专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101568273B1 플렉시블 기판 처리장치 및 이를 이용한 플렉시블 기판 처리방법 有权
公开(公告)号：KR101568273B1
公开(公告)日：2015-11-19
申请号：KR1020130166023
申请日：2013-12-27
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 손형규
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 롤투롤방식으로플렉시블기판이처리되도록한 플렉시블기판처리장치는플렉시블기판을공급하는기판공급롤, 상기기판공급롤과이격되고상기기판공급롤로부터풀려나오는상기플렉시블기판을회수하는기판회수롤, 상기기판공급롤과상기기판회수롤의사이에배치되는스테이지를포함하여상기플렉시블기판이상기스테이지를통과하며처리되는처리부, 상기처리부로공정가스를공급하는가스공급부및 상기플렉시블기판이상기스테이지에도달함에따라상기플렉시블기판을상기스테이지에지지되도록하며, 상기스테이지를통과하는상기플렉시블기판이상기스테이지로부터이격되도록상기플렉시블기판과상기스테이지의간격을조절하는간격조절부를포함하므로, 생산성을향상시킬수 있을뿐만아니라제품의품질을향상시킬수 있는효과가있다.

2. 发明公开

KR1020150077123A 플렉시블 기판 처리장치 및 이를 이용한 플렉시블 기판 처리방법 有权
标题翻译：用于处理柔性基板的装置和使用该柔性基板的柔性基板的处理方法
公开(公告)号：KR1020150077123A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130166023
申请日：2013-12-27
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 손형규
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02 , H01L51/0097
摘要： 롤투롤방식으로플렉시블기판이처리되도록한 플렉시블기판처리장치는플렉시블기판을공급하는기판공급롤, 상기기판공급롤과이격되고상기기판공급롤로부터풀려나오는상기플렉시블기판을회수하는기판회수롤, 상기기판공급롤과상기기판회수롤의사이에배치되는스테이지를포함하여상기플렉시블기판이상기스테이지를통과하며처리되는처리부, 상기처리부로공정가스를공급하는가스공급부및 상기플렉시블기판이상기스테이지에도달함에따라상기플렉시블기판을상기스테이지에지지되도록하며, 상기스테이지를통과하는상기플렉시블기판이상기스테이지로부터이격되도록상기플렉시블기판과상기스테이지의간격을조절하는간격조절부를포함하므로, 생산성을향상시킬수 있을뿐만아니라제품의품질을향상시킬수 있는효과가있다.
摘要翻译：以卷对卷方式处理柔性基板的柔性基板处理装置包括：供给柔性基板的基板供给辊; 基板收集辊，其从基板供给辊分离并收集从基板供给辊出来的柔性基板; 处理单元，其包括设置在所述基板供给辊和所述基板收集辊之间的台阶，并且使所述柔性基板通过所述台阶并进行处理; 气体供给单元，其向所述处理单元供给处理气体; 以及距离控制单元，用于当柔性基板到达载物台并且控制柔性基板和载物台之间的距离时支撑台上的柔性基板，使得穿过载物台的柔性基板与载物台分离。因此，可以提高产品的生产率和质量。

3. 发明授权

KR101953195B1 게이트밸브 조립체 및 이를 갖는 플렉서블 기판 처리장치 有权
公开(公告)号：KR101953195B1
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：KR1020170080608
申请日：2017-06-26
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 손형규 , 신동철 , 최형민 , 국윤호 , 이환건 , 김철호 , 김남국 , 최성우
IPC分类号： F16K3/314 , F16K3/02 , F16K27/04 , G02F1/13

4. 发明授权

KR101794654B1 연성기판 처리장치 有权
公开(公告)号：KR101794654B1
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：KR1020150189850
申请日：2015-12-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 국윤호 , 류순성 , 김철호 , 손형규 , 신동철
IPC分类号： H01J37/32 , G09F9/30
摘要： 본발명은전극판이길이방향을따라서곡면으로형성되고, 롤러부가전극판의상면중심으로부터연성기판을밀착하도록이송시킨다. 그리고전극판의길이방향양 단부에결합된엣지부가전극판의곡면과동일한곡률로형성되어연성기판이전극판의상면과같이밀착할수 있어아킹의발생을방지할수 있는연성기판처리장치를제공한다.

