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    • 6. 发明授权
    • 포토레지스트용 스트리퍼 조성물
    • 光刻胶剥离剂组成
    • KR101374686B1
    • 2014-03-18
    • KR1020080092621
    • 2008-09-22
    • 에스케이이노베이션 주식회사에스케이종합화학 주식회사
    • 최규진박무덕최정업고재석
    • G03F7/42
    • 본 발명은 금속 방식성 및 포토레지스트 박리성이 동시에 향상되고 탈이온수에 대한 세정성이 우수한 포토레지스트용 스트리퍼 조성물에 관한 것으로, N-메틸포름아미드 및 N,N-디메틸아세트아미드의 혼합 극성용매 70 내지 99중량%, 테트라에틸렌글리콜 0.1 내지 10중량%을 함유하며 부가적으로 부식방지제로서 트리아졸계 화합물과 갈산 유도체의 혼합물 0.01 내지 1중량%를 함유하는 비수계 포토레지스트용 스트리퍼 조성물에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 스트리퍼 조성물은 유기발광다이오드나 액정표시장치용 회로 제조공정에서 습식 또는 건식 식각 공정 중 발생하는 변질 또는 경화된 포토레지스트의 박리성능이 우수하고, 은이나 구리, 알루미늄 합금막과 같은 금속막에 대한 부식성이 매우 낮은 우수한 효과를 가진다. 또한 조성물 중에 N-메틸-2-피롤리돈을 포함하지 않는 친환경적인 특성을 가진다.
      포토레지스트, 스트리퍼, 비이온성극성용제, 글리콜에테르, 박리촉진제, 부식방지제
    • 本发明的金属的耐腐蚀性,和光致抗蚀剂耐剥离性的同时提高涉及清洁特性是用于对去离子水的光致抗蚀剂,N-甲基甲酰胺,和N,70 N-二甲基乙酰胺的极性溶剂混合物优良剥离剂组合物 至99重量%的含有0.1至10%(重量)四甘醇,以及涉及到加法三唑类化合物和含有0.01至1%的混合物按重量计没食子酸衍生物作为腐蚀抑制剂的非水光刻胶剥离剂组合物。
    • 8. 发明授权
    • 포토레지스트용 스트리퍼 조성물
    • KR101511736B1
    • 2015-04-17
    • KR1020080091934
    • 2008-09-19
    • 에스케이이노베이션 주식회사에스케이종합화학 주식회사
    • 최규진박무덕최정업고재석
    • G03F7/42
    • 본 발명은 금속 방식성 및 포토레지스트 박리성이 동시에 향상되고 특히 변성 및 변질된 포토레지스트에 대한 용해성이 우수하며 탈이온수에 대한 세정성이 향상된 포토레지스트용 스트리퍼 조성물에 관한 것으로, 알칸올아민 5 내지 30중량%, N,N-디메틸아세트아미드 20 내지 70중량%, 디에틸렌글리콜 모노알킬에테르 20 내지 40중량%, 테트라에틸렌글리콜 1 내지 10중량% 및 부식방지제로서 트리아졸계 화합물 또는 이미다졸계 화합물로부터 선택되는 1종 이상과 갈산 유도체의 혼합물 0.01 내지 1중량%를 함유하는 비수계 포토레지스트용 스트리퍼 조성물에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 스트리퍼 조성물은 유기발광다이오드나 액정표시장치용 회로 제조공정에서 습식 또는 건식 식각 공정 중 발생하는 변질 또는 경화된 포토레지스트의 박리성능이 우수하고, 은이나 구리, 알루미늄 합금막과 같은 금속막에 대한 부식성이 매우 낮은 우수한 효과를 가진다. 또한 조성물 중에 N-메틸-2-피롤리돈을 포함하지 않는 친환경적인 특성을 가진다.
      포토레지스트, 스트리퍼, 비이온성극성용제, 글리콜에테르, 박리촉진제, 부식방지제