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1. 发明申请

WO2010056037A2 홀 효과 측정장치 审中-公开
标题翻译：用于测量霍尔效应的装置
公开(公告)号：WO2010056037A2
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：PCT/KR2009/006616
申请日：2009-11-11
申请人： 에코피아 주식회사 , 정석환 , 이근택 , 박영규 , 이안수 , 이진호
发明人： 정석환 , 이근택 , 박영규 , 이안수
IPC分类号： G01N1/36 , G01N1/28 , G01N1/00
CPC分类号： G01R33/07 , G01N35/0098 , G01N2035/00346 , G01R35/00
摘要： 본 발명은 홀 효과를 이용하여 반도체의 특성값을 측정하는 홀 효과 측정장치에 관한 것으로, 본 발명의 일실시예는 홀 효과를 이용하여 반도체 샘플의 특성값을 측정하는 홀 효과 측정장치에 있어서, 샘플이 셋팅된 샘플홀더가 내부에 삽입되고 일측에 설치되는 전동모터에 의해 영구자석을 이동시켜 샘플에 소정의 자기장을 형성하는 자속밀도 인가장치와, 샘플홀더의 온도를 조절하여 샘플의 온도를 설정하는 샘플온도 조절수단을 포함하고, 샘플에 전류를 인가하여 그 샘플에서 출력되는 홀 전압을 측정하는 홀 효과 측정장치를 제공한다.
摘要翻译：本发明涉及一种霍尔效应测量装置，用于使用霍尔效应来测量半导体的特性值。本发明的一个实施例提供了一种用于通过利用霍尔效应来测量半导体样品的特性值的霍尔效应测量装置，所述霍尔效应测量装置包括一个磁通密度施加装置，该装置用于容纳具有将样品置于其中，并通过安装在其一侧的电动机移动永磁体，以在样品处形成预定的磁场; 以及用于控制样品架的温度以设定样品的温度的样品温度控制装置。本发明的霍尔效应测量装置向样品施加电流，并测量样品输出的霍尔电压。

2. 发明公开

KR1020130130425A 포토닉 홀 효과 측정장치 有权
标题翻译：光电池效应测量装置
公开(公告)号：KR1020130130425A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020120054237
申请日：2012-05-22
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 박영규 , 이근택
IPC分类号： G01N27/00 , G01N21/00
摘要： The present invention relates to a measurement apparatus for photonic Hall effects, capable of easily identifying electrical characteristics of not only normal Hall devices but also solar cell devices or optical sensor devices, etc. as configuration enables measurement of Hall voltages of a sample under the condition irradiated by a light source, and of measuring Hall effects for high-resistance devices or conductive devices other than normal Hall devices as separate external electric currents other than a constant electric current can be supplied. Measurement apparatus for photonic Hall effects comprises; a dark room forming box provided with an opening/closing door in the front; and a sample holder detachably combined inside the dark room forming box to mount samples; and magnets provided respectively on both sides of the sample holder inside the dark room forming box to form a magnetic field in the sample; and an electric current supply unit provided on one side of the dark room forming box and electrically connected to the sample holder to supply electric currents to the sample; and a light source generating unit provided on one side of the dark room forming box; and an optical transmission cable connecting the light source generating unit and the dark room forming box to provide the sample on the sample holder with light generated from the light generating unit ; and a measurement unit connected to the sample holder to measure Hall voltages of the sample.
摘要翻译：本发明涉及一种用于光子霍尔效应的测量装置，其能够容易地识别正常的霍尔装置，而且能够识别太阳能电池装置或光学传感器装置等的电气特性，因为配置使得能够在条件下测量样品的霍尔电压可以提供除了恒定电流之外的单独的外部电流，由光源照射，并且测量霍尔效应用于除正常霍尔装置以外的高电阻装置或导电装置。光子霍尔效应测量装置包括：一个在前面设有开/关门的暗室成型箱; 以及可拆卸地组合在暗室成型箱内装载样品的样品架; 以及分别在暗室形成箱内的样品架两侧分别设置的磁铁，以在样品中形成磁场; 以及电流供给单元，设置在暗室成型箱的一侧，并电连接到样品保持器以向样品供应电流; 以及设置在暗室形成盒的一侧的光源产生单元; 以及连接光源发生单元和暗室形成盒的光传输电缆，以将来自光产生单元的光产生于样品架上的样品; 以及连接到样品架的测量单元，以测量样品的霍尔电压。

