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1. 发明公开

KR1020070013249A 습도 센서 및 그 제조방법 失效
标题翻译：湿度传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020070013249A
公开(公告)日：2007-01-30
申请号：KR1020060103374
申请日：2006-10-24
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용호 , 김용준 , 장기훈 , 윤영중
IPC分类号： G01N27/12
摘要： A humidity sensor and a method for manufacturing the same are provided to improve the stability and the sensitivity of a sensor by using polyimide excluding a hydrophobic element. A humidity sensor includes a glass substrate(1), a strip patch type antenna, and polyimide. The strip patch type antenna includes a wave converter, a strip feeding line, and a meander patch. The wave converter is formed at an upper portion of the glass substrate. The strip feeding line is connected to one side of the wave converter. The meander patch is formed at an upper portion of the wave converter. The polyimide is formed at an upper portion of the meander patch and does not include a hydrophobic element.
摘要翻译：提供了一种湿度传感器及其制造方法，通过使用不含疏水性元件的聚酰亚胺来提高传感器的稳定性和灵敏度。湿度传感器包括玻璃基板（1），带状贴片型天线和聚酰亚胺。带状贴片式天线包括波形转换器，条带馈送线和曲折贴片。波形转换器形成在玻璃基板的上部。带式馈电线连接到波形转换器的一侧。曲折补片形成在波形转换器的上部。聚酰亚胺形成在曲折贴片的上部并且不包括疏水性元件。

2. 发明授权

KR100975668B1 패턴 간격을 조정가능한 전기수력학적 패터닝 장치 및 이를이용한 전기수력학적 패터닝 방법 有权
标题翻译：图案间隙可控电动力学图案形成装置和使用其的图案化方法
公开(公告)号：KR100975668B1
公开(公告)日：2010-08-17
申请号：KR1020080106965
申请日：2008-10-30
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 황정호 , 김상윤 , 박재홍 , 김영재 , 이준성 , 김용호 , 김용준
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 본 발명은 패턴 간격을 조정가능한 전기수력학적 패터닝 장치 및 이를 이용한 전기수력학적 패터닝 방법에 관한 것으로, 회전각 변위를 갖는 고정대(100); 및 상기 고정대(100)에 설정간격을 두고 다수가 병렬되게 배치되며, 전도성 입자가 포함된 용액을 전기수력학적 분무방식에 의해 분무하는 전기수력학 노즐(200);을 포함하여 구성됨을 기술적 요지로 하여, 다수의 전기수력학적 노즐을 이용하여 다수의 패턴을 동시에 형성함에 있어서 노즐의 설치간격과 무관하게 패턴의 간격을 마이크로 단위 이하의 정밀도로 정밀하게 조정, 구현할 수 있으며, 상호간에 일정한 이격간격을 가지는 다수의 패턴이나, 다중 적층된 형상의 패턴 등을 한차례의 진행만으로 한번에 형성할 수 있어, 패터닝의 정밀도, 신뢰성과, 패터닝 공정의 효율성을 보다 향상시킬 수 있는 패턴 간격을 조정가능한 전기수력학적 패터닝 장치 및 이를 이용한 전기수력학적 패터닝 방법에 관한 것이다.
전기수력학, 패터닝, 노즐, 회전조정장치

