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1. 发明授权

KR101810719B1 스마트 제어기를 갖는 커스터마이즈 가능한 분배 시스템 有权
标题翻译：可定制的智能控制器分配系统
公开(公告)号：KR101810719B1
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020137002286
申请日：2011-06-27
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 세드론제임스 , 가쉬가이이라이 , 마군폴제이 , 브래그인제니퍼엠 , 고넬라조지엘 , 베일조나단오웬
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B65D83/00 , F04B43/06 , F04B49/007 , F04B49/02 , H01L21/67017
摘要： 개시된실시예는모듈식아키텍처를구현하는커스터마이즈가능한분배시스템을제공하고, 커스터마이즈가능한분배시스템은인쇄된패턴에서의결함에민감한다양한반도체제조공정에서다양한공압펌프및 모터펌프를동작시키도록구성되는스마트제어기를포함한다. 스마트제어기는, 제1 펌프와의통신으로부터제2 펌프와의통신으로전환할시에, 제2 펌프를자동으로인식하고제2 펌프를제어하는제어방식을적용하도록구성되고, 제2 펌프는모터펌프또는공압펌프일수 있다. 전환은제1 펌프의물리적분리및 제2 펌프의물리적연결로인한것일수 있거나, 전적으로소프트웨어를통해행해질수 있다. 스마트제어기는트랙및 스마트필터를포함한각종의장치에연결될수 있다.
摘要翻译：所公开的实施例，其提供实现模块化架构和可定制的分配系统可定制的分配系统中的智能控制器被配置为在敏感品种半导体制造工艺的各种气动泵和马达泵操作以将缺陷eseoui印刷图案它包括。智能控制器，所述的从与第一泵连通的第二泵切换到通信的时间被配置为所述第二泵自动检测和应用该控制方法用于控制第二泵，所述第二泵为电动泵或它可以是一个气动泵。转换可能是由于第一个泵的物理分离和第二个泵的物理连接，或者可能完全通过软件完成。智能控制器可以连接到各种设备，包括轨道和智能过滤器。

2. 发明授权

KR101290958B1 펌프의 작동을 위한 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于操作泵的系统和方法
公开(公告)号：KR101290958B1
公开(公告)日：2013-07-30
申请号：KR1020087015803
申请日：2006-11-20
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 고넬라조지 , 세드론제임스
IPC分类号： F04B41/06 , F04B41/00
CPC分类号： F04B13/00 , F04B1/08 , F04B23/04 , F04B23/06 , F04B41/06 , F04B43/088 , F04B49/06 , F04B49/065 , F04B49/08 , F04B49/103 , F04B51/00 , F04B2203/0209 , F04B2205/01 , F04B2205/03 , F04B2205/04
摘要： 본원에는 펌프의 작동을 위한 시스템 및 방법이 개시되어 있다. 펌프의 압력 수치는, 여러 작동 단계 동안에 모터의 속도를 조정하여 압력을 제어하기 위한 설정점 또는 프로파일에 비교될 수 있다. 다른 실시예에 따르면, 펌프의 하나 이상의 파라미터에 대한 기본 프로파일을 수립할 수 있다. 그 후, 뒤이은 펌프의 작동 동안에 동일한 파라미터의 세트에 대하여 하나 이상의 값을 기록함으로써, 작동 프로파일을 형성할 수 있다. 그 후, 기본 프로파일과 작동 프로파일의 값은 하나 이상의 점 또는 점들의 집합에서 비교될 수 있다.
摘要翻译：这里公开了一种用于操作泵的系统和方法。泵的压力值可以通过调节电机在不同运行阶段的速度来控制压力的设定值或曲线。根据另一个实施例，可以建立泵的一个或多个参数的基本概况。然后可以通过在随后的泵的操作期间记录相同的一组参数的一个或多个值来形成操作简档。然后可以在一个或多个点或一组点中比较基本配置文件和操作配置文件的值。

