形部分（400）并显示预设图案。在发光单元外部的基板上制备密封剂。密封构件围绕发光单元。

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