3. 发明公开

KR1020100048001A 패턴 간격을 조정가능한 전기수력학적 패터닝 장치 및 이를이용한 전기수력학적 패터닝 방법 有权
标题翻译：模式GAP可控电湿绘图装置及其使用方法
公开(公告)号：KR1020100048001A
公开(公告)日：2010-05-11
申请号：KR1020080106965
申请日：2008-10-30
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 황정호 , 김상윤 , 박재홍 , 김영재 , 이준성 , 김용호 , 김용준
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H05K3/1241 , H01L51/0004
摘要： PURPOSE: An electrohydrodynamic patterning device and an electrohydrodynamic pattering method using the same are provided to precisely adjust gaps of patterns regardless of installation gaps of nozzles by forming simultaneously a plurality of patterns using a plurality of electrohydrodynamic nozzles. CONSTITUTION: A fixing stand(100) has a rotation angle displacement. A rotation adjustment device provides the rotation angle displacement to the fixing stand. A plurality of nozzles(200) with a pre-set gap is parallelly arranged on the fixing stand. The nozzle sprays a solution including conductive particles on an object(10) using an electrohydrohynmic spraying method. The fixing stand includes a flow path for the solution.
摘要翻译：目的：提供一种电动液压动力学图案形成装置和使用其的电动液压图案化方法，以便通过使用多个电动动力喷嘴同时形成多个图案来精确地调节图案的间隙，而不管喷嘴的安装间隙。构成：固定台（100）具有旋转角位移。旋转调节装置向固定台提供旋转角位移。具有预定间隙的多个喷嘴（200）平行布置在固定台上。喷嘴使用电氢喷雾法将包含导电颗粒的溶液喷射到物体（10）上。固定架包括用于溶液的流路。

4. 发明公开

KR1020100039026A ＭＥＭＳ 전극모듈을 이용한 단일지점 검침 ＥＣＧ측정센서 및 그 제작방법 有权
标题翻译：使用基于MEMS的电极模块进行电子光学检测的一个点检测
公开(公告)号：KR1020100039026A
公开(公告)日：2010-04-15
申请号：KR1020080098226
申请日：2008-10-07
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용준 , 김용호 , 김홍래
IPC分类号： A61B5/0402 , A61B5/0408 , B81B7/02 , H01L29/00
摘要： PURPOSE: An one-point detection of an electrocardiography using an MEMS based electrode module is provided to measure an electrocardiogram by forming a ring type electrode and a circular electrode to be one body on a pad. CONSTITUTION: An annular electrode(11) and a circular electrode(31) sense the potential difference of the surface of a physical body. Connecting electrodes(13, 33) supplies a signal, detected through the annular electrode and circular electrode, to a detector. A contact pad(50) is contacted with the annular electrode(11), the circular electrode, and connecting electrode at the same time.
摘要翻译：目的：提供使用基于MEMS的电极模块的心电图的一点检测，以通过在垫上形成环形电极和圆形电极为一体来测量心电图。构成：环形电极（11）和圆形电极（31）感测身体表面的电位差。连接电极（13,33）将通过环形电极和圆形电极检测的信号提供给检测器。接触垫（50）同时与环形电极（11），圆形电极和连接电极接触。

5. 发明授权

KR100948715B1 목표 분류 입경의 제어가 가능한 입자 분류 방법, 이를 수행하기 위한 입자 분류 유닛, 그 제조방법 및 입자 분류 장치 有权
标题翻译：分离能够调整切割直径的颗粒的方法，颗粒分离单元，用于生产其的方法和用于实施其的颗粒分离装置
公开(公告)号：KR100948715B1
公开(公告)日：2010-03-22
申请号：KR1020080007942
申请日：2008-01-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용준 , 김용호 , 박동호 , 황정호
IPC分类号： B07C5/08 , B82Y40/00 , B82Y30/00
摘要： 유동장 내 입자 관성력의 차이 및 전기장에 의한 가속력의 차이를 이용하여 보다 미세한 입자 분류가 가능한 입자 분류 방법, 이를 수행하기 위한 입자 분류 유닛 및 입자 분류 시스템을 제공한다.
입자 분류 방법에 있어서, 제1축을 따라 전압을 걸어 전기장을 형성한다. 제1축을 따라 입자들을 포함한 유체를 유입시킨다. 제1축에 평행한 방향 및 제2축에 평행한 방향으로 입자들을 포함한 유체를 유출시켜 전기장에 의해 가해지는 입자들의 가속력의 차이에 따라 입자들을 입경별로 분류한다. 제2축에 평행한 방향들로 유출되는 유체의 유량이 제1축에 평행한 방향으로 유출되는 유체의 유량보다 크다.
이에 따르면 형성된 전기장의 크기에 따라 목표 분류 입경을 변화시킬 수 있으며, 나노미터 급의 미세입자를 분류할 수 있다.