3. 发明授权

KR101364385B1 펌프 제어기를 인터페이스시키는 Ｉ/Ｏ 시스템, 방법 및디바이스 有权
标题翻译：用于接口泵控制器的I / O系统，方法和设备
公开(公告)号：KR101364385B1
公开(公告)日：2014-02-17
申请号：KR1020087015349
申请日：2006-11-20
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 세드론제임스 , 고넬라조지 , 맥라우린로버트에프
IPC分类号： G06F3/00 , G05D11/00 , G06F13/14 , G06F3/01
CPC分类号： G06F13/4027 , F04B49/065 , G05B19/042 , G05B2219/25204 , G06F13/4282 , H04L67/12 , Y02D10/14 , Y02D10/151
摘要： 본 발명의 실시예는 서로 다른 인터페이스 및/또는 신호전달 포맷을 가질 수 있는 펌프 제어기(들)를 제어 디바이스(들)와 인터페이스시키는 I/O 시스템, 방법 및 디바이스를 제공한다. 일 실시예에서, I/O 인터페이스 모듈은 프로세서와, 메모리와, 펌프 제어기 및 제어 디바이스와 통신하기 위한 적어도 두 개의 데이터 통신 인터페이스를 포함한다. I/O 인터페이스 모듈은 제어 디바이스로부터 이산 신호를 수신하고, 그에 따라 그것들을 해석하고, 패킷을 펌프 제어기에 송신할 수 있다. 펌프 제어기는 패킷을 판독하고, 펌프에서 적합한 동작을 취할 수 있다. I/O 인터페이스 모듈은 펌프 제어기로부터 수신된 데이터의 패킷을 해석하고, 제어 디바이스에 대응하는 이산 신호를 어서트할 수 있다. I/O 인터페이스 모듈은 맞춤화가 가능하고, 펌프의 하드웨어의 변경 없이 다양한 인터페이스 및 제어 방식이 특정 다수 스테이지의 펌프와 함께 구현될 수 있게 해준다.

4. 发明授权

KR101308784B1 소형 폼 팩터를 갖는 펌프용 시스템 및 방법 有权
标题翻译：具有减少形式因子的泵的系统和方法
公开(公告)号：KR101308784B1
公开(公告)日：2013-09-17
申请号：KR1020087013326
申请日：2006-11-20
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 세드론제임스 , 곤넬라조오지 , 가쉬가이이라즈
IPC分类号： F04B23/08 , F04B43/02 , F04B43/14
CPC分类号： F04B43/04 , F04B7/0076 , F04B9/02 , F04B13/00 , F04B23/06 , F04B49/065 , F04B53/06 , F04B53/16 , F04B53/22 , F04B2201/0201 , F04B2201/0601 , F04B2205/03 , Y10T29/49236 , Y10T137/87885
摘要： 본 발명의 실시예는 폼 팩터를 줄이고 신뢰성과 유용성을 높이는 특징부를 갖는 펌프를 제공한다. 추가적으로, 본 발명의 실시예는 유체 취급 특성을 위한 특징부를 제공한다. 본 발명의 실시예는 모터 구동식 공급 단 펌프와 모터 구동식 토출 단 펌프를 구비하는 펌프를 포함할 수 있다. 공급 단 모터와 토출 단 모터는 다양한 타입의 모터를 포함할 수 있고, 펌프는 롤링 다이어프램 펌프이거나 다른 펌프일 수 있다. 일 실시예에 따르면, 펌프의 챔버 및 여러 유로를 형성하는 토출 블럭이 일체형 재료로 형성될 수 있다.