3. 发明授权

KR101253504B1 초고온 홀 효과 측정장치 有权
标题翻译：超高效测量仪器
公开(公告)号：KR101253504B1
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：KR1020120021929
申请日：2012-03-02
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 박영규 , 이근택 , 이진호 , 이안수 , 노태형 , 박형준
IPC分类号： G01R15/20 , G01R33/07
摘要： PURPOSE: An apparatus for measuring a hall effect at an ultra high temperature is provided to check electrical properties of a new material or an oxide superconductor by detecting a defect structure of a sample. CONSTITUTION: An apparatus for measuring a hall effect at an ultra high temperature comprises a base plate(110), one pair of supports(120), a cooling pipe(140), a heater(150), a sample contact jig(180), and a magnetic flux density applying unit(190). The base plate includes the pair of supports installed on the top surface of the base plate to face each other with a certain distance therebetween. The cooling pipe has one end and the other end which are connected to a lateral side of each of the pair of supports. The heater is disposed in a place within the cooling pipe. The sample contact jig is movably connected to a lateral side of one of the pair of supports, and includes a sample holder for stably positioning a sample. The magnetic flux density applying unit is disposed outside of the cooling pipe for forming a magnetic field.
摘要翻译：目的：提供一种用于在超高温下测量霍尔效应的装置，通过检测样品的缺陷结构来检查新材料或氧化物超导体的电性能。构成：用于在超高温下测量霍尔效应的装置包括基板（110），一对支撑件（120），冷却管（140），加热器（150），样品接触夹具（180），和磁通密度施加单元（190）。基板包括一对支撑件，其安装在基板的顶表面上，彼此面对一定距离。冷却管具有一端，另一端与所述一对支撑件的每一个的侧面连接。加热器设置在冷却管内的一个位置。样品接触夹具可移动地连接到一对支撑件之一的侧面，并且包括用于稳定地定位样品的样品保持器。磁通密度施加单元设置在用于形成磁场的冷却管的外部。

4. 发明授权

KR100947322B1 반도체형 샘플 측정장치의 샘플홀더 有权
标题翻译：测量装置半导体样品样品夹
公开(公告)号：KR100947322B1
公开(公告)日：2010-03-16
申请号：KR1020080051656
申请日：2008-06-02
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 정석환 , 이근택 , 박영규 , 이안수 , 이진호
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66
摘要： 본 발명은 반도체형 샘플 측정장치의 샘플홀더에 관한 것으로서, 본 발명의 일실시예는 반도체형 샘플의 특성 측정을 위한 샘플홀더에 있어서, PCB와, PCB에 수직으로 고정되는 적어도 하나의 가이드핀과, 가이드핀에 일단이 결합되고 타단은 샘플의 일측에 접촉되는 적어도 하나의 클립을 포함하는 반도체형 샘플 측정장치의 샘플홀더를 제공한다.
반도체, 샘플, 측정장치, 샘플홀더, PCB, 가이드핀, 클립

5. 发明公开

KR1020100057118A 온도 가변형 프로브 스테이션 有权
标题翻译：可变温度探测站
公开(公告)号：KR1020100057118A
公开(公告)日：2010-05-31
申请号：KR1020080116000
申请日：2008-11-21
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 정석환 , 이근택 , 박영규 , 이안수 , 이진호
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66 , G01R1/06
CPC分类号： G01R31/2887 , G01R1/073 , G01R31/2601 , G01R31/2862 , G01R31/2865 , G01R31/2875 , G01R31/2877 , G01R31/308
摘要： PURPOSE: A probe station of a variable temperature is provided to prevent the heat radiation from a chuck to a stage by interposing more than one ceramics thermal insulators between the bottom of the chuck and the top of the stage. CONSTITUTION: A chamber(200) comprises a transparent window for observing the inside of the chamber. A chuck is installed within the chamber. The chuck supports a semiconductor device. A heating wire is inserted and installed inside the chuck. The heating wire heats the chuck. A cooling line cools the chuck. The refrigerant of the liquid or gas flows in the cooling line. A manipulator transfers a probe in order to touch on the surface of the semiconductor device.
摘要翻译：目的：提供可变温度的探测台，通过在卡盘的底部和平台的顶部之间插入多于一个的陶瓷绝热体来防止从卡盘到舞台的热辐射。构成：室（200）包括用于观察室内部的透明窗口。卡盘安装在腔室内。卡盘支撑半导体器件。将电线插入并安装在卡盘内。电热丝加热卡盘。冷却线冷却卡盘。液体或气体的制冷剂在冷却管线中流动。操纵器传送探针以便接触半导体器件的表面。