6. 发明公开

KR1020080077761A 멤스기반 초소형 전기적 임팩터 有权
标题翻译：基于MEMS的电动机
公开(公告)号：KR1020080077761A
公开(公告)日：2008-08-26
申请号：KR1020070017354
申请日：2007-02-21
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용준 , 황정호 , 김용호 , 맹좌영 , 박동호 , 정일현
IPC分类号： G01N27/00 , B81C1/00
摘要： A MEMS(Micro-Electro Mechanical Systems) based compact electrical impactor is provided to improve sensitivity by increasing an amount of charge based on large area and high ion density using various corona discharging tips. A MEMS based compact electrical impactor includes an induction unit, a discharging unit(10), a nozzle(20), and a sensing unit(30). The induction unit is positioned on a top of the MEMS and induces particles. The discharging unit receives the particles from the induction unit and discharges the particles. The nozzle receives the particles from the discharging unit and curves flowing direction of the particles for each size according to the stoke number that each particle has. The sensing unit measures current generated by collision between particles discharged from the nozzle.
摘要翻译：提供基于MEMS（微机电系统）的紧凑型电子冲击器，以通过使用各种电晕放电尖端基于大面积和高离子密度增加电荷量来提高灵敏度。基于MEMS的紧凑型电子冲击器包括感应单元，放电单元（10），喷嘴（20）和感测单元（30）。感应单元位于MEMS的顶部并且引发颗粒。排放单元从感应单元接收颗粒并排出颗粒。喷嘴从排出单元接收颗粒，并根据每个颗粒所具有的冲击数，对颗粒的每个尺寸的流动方向进行弯曲。感测单元测量从喷嘴排出的颗粒之间的碰撞产生的电流。

7. 发明授权

KR100684925B1 습도 센서 및 그 제조방법 失效
标题翻译：湿度传感器及其制作方法
公开(公告)号：KR100684925B1
公开(公告)日：2007-02-20
申请号：KR1020050067183
申请日：2005-07-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용호 , 김용준 , 장기훈 , 윤영중
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 본 발명은 습도의 변화에 따른 고주파 시스템의 성능을 예측 및 제어할 수 있도록 높은 안정성과 감도를 갖으며, 구조적 복잡성 또한 야기하지 않으면서 고주파 시스템에 집적이 가능한 습도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유리 기판, 상기 유리기판 상부에 형성되며, 중앙에 링(ring), 상기 링 외곽을 따라 일정간격을 형성하는 슬롯라인, 상기 슬롯라인에서 서로 반대방향으로 최단영역까지 연장된 한 쌍의 코플래나 웨이브 가이드(Coplanar Waveguide:CPW) 급전선으로 이루어진 공진기, 그리고 소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)로 이루어져 상기 공진기를 덮고 있는 감습층(humidity sensing layer)으로 이루어지는 습도센서를 제공한다. 따라서 센서의 안정성 및 감도가 우수하고, 임피던스 매칭 등의 부가적 회로가 필요 없어 구조적 복잡성을 야기함 없이 용이하게 집적할 수 있으며, 간단한 제조과정을 통해 구현이 가능하여 저렴한 생산단가로 대량생산이 가능하다.
습도센서, 폴리이미드, 고주파 공진기, CPW-to-slotline 링공진기, 마이크로스트립 패치형 안테나

8. 发明公开

KR1020070012931A 습도 센서 및 그 제조방법 失效
标题翻译：湿度传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020070012931A
公开(公告)日：2007-01-30
申请号：KR1020050067183
申请日：2005-07-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용호 , 김용준 , 장기훈 , 윤영중
IPC分类号： G01N27/12
摘要： A humidity sensor and a method for manufacturing the same are provided to obtain the stability and the sensitivity of the sensor by using polyimide as a humidity sensing material. A humidity sensor includes a glass substrate(1), a resonator including a ring, a slot line, and a CPW supply wire, and a humidity sensing layer(6). The resonator is formed at an upper portion of the glass substrate. The slot line is formed along the periphery of the ring. The CPW supply wire extends to the shotest region from the slot line in the opposite direction. The humidity sensing layer includes polyimide which does not include a hydrophobic element and covers the resonator.
摘要翻译：提供了一种湿度传感器及其制造方法，以通过使用聚酰亚胺作为湿度感测材料来获得传感器的稳定性和灵敏度。湿度传感器包括玻璃基板（1），包括环的谐振器，狭槽线和CPW电源线以及湿度感测层（6）。谐振器形成在玻璃基板的上部。槽线沿着环的周边形成。 CPW电源线从相反方向的插槽线延伸到最近的区域。湿度感测层包括不包括疏水性元件并覆盖谐振器的聚酰亚胺。