5. 发明授权

KR101279747B1 펌프에 있어서 기계식 피스톤의 위치 제어를 위한 시스템및 방법 有权
标题翻译：用于控制泵中机械活塞位置的系统和方法
公开(公告)号：KR101279747B1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：KR1020087014266
申请日：2006-11-20
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 곤넬라조오지 , 세드론제임스 , 가쉬가이이라즈
IPC分类号： F04B49/06 , F04B49/00
CPC分类号： F04B49/065 , F04B13/00 , F04B17/03 , F04B43/0081 , F04B43/02 , F04B2201/0201 , F04B2201/1208
摘要： 본원에 개시된 시스템 및 방법의 실시예는, 유체의 운동과 토출량에 대하여 실시간 제어와, 원만한 동작의 제어, 그리고 매우 정확하고 반복적인 위치 제어를 행하기 위한, 반도체 제조에 유용한 펌핑 시스템에서, BLDCM을 이용하여 단단 펌프 혹은 다단 펌프를 구동한다. BLDCM은 맞춤 필드 지향 제어 방식을 실행하는 프로세서에 실시간으로 위치를 피드백하는 위치 센서를 채용할 수 있다. 본 발명의 실시예는 맞춤 제어 방식을 통하여 기본 기능(들)의 임계성에 따라 BLDCM의 작동 주파수를 높이고 낮춤으로써, 토출 펌프의 정확한 위치 제어를 바람직하지 못하게 양보하는 일 없이 열 발생을 줄일 수 있다. 상기 제어 방식은 BLDCM을 매우 낮은 속도로 구동시키면서 일정한 속도를 유지할 수 있으며, 이로써 펌핑 시스템은 진동을 최소화하고 토출 성능과 작업 능력을 실질적으로 증대시키면서 넓은 속도 범위로 작동할 수 있게 된다.
摘要翻译：本文所公开的，例如，系统和方法，在实时控制，并且在半导体制造一个有用的泵送系统用于执行控制，和平稳运行的用于移动的非常精确和可重复的定位和流体的喷出量的实施例中，无刷直流电动机驱动单级泵或多级泵。 BLDCM可以采用用于在实时的位置反馈给执行所述对准的磁场定向控制方案的处理器的位置传感器。本发明的实施例可以减少工作发热而不会通过降低根据通过取向控制方法的基本功能（多个）的临界BLDCM工作频率的增加，以产生一个喷流泵的不希望的精确的位置控制。所述控制系统能够同时驱动无刷直流电机以非常低的速度，从而使泵送系统能够以最小化振动，而显着增加放电性能以及在宽的操作速度范围内工作的能力，以保持恒定速度。

6. 发明公开

KR1020080072033A 소형 폼 팩터를 갖는 펌프용 시스템 및 방법 有权
标题翻译：具有减少形式因子的泵的系统和方法
公开(公告)号：KR1020080072033A
公开(公告)日：2008-08-05
申请号：KR1020087013326
申请日：2006-11-20
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 세드론제임스 , 곤넬라조오지 , 가쉬가이이라즈
IPC分类号： F04B23/08 , F04B43/02 , F04B43/14
CPC分类号： F04B43/04 , F04B7/0076 , F04B9/02 , F04B13/00 , F04B23/06 , F04B49/065 , F04B53/06 , F04B53/16 , F04B53/22 , F04B2201/0201 , F04B2201/0601 , F04B2205/03 , Y10T29/49236 , Y10T137/87885
摘要： Embodiments of the present invention provide pumps with features to reduce form factor and increase reliability and serviceability. Additionally, embodiments of the present invention provide features for gentle fluid handling characteristics. Embodiments of the present invention can include a pump having a motor driven feed stage pump and a motor driven dispense stage pump. The feed stage motor and the feed stage motor can include various types of motors and the pumps can be rolling diaphragm or other pumps. According to one embodiment, a dispense block defining the pump chambers and various flow passages can be formed out of a single piece of material.
摘要翻译：本发明的实施例提供具有减小形状因素并提高可靠性和可服务性的特征的泵。此外，本发明的实施例提供了用于温和流体处理特性的特征。本发明的实施例可以包括具有马达驱动的进料级泵和马达驱动的分配级泵的泵。进料级马达和进料级马达可以包括各种类型的马达，泵可以是滚动隔膜或其他泵。根据一个实施例，可以由一片材料形成限定泵室和各种流动通道的分配块。

