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2. 发明授权

KR101520793B1 고내열성 폴리실세스퀴녹산계 감광성 수지 조성물 有权
标题翻译：具有高耐热性的光敏聚硅氧烷树脂组合物
公开(公告)号：KR101520793B1
公开(公告)日：2015-05-18
申请号：KR1020140113197
申请日：2014-08-28
申请人： 엘티씨 (주)
发明人： 김준영 , 김화영 , 조상훈 , 류광현 , 최호성
IPC分类号： C08G77/04 , C08G77/42 , G03F7/004
CPC分类号： C08G77/04 , C08G77/14 , C08G77/18 , G02F1/133345 , G02F1/136227 , G02F2001/133357 , G02F2202/02 , G03F7/0045 , G03F7/0233 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/0757 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2002 , G03F7/322 , H01L27/3246 , H01L27/3258 , H01L2227/323
摘要： 본발명은액정표시장치또는유기EL 표시장치용고내열성실세스퀴녹산 (Silsesquinoxane)계감광성수지조성물및 이로부터제조된포지티브레지스트절연막에관한것으로상세하게는박막트랜지스터 (TFT)의비아홀 (via hole)을형성하는절연막으로사용이가능하고, 또한유기EL 표시장치의화소를구분하는격벽 (Bank) 패턴형성용절연막으로동시에사용이가능한고내열성, 저유전특성의실세스퀴녹산계감광성수지조성물에관한것이다. 본발명의포지티브레지스트조성물은, (a) 대표적으로카르복시산또는페놀기말단과같이알칼리수용액에현상이가능한유기실란단량체; (b) 각종기능성유기실란계화합물을포함하는단량체들을졸-겔반응법으로공중합시켜제조되는실세스퀴녹산계공중합체를바인더수지로사용하고나프토퀴논디아지드술폰산에스테르기가치환된구조의감광제를혼합하여제조된포지티브레지스트조성물이다. 본발명의포지티브레지스트조성물은 TMAH (tetramethylammonium hydroxide), KOH, NaCO등현재양산공정에사용중인묽은알칼리수계현상액으로현상이가능하여고해상도의패턴형성이용이하고고감도, 내열성및 전기절연성이우수하다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于液晶显示装置或有机电致发光（EL）显示装置及其制造的正性抗蚀剂绝缘膜的具有高耐热性的硅烷基异喹啉系感光性树脂组合物，更具体地说，具有高耐热性和低介电特性的光敏树脂组合物，其可以用作形成薄膜晶体管（TFT）的通孔的绝缘膜，同时用作形成隔板的绝缘膜（Bank）图案，其区分有机EL显示装置的像素。本发明的正型抗蚀剂组合物是通过使用通过与溶胶 - 凝胶反应法共聚制备的（s）可以在碱性显影的有机硅烷单体作为粘合剂树脂的硅烷基缩水甘油基共聚物，溶液，代表性地具有羧酸或苯酚基端，和（b）包含各种官能有机硅烷化合物的单体，并将该共聚物与被萘醌二叠氮磺酸酯基取代的光敏剂混合。本发明的正型抗蚀剂组合物可以在大量生产过程中使用的稀碱显影剂如氢氧化四甲基铵（TMAH），KOH，Na 2 CO 3等中显影，从而有助于形成高分辨率图案具有优异的高灵敏度，耐热性和电绝缘性。

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