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    • 4. 发明申请
    • 결함 검사장치 및 이를 이용한 결함 검사방법
    • 缺陷检查装置及使用其的缺陷检查方法
    • WO2012020932A2
    • 2012-02-16
    • PCT/KR2011/005427
    • 2011-07-22
    • 주식회사 쓰리비 시스템이제선김경덕김종우장기수이종식
    • 이제선김경덕김종우장기수이종식
    • G01N21/88G01B11/30G02B5/12
    • G01N21/8806G01B11/303G02B21/22
    • 본 발명은 결함 검사장치에 관한 것으로서, 한 쌍의 광을 각각 콜리메이팅하여 검사대상물의 검사위치로 조사하고, 상기 한 쌍의 광의 가장자리부가 서로 겹쳐져 형성된 중첩영역이 상기 검사위치에 조사되도록 하는 제1광유닛; 한 쌍의 광을 각각 콜리메이팅하여 상기 검사위치로 조사하고, 상기 한 쌍의 광의 가장자리부가 서로 겹쳐져 형성된 중첩영역이 상기 검사위치에 조사되도록 하는 제2광유닛; 상기 제1광유닛과 상기 제2광유닛이 교대로 점등되도록 제어하는 제어부; 및 상기 제1광유닛 또는 상기 제2광유닛으로부터 조사되어 상기 검사위치에서 반사되어 입사되는 광을 이용하여 상기 검사위치의 영상을 촬상하는 카메라;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及一种缺陷检查装置,具有一对的光的各准直和所述对象的扫描位置的照射到被检查,并且对所述形成的光边缘部重叠区域彼此重叠 用于照亮检查位置的第一光学单元; 通过在检查位置分别准直的一对的光的照射,和重叠的区域为一光边缘部分的第二光学单元彼此重叠在一对被照射到检查位置形成; 控制单元,用于控制第一光学单元和第二光学单元交替开启; 及用于通过使用光拾取检查位置的图像的摄像机是从第一光学单元或第二光学单元照射被入射从检查位置反射的光;其特征在于它包括一

    • 8. 发明申请
    • 반도체 테스트용 캐리어 및 이의 제조방법
    • 用于半导体测试的载体及其制造方法
    • WO2012134045A2
    • 2012-10-04
    • PCT/KR2012/000227
    • 2012-01-10
    • 이종식
    • 이종식
    • G01R31/26
    • G01R31/2893G01R3/00
    • 본 발명은 반도체 테스트용 캐리어 제조방법에 관한 것으로서, 캐리어본체 형상에 대응하는 캐리어본체홈과, 상기 캐리어본체홈과 일정간격 이격되게 구비되며 레버의 형상에 대응되는 레버홈과, 상기 캐리어본체홈과 상기 레버홈 사이에 구비되며 판스프링이 인서트되는 인서트홈을 갖는 상부사출금형과 하부사출금형을 준비하는 단계와; 상기 인서트홈에 판스프링을 삽입하는 단계와; 상기 상부사출금형과 상기 하부사출금형을 결합하고 사출수지를 투입하여 반도체 테스트용 캐리어를 인서트사출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及一种用于半导体测试的载体制造方法,以及对应于所述承载体的形状承载体槽,设置在所述载体主体凹槽的上方间隔开,并且所述预定距离对应于所述杆的形状的杠杆 准备上部注射模具和下部注射模具,所述注射模具具有设置在所述载体主体槽与所述杆槽之间的槽和插入槽,并且其中插入片簧; 将片簧插入插入槽中; 并且通过将注射树脂插入上部注射模具和下部注射模具来注射半导体测试载体。