7. 发明公开

KR1020080070773A 펌프 제어기를 인터페이스시키는 Ｉ/Ｏ 시스템, 방법 및디바이스 有权
标题翻译：用于接口泵控制器的I / O系统，方法和设备
公开(公告)号：KR1020080070773A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：KR1020087015349
申请日：2006-11-20
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 세드론제임스 , 고넬라조지 , 맥라우린로버트에프
IPC分类号： G06F3/00 , G05D11/00 , G06F13/14 , G06F3/01
CPC分类号： G06F13/4027 , F04B49/065 , G05B19/042 , G05B2219/25204 , G06F13/4282 , H04L67/12 , Y02D10/14 , Y02D10/151 , G06F13/14 , G06F13/38
摘要： Embodiments of the present invention provide I/O systems, methods, and devices for interfacing pump controller(s) with control device(s) which may have different interfaces and/or signaling formats. In one embodiment, an I/O interface module comprises a processor, a memory, and at least two data communications interfaces for communicating with a pumping controller and a control device. The I/O interface module can receive discrete signals from the control device, interpret them accordingly and send the packets to the pump controller. The pump controller reads the packets and takes appropriate actions at the pump. The I/O interface module can interpret packets of data received from the pump controller and assert corresponding discrete signals to the control device. The I/O interface module is customizable and allows a variety of interfaces and control schemes to be implemented with a particular multiple stage pump without changing the hardware of the pump.
摘要翻译：本发明的实施例提供了用于将泵控制器与可能具有不同接口和/或信令格式的控制设备接口的I / O系统，方法和设备。在一个实施例中，I / O接口模块包括处理器，存储器和用于与泵送控制器和控制设备通信的至少两个数据通信接口。 I / O接口模块可以从控制设备接收离散信号，相应地解释它们，并将数据包发送到泵控制器。泵控制器读取数据包，并在泵处采取适当的措施。 I / O接口模块可以解释从泵控制器接收的数据包，并将相应的离散信号声明给控制设备。 I / O接口模块是可定制的，允许使用特定的多级泵实现各种接口和控制方案，而无需更换泵的硬件。

8. 发明授权

KR101986861B1 유체에서 공기를 검출하는 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101986861B1
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：KR1020147007232
申请日：2012-08-17
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 뱉첼더트레이시엘. , 세드론제임스
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/66

9. 发明公开

KR1020140051436A 유체에서 공기를 검출하는 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于检测流体中的空气的系统和方法
公开(公告)号：KR1020140051436A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：KR1020147007232
申请日：2012-08-17
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 뱉첼더트레이시엘. , 세드론제임스
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/66
CPC分类号： G05D9/12 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B53/06 , F04B2205/03 , G05D7/0617
摘要： 실시예는 펌핑 시스템에서 공기를 검출할 수 있다. 시스템의 일부는 상류측 또는 하류측에 배치되는 다른 구성요소로부터 격리될 수 있다. 격리된 부분은 챔버, 배관, 라인, 밸브 또는 펌프의 다른 구성요소를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 시작 압력과 종료 압력 간의 차이는 피스톤이 예정된 거리를 이동한 후에 취해진다. 압력차는 시스템에서 공기의 존재를 검출하도록 특정한 시스템 설정 및/또는 유체 특성에 대해 확립된 예상된 값과 비교될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 펌프 구성요소의 시작 위치 및 종료 위치 간의 거리는 예정된 압력차가 달성된 후에 결정될 수 있다. 거리는 예상되는 거리와 비교되어 시스템에서 공기의 존재를 검출할 수 있다.

10. 发明公开

KR1020130133752A 스마트 제어기를 갖는 커스터마이즈 가능한 분배 시스템 审中-实审
标题翻译：具有智能控制器的可定制开发系统
公开(公告)号：KR1020130133752A
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：KR1020137002286
申请日：2011-06-27
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 세드론제임스 , 가쉬가이이라이 , 마군폴제이 , 브래그인제니퍼엠 , 고넬라조지엘 , 베일조나단오웬
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B65D83/00 , F04B43/06 , F04B49/007 , F04B49/02 , H01L21/67017
摘要： 개시된 실시예는 모듈식 아키텍처를 구현하는 커스터마이즈 가능한 분배 시스템을 제공하고, 커스터마이즈 가능한 분배 시스템은 인쇄된 패턴에서의 결함에 민감한 다양한 반도체 제조 공정에서 다양한 공압 펌프 및 모터 펌프를 동작시키도록 구성되는 스마트 제어기를 포함한다. 스마트 제어기는, 제1 펌프와의 통신으로부터 제2 펌프와의 통신으로 전환할 시에, 제2 펌프를 자동으로 인식하고 제2 펌프를 제어하는 제어 방식을 적용하도록 구성되고, 제2 펌프는 모터 펌프 또는 공압 펌프일 수 있다. 전환은 제1 펌프의 물리적 분리 및 제2 펌프의 물리적 연결로 인한 것일 수 있거나, 전적으로 소프트웨어를 통해 행해질 수 있다. 스마트 제어기는 트랙 및 스마트 필터를 포함한 각종의 장치에 연결될 수 있다.

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