5. 发明授权

KR101777139B1 연성기판 처리장치 有权
公开(公告)号：KR101777139B1
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：KR1020150189834
申请日：2015-12-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 국윤호 , 류순성 , 김철호 , 손형규 , 신동철
IPC分类号： H01J37/32 , G09F9/30
摘要： 본발명은공정챔버내부에서전극판과대향하여플라즈마의이동을제한하는차폐부를구비한다. 그리고전극판상의연성기판에플라즈마공정이필요한플라즈마반응영역과, 필요치않은플라즈마차폐영역으로구분하고, 상기차폐부를통하여플라즈마차폐영역을플라즈마반응영역으로부터커버하도록함으로써연성기판에원치않는플라즈마가접촉함으로써손상이발생하는것을방지할수 있는연성기판처리장치를제공한다.

6. 发明授权

KR101568272B1 플렉시블 기판 처리장치 및 이를 이용한 플렉시블 기판 처리방법 有权
标题翻译：柔性基板处理装置及使用其的柔性基板处理方法
公开(公告)号：KR101568272B1
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：KR1020130166011
申请日：2013-12-27
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 손형규
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/3065 , H01L21/67 , C23C16/54
摘要： 본발명은플렉시블기판의이송과플렉시블기판을처리하기위한공정영역을분리하여독립된공간에서롤투롤방식으로플렉시블기판이처리되도록하는플렉시블기판처리장치및 이를이용한플렉시블기판처리방법을제공하기위하여, 복수의공정영역이형성되는챔버및 상기챔버내부에배치되어상기복수의공정영역으로플렉시블기판을공급하는기판공급롤및 상기챔버내부에배치되어상기기판공급롤로부터상기플렉시블기판을인출하고상기플렉시블기판을회수하는기판회수롤및 상기챔버의내부에배치되고상기기판공급롤과상기기판회수롤사이에서상기플렉시블기판을곡면에지지하여상기플렉시블기판을회전이송하는회전스테이지및 상기복수의공정영역에각각배치되는 ICP(Inductively Coupled Plasma)안테나를포함하고, 상기복수의공정영역에는상기 ICP안테나에인가되는 RF파워에의해플라즈마가각각발생된다. 이에, 본발명에따른플렉시블기판처리장치및 이를이용한플렉시블기판처리방법은롤투롤방식을사용하여생산성을향상시킬수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明是提供一种输送和由用于处理柔性基板上，使得所述柔性基板以辊到辊的方式在一个单独的区域加工和加工使用相同的柔性基板的，多个柔性衬底的方法分离所述处理区域处理柔性衬底器件衬底供应辊，其设置在所述室内并适于将所述柔性衬底供应到所述多个处理区域;以及柔性衬底，其设置在所述室内以将所述柔性衬底从所述衬底供应辊抽出，旋转台，用于通过将柔性基板支撑在基板供应辊和基板回收辊之间的弯曲表面上来旋转和传送柔性基板，旋转台设置在多个处理区中，以及ICP（电感耦合等离子体）天线，其中多个处理区域被应用于ICP天线等离子体由RF功率分别产生。因此，根据本发明的柔性基板处理设备和使用其的柔性基板处理方法可以通过使用卷对卷方法来提高生产率。