9. 发明公开

KR1020090081837A 목표 분류 입경의 제어가 가능한 입자 분류 방법, 이를 수행하기 위한 입자 분류 유닛, 그 제조방법 및 입자 분류 장치 有权
标题翻译：分离能够调节切割直径的颗粒的方法，颗粒分离单元和用于实施其的颗粒分级系统
公开(公告)号：KR1020090081837A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：KR1020080007942
申请日：2008-01-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용준 , 김용호 , 박동호 , 황정호
IPC分类号： B07C5/08 , B82Y40/00 , B82Y30/00
CPC分类号： B07C5/08
摘要： A method of sorting particles capable of controlling the sorting diameter, and a particle sorting unit and a particle sorting system for performing the same are provided to diversify sorting diameter possessively by applying electrode on electrode integrated without the change of structure after determining the structure like the size of a micro channel. A method of sorting particles capable of controlling the sorting diameter comprises following steps. Voltage is applied along the principal axis and the electric field is formed. The fluid including particles is flowed along the principal axis. The fluid including particles is leaked in the parallel direction to the principal axis and the secondary axis(310) and the particles are sorted by the particle diameter according to the difference of the accelerating force of the particles applied on the electric field.
摘要翻译：提供了一种能够控制分选直径的颗粒的分选方法，以及用于进行分选直径的颗粒分选单元和粒子分选系统，用于通过在确定结构类似于微通道的大小。分选能够控制分选直径的颗粒的方法包括以下步骤。沿主轴施加电压，形成电场。包含颗粒的流体沿主轴流动。包含颗粒的流体在与主轴和副轴（310）平行的方向上泄漏，并且颗粒根据施加在电场上的颗粒的加速力的差异根据粒径进行分选。

10. 发明授权

KR100893371B1 멤스기반 초소형 전기적 임팩터 有权
标题翻译：基于MEMS的电子冲击器
公开(公告)号：KR100893371B1
公开(公告)日：2009-04-17
申请号：KR1020070017354
申请日：2007-02-21
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김용준 , 황정호 , 김용호 , 맹좌영 , 박동호 , 정일현
IPC分类号： G01N27/00 , B81C1/00
摘要： 본 발명은 멤스(MEMS)기반 초소형 전기적 임팩터에 관한 것으로, 최상층에 위치하며 입자를 유입하는 도입부와; 상기 도입부를 통해 유입된 입자를 유입하여 방전하는 방전부와; 상기 방전부를 통해 방전된 입자를 유입하여 각각의 입자가 가지는 스톡스(Stokes) 수에 따라 입자의 크기별로 유동 방향이 휘어지도록 하는 노즐; 및 상기 노즐을 통해 방출되는 입자의 충돌에 의한 전류를 측정하여 입자 크기에 따른 각각의 입자의 수를 측정하는 센싱부;를 포함하여 구성함으로써, 임팩터의 유동시 입자의 스톡스(Stokes) 수에 따른 크기별 입자의 정지거리가 달라지는 원리를 이용하여 입자를 크기별로 실시간 수 농도 측정하고, 여러 개의 코로나 방전 팁(tip)을 이용해 대면적, 높은 이온농도를 기반으로 입자당 하전량을 증대시켜 감도를 향상시킬 수 있다.
임팩터, 멤스(MEMS), 입자, 측정, 스톡스, 방전, 팁(tip), 노즐

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