6. 发明授权

KR100937504B1 홀 효과 측정장치 有权
标题翻译：霍尔效应的测量装置
公开(公告)号：KR100937504B1
公开(公告)日：2010-01-19
申请号：KR1020080112090
申请日：2008-11-12
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 정석환 , 이근택 , 박영규 , 이안수 , 이진호
IPC分类号： G01N1/36 , G01N1/28 , G01N1/00
CPC分类号： G01R33/07 , G01N35/0098 , G01N2035/00346 , G01R35/00
摘要： PURPOSE: A hall effect measurement apparatus is provided to reduce the measurement time of hall effect and to improve the convenience. CONSTITUTION: A hall effect measurement apparatus(100) comprises a magnetic field applying unit(200) and a sample temperature adjusting unit. A sample holder in which sample is set is inserted into the magnetic field applying unit. An electric motor is installed on one side of the magnetic field applying unit. The electric motor forms the magnetic field in the sample by moving a permanent magnet. The sample temperature adjusting unit selects the temperature of the sample by adjusting the temperature of the sample holder. The hall voltage outputted in the sample is measured by applying the electric current to the sample.
摘要翻译：目的：提供一种霍尔效应测量装置，以减少霍尔效应的测量时间并提高方便性。构成：霍尔效应测量装置（100）包括磁场施加单元（200）和样本温度调节单元。其中将样品设置的样品架插入到磁场施加单元中。电动机安装在磁场施加单元的一侧。电动机通过移动永磁体在样品中形成磁场。样品温度调节单元通过调节样品架的温度来选择样品的温度。通过向样品施加电流来测量样品中输出的霍尔电压。

7. 发明授权

KR102249735B1 소자의 물성 측정장치 有权
公开(公告)号：KR102249735B1
公开(公告)日：2021-05-10
申请号：KR1020190002065
申请日：2019-01-08
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 박영규 , 이근택
IPC分类号： G01N3/32
摘要： 본명세서에개시된내용은기계적특성을측정하거나전기적인특성을측정하기위해플렉서블소자의샘플을다양한형태로변형하거나반복적으로변형시키는측정장치의제공에관한것이다. 본명세서에개시된내용의일 실시예에따르면, 측정장치는서로교차배치되고각각의양단에서로다른방향의나사산이형성되는제1 및제2 구동축들, 상기제1 및제2 구동축들각각의양단과회동결합되며둘러싸는프레임, 상기프레임의안쪽에서상기제1 및제2 구동축들각각의양단에나사결합되도록형성되는측면지그들및 지그들, 상기제1 및제2 구동축들각각과평행하도록연장되고상기측면지그들및 지그들각각을관통하며상기프레임에결합되는가이드들, 상기제1 및제2 구동축각각에구동력을전달하는구동부들및 상기측면지그들및 지그들각각에결합되는고정부재들을포함하고, 상기고정부재들각각은상기측면지그들및 지그들이서로인접한위치에배치되어샘플이거치되는평면을형성하는상태에서상기측면지그들및 지그들과각각결합되며상기샘플을압박및 고정시킨다.