7. 发明公开

KR1020150077115A 플렉시블 기판 처리장치 및 이를 이용한 플렉시블 기판 처리방법 有权
标题翻译：用于处理柔性基板的装置和使用该柔性基板的柔性基板的处理方法
公开(公告)号：KR1020150077115A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130166011
申请日：2013-12-27
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 손형규
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/3065 , H01L21/67 , C23C16/54
CPC分类号： H01L21/67739 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L21/6776
摘要： 본발명은플렉시블기판의이송과플렉시블기판을처리하기위한공정영역을분리하여독립된공간에서롤투롤방식으로플렉시블기판이처리되도록하는플렉시블기판처리장치및 이를이용한플렉시블기판처리방법을제공하기위하여, 복수의공정영역이형성되는챔버및 상기챔버내부에배치되어상기복수의공정영역으로플렉시블기판을공급하는기판공급롤및 상기챔버내부에배치되어상기기판공급롤로부터상기플렉시블기판을인출하고상기플렉시블기판을회수하는기판회수롤및 상기챔버의내부에배치되고상기기판공급롤과상기기판회수롤사이에서상기플렉시블기판을곡면에지지하여상기플렉시블기판을회전이송하는회전스테이지및 상기복수의공정영역에각각배치되는 ICP(Inductively Coupled Plasma)안테나를포함하고, 상기복수의공정영역에는상기 ICP안테나에인가되는 RF파워에의해플라즈마가각각발생된다. 이에, 본발명에따른플렉시블기판처리장치및 이를이용한플렉시블기판처리방법은롤투롤방식을사용하여생산성을향상시킬수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明提供了一种用于处理柔性基板的装置以及使用该柔性基板处理柔性基板的方法，以通过分离用于传输的柔性基板的处理区域来使柔性基板以独立空间的滚动方式被处理柔性基板和柔性基板的加工。用于处理柔性基板的装置包括：具有形成在其上的多个处理区域的室; 基板供给辊，其设置在所述室内，以将所述柔性基板供应到所述多个处理区域; 基板回收辊，其设置在所述室内部以从所述基板供给辊中拉出所述柔性基板并回收所述柔性基板; 设置在所述室内的旋转台，并且在所述基板供给辊和所述基板回收辊之间支撑所述柔性基板的弯曲表面，以旋转并传送所述柔性基板; 分别设置在多个处理区域上的电感耦合等离子体（ICP）天线，其中通过施加到ICP天线的RF功率在多个处理区域中产生等离子体。因此，根据本发明，用于处理柔性基板的装置和使用其的柔性基板的处理方法能够使用卷对卷方式提高生产率。

8. 发明公开

KR1020170079366A 연성기판 처리장치 有权
标题翻译：柔性基板处理设备
公开(公告)号：KR1020170079366A
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020150189834
申请日：2015-12-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 국윤호 , 류순성 , 김철호 , 손형규 , 신동철
IPC分类号： H01J37/32 , G09F9/30
摘要： 본발명은공정챔버내부에서전극판과대향하여플라즈마의이동을제한하는차폐부를구비한다. 그리고전극판상의연성기판에플라즈마공정이필요한플라즈마반응영역과, 필요치않은플라즈마차폐영역으로구분하고, 상기차폐부를통하여플라즈마차폐영역을플라즈마반응영역으로부터커버하도록함으로써연성기판에원치않는플라즈마가접촉함으로써손상이발생하는것을방지할수 있는연성기판처리장치를제공한다.
摘要翻译：本发明包括限制处理室内的等离子体向电极板的移动的护罩。并通过分离等离子体损坏，需要在电极板反应区域的柔性基板和一个不需要等离子体屏蔽区域，并且不希望的等离子体接触所述等离子体通过从等离子体反应区使盖由柔性衬底上的上述屏蔽的方式遮光区域上的等离子体处理提供一种能够防止发生断裂的柔性基板处理装置。

9. 发明公开

KR1020170079374A 연성기판 처리장치 有权
标题翻译：柔性基板处理设备
公开(公告)号：KR1020170079374A
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020150189850
申请日：2015-12-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 인베니아 주식회사
发明人： 국윤호 , 류순성 , 김철호 , 손형규 , 신동철
IPC分类号： H01J37/32 , G09F9/30
摘要： 본발명은전극판이길이방향을따라서곡면으로형성되고, 롤러부가전극판의상면중심으로부터연성기판을밀착하도록이송시킨다. 그리고전극판의길이방향양 단부에결합된엣지부가전극판의곡면과동일한곡률로형성되어연성기판이전극판의상면과같이밀착할수 있어아킹의발생을방지할수 있는연성기판처리장치를제공한다.
摘要翻译：在本发明中，电极板沿纵向形成为曲面，并且辊单元从电极板的上表面中心紧密地馈送软质基板。并且它可以增加接合到电极板的纵向相对端部的边缘被形成为弯曲表面与紧密接触的电极板中，相同的曲率，例如柔性基板之前的板的上表面上，提供一种能够防止电弧的发生的柔性基板处理装置。

10. 发明授权

KR102046034B1 유도결합 플라즈마 처리장치 有权
公开(公告)号：KR102046034B1
公开(公告)日：2019-11-18
申请号：KR1020170178450
申请日：2017-12-22
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 손형규
IPC分类号： H01J37/32

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式