8. 发明授权

KR101769094B1 제백 계수 및 홀 효과 측정 장치 有权
标题翻译：美白系数和霍尔效应测量装置
公开(公告)号：KR101769094B1
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：KR1020160135685
申请日：2016-10-19
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 박영규 , 이근택
IPC分类号： G01N25/30 , G01R15/20
CPC分类号： G01N25/30 , G01R15/202
摘要： 열전소재의제백계수및 홀효과를하나의시편으로측정할수 있는제백계수및 홀효과측정장치를개시한다. 전술한제백계수및 홀효과측정장치의일 실시예는, 시편의일측을지지하는고정척과, 상기시편의타측을가압하는이동척을구비한지그프레임; 상기고정척과상기이동척에각각구비되는제1, 2 가열블럭; 상기지그프레임에구비되며, 상기시편의제백계수를측정하는제1 단자부; 상기지그프레임에구비되며, 상기시편의홀 효과를측정하는제2 단자부; 및, 자속밀도인가부;를포함한다.
摘要翻译：在jebaek公开的热材料的jebaek系数和霍尔效应作为样品系数和霍尔效应测量装置来测量。上述jebaek系数和霍尔效应测量装置的一个实施例包括具有固定卡盘固定框架，用于按压用于支承试样的一个侧上的样品夹盘的另一侧运动; 分别设置在固定卡盘和移动卡盘上的第一和第二加热块; 即在夹具框架提供，测量试样的jebaek系数的第一端部分; 即在夹具框架提供，测量试样的霍尔效应的第二端部; 还有一个磁通量密度施加部分。

9. 发明授权

KR101381916B1 포토닉 홀 효과 측정장치 有权
标题翻译：光电池效应测量装置
公开(公告)号：KR101381916B1
公开(公告)日：2014-04-08
申请号：KR1020120054237
申请日：2012-05-22
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 박영규 , 이근택
IPC分类号： G01N27/00 , G01N21/00
摘要： 본 발명은 광원이 조사된 상태 하에서 샘플의 홀 전압 측정이 가능하도록 구성됨에 따라 통상의 홀 소자 이외에 솔라셀 소자나 광센서 소자 등의 전기적 특성까지 용이하게 파악될 수 있고, 정전류원 이외에 별도의 외부전류의 공급이 가능함에 따라 통상의 홀 소자 이외에 고저항소자나 전도성소자 등에 대한 홀 효과 측정까지 가능한 포토닉 홀 효과 측정장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 포토닉 홀 효과 측정장치는, 전방에 개폐도어가 구비되는 암실형성박스와, 상기 암실형성박스 내에 착탈가능하게 결합되고 샘플이 장착되는 샘플홀더와, 상기 암실형성박스 내에서 상기 샘플홀더의 양측에 각각 구비되어 상기 샘플에 자기장을 형성하는 자석과, 상기 암실형성박스의 일측에 구비되고 상기 샘플홀더에 전기적으로 연결되어 상기 샘플에 전류를 인가하는 전류공급유닛과, 상기 암실형성박스의 일측에 구비되는 광원발생유닛과, 상기 광원발생유닛과 상기 암실형성박스를 연결하며 상기 광원발생유닛에서 발생된 광을 상기 샘플홀더 상의 샘플에 제공하는 광전달케이블과, 상기 샘플홀더에 연결되고 상기 샘플의 홀 전압을 측정하는 측정유닛을 포함한다.

10. 发明授权

KR100986805B1 온도 가변형 프로브 스테이션 有权
标题翻译：可变温度探测站
公开(公告)号：KR100986805B1
公开(公告)日：2010-10-11
申请号：KR1020080116000
申请日：2008-11-21
申请人： 에코피아 주식회사
发明人： 정석환 , 이근택 , 박영규 , 이안수 , 이진호
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66 , G01R1/06
摘要： 본 발명은 프로브 스테이션에 관한 것으로, 본 발명의 일실시예는 반도체 소자의 전기적 특성을 측정하기 위한 프로브 스테이션에 있어서, 내부관찰을 위해 일측에 투명창이 설치되는 챔버, 챔버 내에 설치되고 반도체 소자를 지지하며 평면이동 가능한 척, 척의 내부에 삽입 설치되어 척을 가열하는 전열선, 척의 내부에 삽입 설치되어 척을 냉각시키며 액상 또는 기상의 냉매가 흐르는 냉각라인, 및 척의 상부 일측에 설치되고 반도체 소자의 표면에 접촉되도록 프로브를 이동시키는 매니퓰레이터를 포함하는 온도 가변형 프로브 스테이션을 제공한다.
프로브 스테이션, 반도체, 소자, 챔버, 척, 가열, 냉각, 매니퓰레이터

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